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- [发明专利]具有粒子罩的晶片容器-CN201280033141.2有效
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马丁·L·福布斯;约翰·伯恩斯;马修·A·富勒
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恩特格里公司
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2012-05-03
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2014-04-30
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H01L21/673
- 可在诸如FOUPS的晶片容器内的顶部晶片以上设置一个或多个粒子罩，以防止微粒积聚在晶片上。该粒子罩或屏障可由兼容的材料形成以保持低于5%的RH，特别是不会吸收大量水以及将所吸收的水分带入容器中的材料。在实施方式中，发现合适的特别材料包括环烯烃聚合物、环烯烃共聚物和液晶聚合物。在特定的实施方式中，FOUP可设置有超过工业标准的25条狭槽的额外狭槽，以容纳专用屏障。在实施方式中，该屏障可以是与晶片形状相对应的固体薄形。在实施方式中，该屏障可具有与在容器中发现的微粒相反的固有电荷性质，从而将微粒吸至该屏障。在实施方式中，该屏障可具有孔，如狭槽或其他开口，以促进电荷发展用于增强将微粒吸至该屏障的吸引力。在实施方式中，该屏障可改造到现有晶片容器，例如FOUPS上。在实施方式中，该罩可符合特定FOUP配置的内部结构。
- 具有粒子晶片容器
- [发明专利]具有管状环境控制部件的晶圆容器-CN200980116740.9有效
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詹姆斯·A·沃森;约翰·伯恩斯;马丁·L·福布斯;马修·A·富勒;马克·V·史密斯
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安格斯公司
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2009-03-13
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2011-04-13
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H01L21/673
- 一种晶圆容器，利用刚性聚合物管状塔，所述塔具有狭槽和在其中的吸气剂，用于吸收和过滤所述晶圆容器中的湿气和蒸汽。所述塔优选利用容器基部的净化护环，并且在其中可以具有止回阀，以相对于所述塔控制进出容器的气体(包括空气)的流向。所述塔与所述护环密封地连接。所述塔可以具有以长圆形型式卷绕而形成或者成形为管状的吸气介质片，所述吸气介质布置在所述塔内并且可以具有轴向的延伸。介质可以提供主动的和/或被动的过滤以及具有再充装的能力。用于300mm尺寸的晶圆的前部开口的晶圆容器，在容器部的内后部中的左侧和右侧上，通常具有一对凹部。这些凹部优选地用于细长塔，这种塔基本上从底部晶圆位置延伸到顶部晶圆位置。在替换实施方式中，管状形状的吸气材料暴露在前部开口的容器内，而不会像在端部处那样使吸气剂不散开。管状吸气剂的形式优选为被支撑在离散的位置，以最大限度地暴露到内部容器环境。阻挡构件能够选择性地关闭孔。弹性盖可以有助于将管状部件固定在容器部中。
- 具有管状环境控制部件容器
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