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[发明专利]一种基于分体式结构的大型旋转棱镜-CN202310948730.3在审
发明人： 由小玉;崔健炜;刘俭;刘辰光 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种基于分体式结构的大型旋转棱镜，它涉及一种大型旋转棱镜。本发明为了解决超精密测量过程中温度梯度导致测量精度受影响的问题。本发明包括反射镜和多个支撑结构；反射镜由多个单体结构沿圆周方向依次连接组成，每个所述单体结构的外边缘设有一个支撑结构。本发明属于光学扫描技术领域。
一种基于体式结构大型旋转棱镜

[发明专利]暗场共焦显微测量宽度定值方法-CN202210031996.7在审
发明人：刘俭;刘辰光;姜勇;由小玉 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像PR和下表面准焦散射图像PS。基于深沟槽暗场共焦显微成像模型计算沟槽下表面准焦强度像中沟槽边缘位置的归一化光强值IE，根据实际测量得到的下表面准焦反射图像PR以及光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps，通过高斯拟合沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的最终测量值。为暗场共焦显微镜提供一种更为准确合理的沟槽宽度定值方法。
暗场显微测量宽度方法

[发明专利]一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法-CN202010238600.7有效
发明人：刘俭;王宇航;由小玉;刘辰光 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01B11/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法，包括：建立遮挡孔径点扩散函数及边缘遮挡共焦成像模型；利用边缘遮挡共焦成像模型计算理想沟槽强度像，并进行归一化处理，获得理想沟槽归一化强度像；提取理想沟槽归一化强度像复振幅的轮廓线，找到沟槽边缘与归一化强度像交点的强度值INor；从实际测量三维数据中提取沟槽下表面轴向包络曲线，通过质心法确定沟槽下表面准焦位置及沟槽下表面准焦图像并归一化，得到实际测量的沟槽归一化强度像；寻找实际测量获得的沟槽归一化强度像中强度值为INor的坐标点，该点对应的横向位置即为实际测量中沟槽边缘位置，进而可以确定沟槽宽度，为反射式共焦显微镜提供一种更加准确且合理的沟槽宽度定值方法。
一种用于沟槽宽度边缘定位方法

[发明专利]一种用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法-CN201810332847.8有效
发明人：刘俭;由小玉;陈刚;王宇航;刘辰光;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学;南京谱锐西玛仪器有限公司;北京锐驰恒业仪器科技有限公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种用于改进型α‑β扫描方法的延迟相位标定方法，其步骤包括：使用α‑β扫描方法完成对正交网格光栅样品扫描成像，即使用频率为f，初始相位分别为0和π/2正弦信号控制检流式振镜系统，偏转激光光束扫描；然后根据使用目标轨迹重构的扫描图像与目标图像相对位置关系确认扫描图像旋转角度θ，角度值θ转换弧度值φ，φ即为在频率为f时延迟相位大小；重复步骤上述测量过程获得不同频率fk下延迟相位大小φk；最后根据多组测量结果，拟合f‑φ函数关系，即为扫描频率与相位延迟函数关系，完成用于改进型α‑β扫描方法的延迟相位标定。本发明提供的延迟相位标定方法，精准确定相位延迟大小，提前校正由于振镜系统惯性导致的相位延迟。
一种用于改进型扫描方法延迟相位标定

[发明专利]一种改进型α-β扫描方法-CN201810332815.8有效
发明人：刘俭;由小玉;陈刚;王宇航;刘辰光;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学;南京谱锐西玛仪器有限公司;北京锐驰恒业仪器科技有限公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种改进型α‑β扫描方法，其步骤包括：首先使用示波器和波形发生器获取检流式振镜系统阶跃响应曲线，根据阶跃响应曲线计算检流式振镜系统的幅频响应特性，明确振镜系统的频率—相位之间的对应关系；然后使用上位机软件构造两个幅值变化规律一致、相位差恒为π/2、初始相位不同、初始相位与频率相关的α正弦信号和β正弦信号作为检流式振镜系统的控制信号，驱动振镜扫描运动最终实现扫描光斑以同心圆轨迹完成二维扫描；最后利用目标轨迹重构扫描图像。本发明将延迟相位补偿加入控制信号，提前抑制相位延迟引入的不良影响，具有实时校正由相位延迟所导致的成像畸变的优势。
振镜系统检流阶跃响应曲线初始相位相位延迟正弦信号改进型扫描幅频响应特性波形发生器上位机软件同心圆轨迹成像畸变二维扫描幅值变化加入控制控制信号目标轨迹频率相关扫描光斑扫描图像实时校正相位补偿振镜扫描示波器相位差重构延迟驱动引入

[发明专利]一种用于共焦显微系统的α-β扫描方法-CN201610243141.5在审
发明人：刘俭;由小玉;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种用于共焦显微系统的α‑β扫描方法，它涉及共焦显微扫描方法。本发明为了解决现有技术的共焦扫描方法存在不能充分利用光学系统的有效视场，测量效率低以及可靠性提高困难的问题。本发明使用上位机软件构造α信号和β信号，分别通过数据采集卡的两个通道送入检流式振镜系统，将其作为检流式振镜系统的控制信号；检流式振镜系统按α信号和β信号进行扫描运动，扫描光斑以同心圆轨迹完成二维扫描；通过计算获得扫描光斑轨迹信息；控制检流式振镜系统和轴向微动台，实现对被测样品的三维扫描测量；对采集的数据进行处理，结合扫描光斑轨迹重构被测样品三维形貌。本发明可以充分利用光学系统的有效视场，最大限度扩大共焦显微系统的扫描视场。
一种用于显微系统扫描方法