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[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN202180095377.8在审
发明人： 秋山胜哉;吉田幸史 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：基板处理方法包含：亲水性膜形成液供给步骤，将在基板的主面上形成亲水性膜的亲水性膜形成液，朝上述基板的主面进行供给；膜厚降低液供给步骤，将通过使上述亲水性膜溶解而降低上述亲水性膜的厚度的膜厚降低液，朝上述基板的主面进行供给；处理膜形成液供给步骤，在通过上述膜厚降低液供给步骤使上述亲水性膜的厚度降低后，朝上述基板的主面供给处理膜形成液，该处理膜形成液在上述亲水性膜的表面形成用于保持存在于上述基板的主面上的去除对象物的处理膜；以及剥离液供给步骤，将从上述亲水性膜剥离上述处理膜的剥离液，朝上述基板的主面进行供给。
处理方法装置

[发明专利]气体处理方法及气体处理装置-CN201880075687.1有效
发明人：岸本启;秋山胜哉;町田洋;山口毅;江崎丈裕;则永行庸 -专利权人：株式会社神户制钢所;国立大学法人东海国立大学机构
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B01D53/14 文献下载
摘要：气体处理方法包括：吸收工序，使包含二氧化碳等酸性化合物的被处理气体与吸收酸性化合物的处理液在吸收器(12)内接触；和再生工序，将吸收了酸性化合物的处理液输送到再生器(14)中，对处理液进行加热，从该处理液分离酸性化合物。在再生工序中，使氢气等几乎不溶于处理液的气体与处理液接触。
气体处理方法装置

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN202110313531.6在审
发明人： 秋山胜哉;吉田幸史 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法包含：亲水化步骤，使衬底的表面亲水化；处理液供给步骤，向已亲水化的所述衬底的表面供给处理液；处理膜形成步骤，使供给至所述衬底的表面的所述处理液固化或硬化，在所述衬底的表面形成保持所述衬底的表面所存在的去除对象物的处理膜；及剥离步骤，向所述衬底的表面供给剥离液，将保持着所述去除对象物的状态的所述处理膜从所述衬底的表面剥离。所述剥离步骤包含使所述处理膜部分溶解于所述剥离液，而在所述处理膜形成贯通孔的贯通孔形成步骤。
衬底处理方法装置

[发明专利]基板处理方法、基板处理装置以及配方选择方法-CN202011317720.2在审
发明人： 秋山胜哉;吉田幸史;张松 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法、基板处理装置以及配方选择方法。基板处理方法包括：前处理膜形成工序，在具有表面的基板的表面形成前处理膜，所述表面存在互不相同的物质露出的第一区域及第二区域；前处理膜剥离工序，利用剥离液从所述基板的表面剥离所述前处理膜；处理膜形成工序，在前处理膜剥离工序之后，在基板的表面形成处理膜；以及处理膜剥离工序，利用剥离液从所述基板的表面剥离所述处理膜。处理膜将存在于第二区域的第一除去对象物除去的除去力高于前处理膜将存在于第二区域的第一除去对象物除去的除去力，且前处理膜将存在于第一区域的第一除去对象物除去的除去力高于处理膜将存在于第一区域的第一除去对象物除去的除去力。
处理方法装置以及配方选择

[发明专利]气体处理方法以及气体处理装置-CN201810359946.5有效
发明人：岸本启;松冈亮;秋山胜哉;西村真;町田洋;山口毅;江崎丈裕;堀添浩俊 -专利权人：株式会社神户制钢所;国立大学法人名古屋大学
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本发明提供一种气体处理方法以及气体处理装置。气体处理装置使用包含溶解于水而生成酸的酸性化合物的被处理气体和通过吸收酸性化合物而相分离的处理液，从被处理气体分离酸性化合物。气体处理装置包括：使被处理气体接触于处理液的吸收器；加热与被处理气体接触后的处理液，使酸性化合物分离的再生器；以及将在吸收器与被处理气体接触后的处理液输送到再生器的送液部。在吸收器，与被处理气体接触后的处理液相分离为酸性化合物的含有率高的第一相部分和酸性化合物的含有率低的第二相部分。送液部在相分离的第一相部分和第二相部分被混合的状态下将处理液导入到再生器内。据此，能够进一步降低分离回收酸性化合物所需的能量。
气体处理方法以及装置

[发明专利]锅炉的运转方法及锅炉设备-CN201610245260.4有效
发明人： 秋山胜哉;松宫知朗 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： F22B1/22 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够抑制炉膛的蓄热率降低的锅炉的运转方法及锅炉设备。本发明为将多种固体燃料混合而使其燃烧的锅炉的运转方法，其特征在于，具备：获取上述多种固体燃料中的灰分的含有率及该灰分中的至少1种含水矿物的含有率的工序；和根据上述获取工序中得到的上述多种固体燃料各自的上述灰分的含有率及上述至少1种含水矿物的含有率，按照使上述多种固体燃料的混合体整体的灰分中的上述至少1种含水矿物的含有率成为基准值以下的方式确定上述多种固体燃料的混合比例的工序。上述至少1种含水矿物可以为高岭土或石膏。作为上述基准值，优选40质量％。
锅炉运转方法设备

[发明专利]锅炉的运转方法和锅炉设备-CN201780023130.9有效
发明人：松宫知朗;秋山胜哉 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2017-04-12 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： F23C1/00 文献下载
摘要：具备如下工序：取得多种固体燃料中的灰分的含有率和多种固体燃料的灰化后的比表面积的工序；基于由取得工序得到的多种固体燃料各自的灰分的含有率和灰化后的比表面积，使多种固体燃料的混合体总体的灰化后的比表面积为标准值以，如此确定多种固体燃料的混合比例的工序。
锅炉运转方法设备

[发明专利]锅炉的运转方法和锅炉设备-CN201780023129.6有效
发明人： 秋山胜哉;松宫知朗 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2017-04-10 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： F23K1/00 文献下载
摘要：具备如下工序：取得多种固体燃料中的灰分的含有率和该灰分中的富铝红柱石的含有率的工序；基于由取得工序中得到的多种固体燃料各自的灰分的含有率和富铝红柱石的含有率，以使多种固体燃料的混合体总体的灰分中的富铝红柱石的含有率为基准值以下的方式确定多种固体燃料的混合比例的工序。
固体燃料富铝红柱石方式确定锅炉设备混合体锅炉运转

[发明专利]固体燃料的改质方法-CN201180035032.X有效
发明人：朴海洋;秋山胜哉;田洼阳司 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2011-07-21 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： C10L9/10 文献下载
摘要：本发明提供一种可以使灰中熔液比例减少，抑制灰附着于锅炉的固体燃料的改质方法。在本发明中，将原料煤和原料油供给到混合部(11)并加以混合，将含有镁系化合物和铝系化合物中的至少一种的添加物供给到混合部(11)而添加到混合部(11)内的混合物中，从而形成原料浆。其后，将原料浆供给到加热部(12)进行加热。然后，将加热后的原料浆供给到固液分离部(13)，进行固液分离。将从液体部分分离的固体成分送至成形部(14)使之干燥，作为制品煤取出。
固体燃料方法

[发明专利]加热炉的灰附着抑制方法及灰附着抑制装置-CN201180034357.6有效
发明人： 秋山胜哉;朴海洋;田洼阳司 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2011-07-13 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： F23K1/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于对将金属系化合物或含金属的化合物添加到含有劣质炭的各种各样的固体燃料中的混合物作为燃料的加热炉内的灰附着进行高精度地预测，并求出适当的混合比率，抑制灰附着的情况。本发明的加热炉的灰附着抑制方法包括：对在加热炉中使用的预定的多种固体燃料的灰成分的组成及金属系化合物或含金属的化合物的无机组成进行测定的步骤(S1)，根据以多种的混合比率添加并混合了金属系化合物或含金属的化合物的固体燃料的灰成分的组成、表示对以多种的混合比率混合的固体燃料预先算出的固定量的灰成分中的在规定的气氛温度及气氛气体组成下成为炉渣的比例的炉渣比例，而确定得到炉渣比例为基准值以下的灰成分的组成的情况下的规定的混合比率(S2)。另外，本发明具备将金属系化合物或含金属的化合物以规定的混合比率添加并混合后的混合物作为燃料向加热炉供给的步骤(S3)。
加热炉附着抑制方法装置

[发明专利]粉碎机的起火防止方法及起火防止装置-CN201180024011.8有效
发明人： 秋山胜哉;朴海洋;田洼阳司 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： F23K3/02 文献下载
摘要：本发明的粉碎机的起火防止装置具有：供给量调整机构(3a、3b)，其调整固体燃料的供给量；浓度测量机构(7)，其测量所述粉碎机(5)的出口的一氧化碳和/或二氧化碳的浓度；存储机构(11)，其存储固体燃料中的固定碳分率和挥发分率的比作为分析值，在粉碎固体燃料的粉碎机(5)中，基于浓度测量机构(7)的测量结果和分析值，通过控制机构(11)，以使供给到所述粉碎机(5)的固体燃料中的固定碳分率和挥发分率的比变化的方式控制供给量调整机构(3a、3b)。根据该构成，能够防止粉碎机(5)内的起火。
粉碎机起火防止方法装置

[发明专利]粉碎机的起火防止方法及起火防止装置-CN201180022967.4有效
发明人： 秋山胜哉;朴海洋;田洼阳司 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： F23K3/02 文献下载
摘要：本发明的粉碎机的起火防止装置具有：空气供给机构(12)，其向所述粉碎机供给空气；气体供给机构(13)，其供给氧分压比所述空气低的气体；气体供给量调整机构(15)，其调整气体供给量；一氧化碳浓度测量机构(7)，其测量所述粉碎机(5)的出口的气体中的一氧化碳浓度；氧浓度测量机构(6)，其测量氧浓度，在将空气和气体作为混合气体供给的粉碎固体燃料的粉碎机(5)中，基于所述一氧化碳浓度测量机构(7)和氧浓度测量机构(6)的测量结果，通过控制机构(11)以供给到粉碎机(5)的混合气体中的氧分压变化的方式，控制气体供给量调整机构(15)。通过该构成，能够防止粉碎机(5)内的起火。
粉碎机起火防止方法装置

[发明专利]锅炉的灰分附着抑制方法和灰分附着抑制装置-CN201080045439.6无效
发明人： 秋山胜哉;朴海洋 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2010-10-05 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： F23K1/00 文献下载
摘要：本发明所使用的运算器(9)，使规定的气氛温度下混合后的固体燃料的熔渣粘性的值达到基准值以上，如此计算并决定混合有一种以上的固体燃料的混合比率。燃料供给量调节装置(3a、3b)基于所述混合比率，调节所述固体燃料向锅炉中的供给量。由此，本发明即使将含有劣质煤的各个种类的固体燃料作为燃料使用时，也能够简便且高精度地预测锅炉内的灰分的附着，抑制灰分的附着。
锅炉灰分附着抑制方法装置

[发明专利]锅炉的灰附着抑制方法及灰附着抑制装置-CN201080029322.9有效
发明人： 秋山胜哉;朴海洋 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2010-07-22 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： F23C1/00 文献下载
摘要：本发明为了对使用包括劣质煤在内的各个种类的固体燃料作为燃料的锅炉进行稳定运用，而抑制灰附着的情况。运算机(9)预先累积固体燃料的含灰率、灰成分的组成等性状作为数据(8)。运算机(9)使用固体燃料的混合比率作为参数，基于预先测定到的各固体燃料的灰成分的组成，来算出混合的燃料的灰成分的组成。运算机(9)根据预先测定的灰附着率与灰渣比例的关系，来确定灰附着率降低的灰渣比例的基准值。然后，运算机(9)以得到灰渣比例成为确定的基准值以下那样的灰组成的方式，通过热力学平衡计算来算出各固体燃料的混合比率。基于由运算机(9)所算出的各固体燃料的混合比率，利用燃料供给量调整装置(3)来调整来自料斗(1、2)的固体燃料的取出量。如此调整了取出量的各固体燃料由混合机(4)进行混合，在利用粉碎机(5)粉碎后，作为燃料向锅炉(7)供给，并利用燃烧器(6)使其燃烧。
锅炉附着抑制方法装置

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