“米歇尔·德斯庞特”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于制造游丝的方法-CN201980013834.7有效
发明人： 米歇尔·德斯庞特;弗雷德里克·科勒;奥利维尔·汉兹克尔;让-露丝·柏凯丽 -专利权人：瑞士CSEM电子显微技术研发中心
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G04D3/00 文献下载
摘要：根据本发明的用于制造至少一个游丝(5)的方法包括以下连续步骤：a)提供基板(1)，其在平面(P)中延伸并承载平行于平面(P)的第一层(2)；b)在第一层(2)中形成至少一个通孔(3)；c)在第一层(2)上沉积第二层(4)，第二层(4)填充该至少一个通孔(3)以形成至少一个材料桥(7)；d)在由第二层(4)或基板(l)构成的蚀刻层(6a)中蚀刻至少一个游丝(5)，第二层(4)和基板(l)中的未蚀刻该至少一个游丝(5)的一个构成支撑件(6b)，该至少一个材料桥(7)将该至少一个游丝(5)垂直于平面(P)地连接至支撑件(6b)；e)消除第一层(2)，该至少一个游丝(5)通过该至少一个材料桥(7)保持附接至支撑件(6b)；f)使该至少一个游丝(5)经受至少一次热处理；g)使该至少一个游丝(5)从支撑件(6b)分离。
用于制造游丝方法

[发明专利]用于提高微机电系统中部件的对准精度的方法和系统-CN200580022642.0有效
发明人：斯蒂法诺·奥格吉奥尼;米歇尔·德斯庞特;马克·兰茨;托马斯·阿尔布雷克特 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2005-05-17 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：公开了一种用于提高MEMS部件在制造期间的对准精度的方法和系统。根据本发明，MEMS部件中的至少一个部件包括空腔，在该空腔中借助温度耗散型材料使球体或者轴承居中以及优选地临时阻滞该球体或者轴承。当MEMS部件与球体或者轴承相接触时，温度耗散型材料蒸发，提供了与在不同方向上移动的两个相向MEMS部件之间的很低摩擦，从而实现很精确的定位。在第一实施例中，每个MEMS部件包括与焊接合金结合用于自对准部件的垫。在第二实施例中，每个部件包括至少一个空腔，上方空腔具有圆锥形状而下方空腔具有平坦基底，当达到稳定状态时，即当球体在上方空腔的圆锥形中央居中时获得对准。
用于提高微机系统部件对准精度方法

[发明专利]集成结构及其制造方法-CN200380103323.3有效
发明人：伯恩哈德·波格;米歇尔·德斯庞特;厄特·德雷克斯勒;钱德里卡·普拉萨德;彼得·维蒂格;罗伊·余 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2003-11-07 - 公布日： 2005-12-21 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种垂直集成结构，该结构包括微机电系统(MEMS)和用于将信号传送至MEMS的芯片。MEMS具有锚定部分，锚定部分具有穿透其中的导体，MEMS通过锚定部分连接至衬底。芯片在垂直于衬底表面的方向上贴覆于MEMS衬底，从而形成芯片到MEMS的导电通路。芯片刻通过将导体与形成于芯片上的C4金属焊垫结合、或通过将导体与芯片上的金属柱头结合而贴覆。MEMS衬底可在被贴覆于芯片前减薄，或者可从MEMS下侧去除。暂时的承载板用于方便处理MEMS以及与芯片对准。
集成结构及其制造方法

[发明专利]微观结构-CN02824308.0有效
发明人：格雷厄姆·格罗斯;米歇尔·德斯庞特;厄斯·T·杜里格;格雷戈里·吉诺里特;雷托·施利特勒;彼得·维蒂格尔 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2002-11-21 - 公布日： 2005-03-23 - 主分类号： G12B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于形成微观结构的方法。该方法包括步骤：在一衬底上淀积一籽晶材料；由籽晶材料生长出一纳米管；在衬底上淀积微观结构材料，以便于将纳米管埋入到微观结构材料中；以及将衬底分离以释放所述微观结构。所形成的微观结构包括一主体部分和埋入到主体部分中的纳米管。
微观结构