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[发明专利]一种多层纳米复合刀具涂层及其制作方法-CN201910162657.0有效
发明人：郭光宇;陈金海;钟伟强 -专利权人： 科汇纳米技术(深圳)有限公司
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开一种多层纳米复合刀具涂层的制作方法，包括以下步骤：1）刀具清洗：保证刀具基体表面干燥、清洁；2）抽真空处理：将刀具基体装夹在镀膜设备的转架上，然后将转架放置在由Cr靶材、AlTi靶材和AlCrSiW靶材组成的闭合镀膜设备中，并将真空室抽真空处理，最后打开加热器升温；3）离子清洗和离子轰击：通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗，关闭氩气，开启Cr靶材；4）制作底部粘接层：通入氮气，沉积CrN结合层；5）制作中间耐磨层：关闭Cr靶材，开启AlTi靶材，表面沉积AlTiN中间层；6）制作混合过渡层：开启AlCrSiW靶材和AlTi靶材，表面沉积AlCrSiWN及AlTiN混合层；7）制作表面功能层：关闭AlTi靶材，开启AlCrSiW靶材，表面沉积AlCrSiWN表面层，得到多层纳米复合刀具。
一种多层纳米复合刀具涂层及其制作方法

[发明专利]一种超硬纳米复合刀具及其制作方法和应用-CN201910271748.8在审
发明人：郭光宇;陈金海;钟伟强 -专利权人： 科汇纳米技术(深圳)有限公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开一种超硬纳米复合刀具及其制作方法和应用，包括以下步骤：1）刀具清洗：保证刀具基体表面干燥、清洁；2）抽真空处理：将的刀具基体装夹在镀膜设备的转架上，并将转架放置在由Cr靶材、AlCr靶材组成的闭合镀膜设备中，同时对真空室进行抽真空处理，打开加热器升温，将镀膜设备中的温度控制在420℃至550℃；3）离子清洗：向真空室内通入氩气，对刀具基体的表面进行辉光清洗后，关闭氩气；4）制作结合涂层：开启Cr靶材和电弧，并控制电弧电流量为400A至800A，同时通入氮气，使得在刀具基体的表面沉积CrN结合涂层；5）制作纳米复合涂层：关闭Cr靶材，开启AlCr靶材，并电弧控制电流为400A至800A之间，在CrN结合涂层的表面沉积AlCrN纳米复合涂层。
刀具基体靶材镀膜设备结合涂层刀具纳米复合涂层电弧抽真空处理氩气表面沉积纳米复合制作转架清洗氮气加热器闭合靶材组成表面干燥电弧控制离子清洗电流量真空室辉光装夹应用室内清洁保证