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[发明专利]一种应用于气相沉积的气体清洗设备-CN202210295504.5在审
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B08B9/087 文献下载
摘要：本发明公布了一种应用于气相沉积的气体清洗设备，包括安装罩、电机、中转箱、清洗装置和雾化供液装置，清洗装置包括空心管和清洗罩，清洗罩内固接有端面板，端面板的中心固接有喷嘴，端面板的外壁还固接有清洗海绵刷，雾化供液装置包括储液箱和鼓风机，本发明的有益效果是，通过雾化供液装置向清洗装置输送气体和清洗液的混合物，通过电机的工作驱动清洗装置自转和公转，通过清洗装置对沉积箱的侧壁进行刷洗，清洗液为弱碱溶液，通过清洗液与酸性沉淀物的反应，使得沉淀物松动，配合清洗装置的刷洗，可以将沉淀物高效彻底的清理，本装置操作方便、效率较高，且具有良好的清洗效果。
一种应用于沉积气体清洗设备

[发明专利]一种用于全晶圆沉积的工艺和设备-CN202210295724.8在审
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公布了一种用于全晶圆沉积的工艺和设备，设备包括包括结晶炉、切片机、抛光机、氧化炉、化学气相沉积机、涂胶机、曝光机、显影机、光刻机、蚀刻机和离子注入机；工艺包括以下步骤：晶圆成形、衬底成形、图形光刻、蚀刻、掺杂和成品处理，本发明公开了晶圆沉积过程中需要使用的各种设备，从而使得具体操作的时候，可以对设备需求进行全方位的把握；本发明公开了晶圆沉积过程中的工艺步骤，并对各个不同的工艺步骤进行具体的设计，从而可以高效、高质量的完成晶圆的生产和制造。
一种用于全晶圆沉积工艺设备

[实用新型]一种旋转式气相沉积炉用冷却机构-CN202320846026.2有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种旋转式气相沉积炉用冷却机构。其技术方案包括：水箱、冷却罐和沉积炉本体，还包括用于封闭冷却罐两端的两个密封盖，所述冷却罐的两端开设有一号孔，两个所述密封盖的表面开设有三号孔。本实用新型具有的有益效果是：本装置在冷却罐的两端设置有可拆卸的密封盖，且冷却罐内底部还设置有引导沉积炉本体安装与拆卸的引导板，由此便可达到便于安装与拆卸沉积炉本体的效果，此外冷却罐中还安装有较长的圆弧板，大面积的圆弧板位于沉积炉上方再通过其底部多若干个排水孔可以有效的将冷却水均匀、大面积的洒在沉积炉上，由此便可以实现更加有效的散热效果。
一种旋转式气相沉积冷却机构

[发明专利]自含氟废水生成氟铝酸钠晶体的结晶系统及结晶方法-CN202111308671.0有效
发明人：钟兴进;何淑英;罗长诚 -专利权人：广州市鸿浩光电半导体有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：本发明公开了自含氟废水生成氟铝酸钠晶体的结晶系统及结晶方法，包括罐体、隔板一和隔板二，所述罐体顶部安装有支撑架，所述支撑架上方固定有电机，所述电机底部安装有连接轴。有益效果在于：本发明结构新颖，操作便捷，通过设置导流板和分流槽，能够通过导流板和分流槽对晶种进行导流和分流，然后将晶种导送至隔板一底部的排料管处，通过物料对晶种的冲击使晶种分散，加快流动速度，进而加快晶种与物料混合速度，提高装置的工作效率，通过设置管架、连接管和喷头，能够使连接管连接外部气泵，然后输送高压气体并将高压气体通过管架输送至喷头处，由喷头将高压气体喷向过滤板上，加快结晶体的移动速度，提高排料效率。
废水生成氟铝酸钠晶体结晶系统方法

[实用新型]一种手工抛光用可调节固定装置-CN202223510030.6有效
发明人： 罗长诚;钟兴进;冯嘉荔;何淑英 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了抛光加工技术领域的一种手工抛光用可调节固定装置，包括工作台和转动台，工作台上设有集料组件，转动台上设有集料孔，底部设有驱动组件，且转动台的四侧均设有第一调组件和第二调节组件，且第二调节组件顶部连接有定位块，本实用新型通过转动第一螺杆，使调节块带动定位块移动，使四个定位块紧压在工件的四侧，实现对工件的固定，通过第二调节组件调整定位块的高度位置，以便使定位块位于工件侧面合适位置进行定位；通过驱动组件使转动台带动工件转动，使加工人员能够对工件不同位置进行打磨抛光，无需反复调整工件位置或自身位置，使抛光加工更加方便。
一种手工抛光调节固定装置

[实用新型]一种气相沉积炉尾气处理装置-CN202223453918.0有效
发明人：何淑英;冯嘉荔;钟兴进;罗长诚 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F27D17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种气相沉积炉尾气处理装置。其技术方案包括：主管和副管，还包括安装在副管内部的驱动组件；刮除组件，所述刮除组件安装于主管的内部用于刮除主管内壁上的焦油，所述刮除组件包括方形架，所述方形架的四周外壁均固定连接有多组安装片，所述安装片通过螺栓固定连接有刮板。本实用新型具有的有益效果是：本装置中用于排放废气的管道由主管与副管组成，且主管与副管均为长方体形状的管体，副管内所安装的驱动组件可以带动主管内的刮除组件对主管内壁上的焦油进行刮除处理，这样便可以对主管内壁上的焦油进行有效清理，避免了主管堵塞的情况出现。
一种沉积尾气处理装置

[实用新型]一种用于不同尺寸晶圆键合的辅助装置-CN202223535396.9有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请属于晶圆制造技术领域，尤其是涉及一种用于不同尺寸晶圆键合的辅助装置，包括加热辅助平台和呈圆盘状的键合操作台，所述加热辅助平台的顶部滑动安装有四个呈环形阵列分布的扩展键座，且每个扩展键座的顶面均固定连接有尺寸相同的操作台定位柱，所述键合操作台的内部开设有四个呈环形阵列分布的定位柱穿孔。本实用新型中，使用不同尺寸的晶圆时，可更换相应尺寸的键合操作台，而不同键合操作台与加热辅助平台的固定方式相同，由于不同键合操作台的直径均不相同，在固定前需要调整各个扩展键座的位置，在导向轨内移动扩展键座，使各个扩展键座移动至合适位置，即操作台定位柱与键合操作台上的定位柱穿孔位置相对应。
一种用于不同尺寸晶圆键合辅助装置

[发明专利]作用于电解炼铝时的氟铝酸钠晶体结晶系统及结晶方法-CN202111308660.2有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英 -专利权人：广州市鸿浩光电半导体有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明公开了作用于电解炼铝时的氟铝酸钠晶体结晶系统及结晶方法，包括罐体、反应罐一、反应罐二和进料管，所述罐体内一侧壁上固定有所述反应罐一，所述罐体内另一侧壁上固定有所述反应罐二，所述反应罐一以及所述反应罐二上端均设置有所述进料管。有益效果在于：本发明通过在清洗烘步骤设置电机二、螺杆、滑块、限位杆和梳理齿，在清洗和烘干时，电机二通过螺杆带动滑块移动，同时限位杆对滑块进行限位，进而使梳理齿对堆积在滤板上的晶体进行梳理，保证晶体全部能被清洗和烘干，保证系统的制备效果和氟铝酸钠晶体的合格率。
用于电解炼铝氟铝酸钠晶体结晶系统方法

[发明专利]一种电路板基板冲切设备-CN202211341399.0在审
发明人：冯嘉荔;何淑英;钟兴进;罗长诚 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B26F1/38 文献下载
摘要：本发明公布了一种电路板基板冲切设备，包括基板本体、座板、冲切座、给料装置、电动推杆和冲切装置，冲切座上开设有插槽、冲切槽和落料槽，基板本体位于插槽内并通过给料装置驱动，冲切装置滑动连接在冲切槽中并通过电动推杆驱动，本发明的有益效果是，通过电动推杆带动冲切装置升降，从而完成对基板的冲切工作，通过给料装置可以将基板本体从右向左推进，使得基板逐渐通过冲切装置的下方，从而完成对整个基板的冲切操作，本设备可以直接对长条形的基板本体进行连续冲切，从而无需再冲切之前进行裁剪，简化了生产的过程，提高生产的效率。
一种电路板基板冲切设备

[实用新型]一种带有清洗导管的化学气相沉积室-CN202220660848.7有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带有清洗导管的化学气相沉积室，包括箱体，所述箱体的前侧设置有箱门，所述箱体的内底端可拆卸连接有置物架，所述箱体的左右两侧靠近置物架的位置分别设置有进气口与尾气出口。本实用新型中，通过第二转动组件带动圆筒在顶架的底侧转动，同时圆筒带动方筒在箱体的内侧转动，以便于使喷头旋转对箱体的内壁进行清理，在此过程中，通过第一转动组件使顶架带动圆筒在箱体升降以及通过伸缩缸来回驱动方筒沿着圆筒进行升降，以便于在置物架拆卸后喷头能够够到箱体内侧更低的位置，便于扩大喷头的移动范围，有利于使转动的喷头对箱体的内壁进行较为全面的冲水清洁，便于缩短人工后续清理的时间，从而便于减轻人工清理的负担。
一种带有清洗导管化学沉积

[实用新型]一种便于快速供料的液体蒸发器供料器-CN202221330155.8有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B01D36/04 文献下载
摘要：本实用新型属于液体蒸发器供料器技术领域，尤其为一种便于快速供料的液体蒸发器供料器，包括过滤箱，所述过滤箱的左侧面与沉淀箱的右侧面固接，废水中含有的杂质被若干个过滤板b进行层层筛分，过滤箱底部的废水通过连接管进入沉淀箱内，挡板对过滤箱内的水进行阻挡，当水位超过挡板的高度后，落入挡板左侧的过滤板a表面，若干过滤板a对废水中含有的细小杂质进行过滤，污水泵的抽液端通过抽液管抽取沉淀箱内过滤后的污水，污水通过污水泵的排液端和供液管将污水排入液体蒸发器内，解决了废水中含有大量杂质，在污水泵抽取的过程中容易堵塞污水泵，造成污水泵无法及时供料，影响液体蒸发器正常运行的问题。
一种便于快速供料液体蒸发器料器

[实用新型]一种化学气相沉积工艺的废气处理装置-CN202220649068.2有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积工艺的废气处理装置，包括处理箱，所述处理箱的底部四角处均固接有自锁万向轮，所述滑槽上滑动安装有冷却网，当需要对废气进行处理时，首先将此装置移动到合适的位置，接着使得炉体的出气端与进气管连通，同时使得出料管与收集设备连通，接着废气进入处理箱1内，启动喷淋机构，在喷淋机构的作用下，产生的水雾吸附废气中的二氧化硫和粉尘颗粒物，接着在重力的作用下，落入到处理箱1的底部，接着通过出料管进入到收集设备上，使得冷却网发生抖动，从而防止有些防尘颗粒物粘附在冷却网上，从而堵住冷却网，同时可通过转动固定螺栓，从而可通过把手将安装板取出，从而可清理冷却网。
一种化学沉积工艺废气处理装置

[实用新型]一种化学气相沉积炉的除尘排气罩-CN202220661356.X有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B08B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的除尘排气罩，包括烟气收集罩，所述烟气收集罩上表面固定安装有连接管，所述连接管上端面固定安装有隔震连接软管，所述隔震连接软管上端面固定安装有烟尘过滤器所述烟尘过滤器内部开设有烟尘抽气凹孔，所述烟尘抽气凹孔内部固定安装有电机固定柱，所述电机固定柱上表面固定安装有抽风电机，所述烟尘过滤器正表面活动安装有灰尘收纳盒。通过启动抽风电机带动空气流通，烟气会被抽入烟气分散软管内部，通过烟气分散软管输送至烟气排出球，释放烟气至灰尘收纳盒储存的清水中，最终从排气管排出至外界，烟尘会被清水打湿沉淀在灰尘收纳盒内部储存起来，将烟气内部的烟尘过滤掉，保证操作人员的身体健康。
一种化学沉积除尘排气

[实用新型]一种具有阴影环的反应腔结构-CN202221318247.4有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有阴影环的反应腔结构，包括反应仓和晶圆基片，所述反应仓的顶部开设有反应腔体，且反应腔体的内壁固定安装有垫片凸环，所述晶圆基片置于垫片凸环上，且晶圆基片位于反应腔体内，所述反应仓的顶部过盈配合连接有边缘封盖。该具有阴影环的反应腔结构，晶圆基片沉积薄膜时，先将反应仓固定在指定反应位置，再打开边缘封盖并将晶圆基片置入反应腔体内，此时晶圆基片搭于垫片凸环上，使晶圆基片的背面得以遮蔽，并且晶圆基片的定位较为稳定，不会发生偏移，而后合上边缘封盖，使其内的阴影环主体抵于晶圆基片的边缘处，进而对晶圆基片的边缘处进行密封，从而有效的避免在沉积薄膜时，晶圆基片的边缘处和背面长膜。
一种具有阴影反应结构

[实用新型]一种化学气相淀积材料生长设备的取样装置-CN202221318329.9有效
发明人：钟兴进;罗长诚;何淑英;冯嘉荔 -专利权人：广东鸿浩半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学气相淀积材料生长设备的取样装置，包括基座和箱体，所述基座的底部四角处均固接有自锁万向轮，所述箱体位于基座的上方，且箱体和基座之间固接有两个支撑杆，从而使得生长设备内的气体进入到箱体内，使得气体推动第二活塞，从而使得第二活塞在取样筒移动，从而使得气体进入到取样筒内，接着气体进入到检测设备上进行检测，且取样筒有四个，从而解决了现有的取样筒只有一个，从而造成最终的检测数据不具有代表性，从而使得不够准确，同时在第一活塞和第二活塞的作用下，排掉箱体和取样筒内的空气，从而防止空气与气体混合在一起，使得最终的检测数据不够准确。
一种化学气相淀积材料生长设备取样装置

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