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[发明专利]激光加工晶圆的方法及系统-CN202310890527.5在审
发明人：张紫辰;石海燕;侯煜;岳嵩;黎宇航;张喆;窦同辉;张昆鹏;李曼;薛美 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工晶圆的方法及系统，所述方法包括：采用飞秒激光沿切割道对待加工晶圆表面进行烧蚀，以去除对应于所述切割道的金属图案，形成预制槽；采用对待加工晶圆具有透过性波长的激光通过预制槽在所述待加工晶圆内部聚焦并沿所述切割道进行扫描，形成改质层，通过在不同深度多次扫描在切割截面形成多个垂直排列的改质层；沿所述切割道将所述晶圆分离成单个晶粒。本发明提供的激光加工晶圆的方法及系统，能够有效的提高划片质量，避免晶粒破碎。
激光加工方法系统

[发明专利]超表面透镜的构造方法、超表面透镜-CN202310376890.5在审
发明人：岳嵩;刘宇欣;王然;侯煜;李曼;石海燕;张昆鹏;张紫辰;窦同辉 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：一种超表面透镜的构造方法、超表面透镜，超表面透镜的构造方法，包括：建立结构单元库；根据超表面透镜的表面的空间位置和光谱相位的理想分布关系确定理想状态下工作于目标波段和目标焦距的超表面透镜的表面任意空间位置处的最低频相位和相位色散；对结构单元库中的每个结构单元进行仿真，并提取得到每个结构单元所能提供的最低频相位和相位色散；遍历超表面透镜的表面每个空间位置，根据每个结构单元能提供的最低频相位和相位色散对结构单元库中的结构单元进行筛选，以确定空间位置的目标结构单元；将所有目标结构单元各自摆放至对应的空间位置上，完成超表面透镜的构造，构造出的超表面透镜在目标波段实现连续消色差。
表面透镜构造方法

[发明专利]弯曲波导和基于遗传算法的弯曲波导设计方法-CN202310323938.6在审
发明人： 窦同辉;岳嵩;侯煜;李曼;王然;石海燕;张昆鹏;刘宇欣;薛美;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本发明提供一种弯曲波导和基于遗传算法的弯曲波导设计方法，随机生成一个初始种群，包括多个个体，每个个体的基因根据构成弯曲波导的两条曲线的参数、划分刻蚀区域的多条曲线的参数以及刻蚀区域的刻蚀参数进行编码，根据种群中每个个体的基因，确定每个个体的几何形状与版图，得到每个个体的器件模型，并根据每个个体的器件模型求解得到每个个体的透射率和串扰；根据每个个体的透射率和串扰，分别计算每个个体的适应度，并找出种群中适应度最高的个体作为最优个体；判断是否达到迭代终止条件，若是，则输出最优个体，结束迭代，若否，更新迭代次数，生成下一代种群，重复上述操作，直至输出最优个体。本发明提高了弯曲波导的设计效率。
弯曲波导基于遗传算法设计方法

[发明专利]基于遗传算法的波导模式转换器设计方法-CN202310193409.9在审
发明人： 窦同辉;岳嵩;侯煜;石海燕;李曼;王然;张昆鹏;刘宇欣;薛美;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明提供一种基于遗传算法的波导模式转换器设计方法，随机生成一个初始种群，包括多个个体，每个个体的基因根据纳米孔刻蚀参数进行编码；对种群中每个个体的基因解码，得到每个个体的基因所对应的纳米孔刻蚀参数，进一步求解得到每个个体的透射率和串扰；根据每个个体的透射率和串扰，分别计算每个个体的适应度，并找出种群中适应度最高的个体作为最优个体；判断是否达到迭代终止条件，若是，则输出最优个体，结束迭代，若否，更新迭代次数，通过选择操作、交叉操作和变异操作，生成下一代种群，重复上述操作，直至输出最优个体。本发明提高了模式转换器的设计效率。
基于遗传算法波导模式转换器设计方法

[实用新型]一种盾构管片结构-CN202121229544.7有效
发明人：李兴杰;张程;王志磊;李建立;窦同辉;马磊;路冬冬;孙海宾;胡家乐;万汉文;王兴启;高金涛;韩雪帅;赵凯;孙芳刚;林俊;芦剑;单蒙蒙 -专利权人：中铁二十四局集团有限公司
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： E21D11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种盾构管片结构，包括管片本体，管片本体呈弧形片状结构，管片本体的四周开设有用于安装防水件的防水垫槽,管片本体还具有相对设置且均为弧形的前侧壁和后侧壁，前侧壁上设置有第一凸起和第二凸起，后侧壁上开设有与第一凸起相适配的第一凹陷以及与第二凸起相适配的第二凹陷，使得前后相邻两个管片本体通过第一凸起与第一凹陷的配合以及第二凸起与第二凹陷的配合进行连接；优点是便于拼装，结构稳定，且不易渗水。
一种盾构管片结构