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- [发明专利]干燥装置-CN201610064934.0有效
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神田敏朗
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松下知识产权经营株式会社
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2016-01-29
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2019-07-09
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F26B15/14
- 本发明提供一种干燥装置。所述干燥装置构成为,与未载置被干燥物(W1)的位置的托盘通气孔(4)对应的吸气管道(12)的抽吸口(15)被形成有第一通气孔(17a)的第一阻力盖(R1)覆盖,热风通过第一通气孔(17a)进行循环。在与载置有被干燥物(W1)的位置的托盘通气孔(4)对应的吸气管道(12)中,热风通过在第一阻力盖(R1)与抽吸口(15)之间形成的第一间隙(S1)而流动,且热风不通过第一阻力盖(R1)的第一通气孔(17a)。即,通过预先将第一通气孔(17a)的空气阻力设定为与被干燥物(W1)的空气阻力相同,由此能够使通过任一托盘通气孔(4)的热风量相同,能够以与对最大数量的被干燥物进行干燥处理的情况相同的条件进行干燥。
- 干燥装置
- [发明专利]热风循环式加热装置-CN201410078350.X有效
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神田敏朗
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松下电器产业株式会社
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2014-03-05
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2014-09-17
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F26B9/06
- 一种热风循环式加热装置,能缩短通气性的工件的干燥时间。包括:托架(19),该托架(19)对柴油机废气净化用触媒DPF等具有通气性的工件(12)进行支承,并开设有孔;以及吸引管(20),该吸引管(20)设于托架(19)的下方,并吸引热风,利用热风吸引的负压现象使该吸引管(20)上升、下降,或利用使托架(19)移动的链条的凸轮板使该吸引管(20)上升、下降,从而使吸引管(20)与托架(19)紧贴或分离,此时,利用设于吸引管(20)上端的垫圈(22)和限位件(23)能提高密封性,能在工件(12)的内部集中形成气流而缩短干燥时间,另外,通过将限位件(23)配置成与垫圈(22)相邻,能限制垫圈(22)的变形量,从而延长垫圈(22)的寿命。
- 热风循环加热装置
- [发明专利]热风循环式加热装置-CN201310145502.9有效
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神田敏朗
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松下电器产业株式会社
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2013-04-24
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2013-10-30
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F27D7/04
- 本发明的目的在于提供一种能对基板状的被加热物在其面内均匀地进行热处理的热风循环式加热装置。本发明的热风循环式加热装置包括:箱体,该箱体收容有被加热物;空气循环机构,该空气循环机构产生在箱体的内部循环的空气,并能对该空气循环的方向进行切换;加热机构,该加热机构对箱体的内部的空气进行加热;以及四个第一气门,这四个第一气门以将收容于箱体的被加热物的周围围住的方式配置于四个方向上,并与利用空气循环机构切换空气在箱体的内部循环的方向相配合地,在所述四个方向上依次切换空气输送至被加热物的方向和从被加热物吸入空气的方向。
- 热风循环加热装置
- [发明专利]热处理装置-CN200910203453.3有效
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神田敏朗
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爱斯佩克株式会社
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2009-05-21
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2009-11-25
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C03C17/00
- 一种热处理装置,其目的在于使伴随热处理而产生的生成气体和升华物等不会随着出入口的开闭而泄漏,或不会产生热处理室内温度分布的不均。在成为热处理装置(1)的热处理室(13)的正面(13b)并列设置有上下四个出入口(18a)~(18d)。另外,在热处理室(13)的底面(13a)设置有排气口(21),排气装置(11)与之连接。排气装置(11)在上方区域(X2)设置的出入口(18c)、(18d)为打开状态期间,其输出比在热处理室(13)的底面(13a)侧的区域(X1)设置的出入口(18a)、(18b)为打开状态期间高。由此,出入口(18c)、(18d)为打开状态时,区域(X2)的静压也和外部大气压(Po)相等或低于外部大气压,防止了包含生成气体的空气的泄漏。
- 热处理装置
- [发明专利]板状体冷却装置以及热处理系统-CN200910001280.7有效
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神田敏朗
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爱斯佩克株式会社
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2009-01-16
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2009-07-22
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C03B27/04
- 本发明的目的在于提供一种可以顺利冷却经过热处理的板状体的板状体冷却装置、以及具备该板状体冷却装置的热处理系统。板状体配置单元(20)具有多个送风单元配置部(30),其中,在该送风单元配置部(30)中隔开规定间隔设置可以向基板(W)送风的送风单元(40)。当取出放入作为冷却对象的基板(W)时,可以将移载装置(11)的叉子爪(13)插入在送风单元配置部(30)侧面形成的动作区域(25),进行动作。因此,支撑基板(W)用的支撑销(23)降低送风单元(40)的高度的量,可以将基板(W)与送风单元(40)之间的间隔减小送风单元(40)的高度的量。此外,由此能够提高沿着基板(W)流动的空气的流速,提高基板(W)的冷却效率。
- 板状体冷却装置以及热处理系统
- [发明专利]板状被处理体的冷却装置和安装有该装置的热处理系统-CN200810130315.2有效
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神田敏朗
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爱斯佩克株式会社
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2008-07-04
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2009-01-07
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F27D15/02
- 本发明提供板状被处理体的冷却装置和安装有该装置的热处理系统。板状被处理体冷却装置(1)包括板状被处理体(90)的配置部(11)和由上侧冷却部(20)与下侧冷却部(30)构成的冷却部。上侧冷却部(20)和下侧冷却部(30)配置在被处理体配置部(11)的上下,并设置有内侧板(21、31)、外侧板(22、32)和风扇(29、39)。在整个区域上形成有连通内侧板(21、31)和外侧板(22、32)、且利用筒状体(26、36)而形成的第一通孔(28、38),和贯通内侧板(21、31)的第二通孔(25、35)。使风扇(29、39)动作,使外部空气通过第一通孔(28、38)后冷却被处理体90,然后使其从第二通孔(25、35)通过中间空间(23、33)后排向外部。
- 板状被处理冷却装置装有热处理系统
- [发明专利]热处理装置-CN200610146541.0无效
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神田敏朗;长野由龟雄;芦田兼治
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爱斯佩克株式会社
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2006-11-15
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2007-05-23
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F27B5/04
- 本发明的目的在于提供一种能够高密度地层积被加热物、进行热处理的热处理装置。热处理装置(1)在加热室(3a)的内部具有架(10)。在架(10)的框部件(11)内,配置有层积了多个架部件(20)的部件。架部件(20)具有基部(21)和与其的相对位置向上方偏离的配置部(22b)。若上下层积架部件(20),则在配置部(22b、22b)的相互之间形成能够配置基板(W)的间隙。另外,在配置部(22b)的侧方,形成能够插入机械手的区域。
- 热处理装置
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