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[发明专利]空间光调制器及其制备方法-CN202310761342.4在审
发明人： 田立飞;李智勇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02F1/015 文献下载
摘要：本公开提供一种空间光调制器及其制备方法，空间光调制器包括：绝缘调制层；上导电调制层，设置于绝缘调制层表面，包括多个调制电极；下导电调制层，设置于上导电调制层上且与绝缘调制层所在表面相对的表面，包括多个与多个调制电极配合的配合电极；一个调制电极和与该调制电极配合的一个配合电极形成一个像素单元，像素单元被配置为通过改变施加在像素单元的调制电极与配合电极之间的电压，控制上导电调制层上像素单元所在区域的载流子积累到上导电调制层和绝缘调制层的界面处，以及下导电调制层上像素单元所在区域的载流子积累到下导电调制层和绝缘调制层的界面处。该空间光调制器能够实现像素单元的光调制功能，提高调制速度。
空间调制器及其制备方法

[发明专利]空间光调制器及其制备方法-CN202310913477.8在审
发明人： 田立飞;李智勇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G02F1/1343 文献下载
摘要：一种空间光调制器及其制备方法，该空间光调制器包括：调制单元层，调制单元层包括阵列式排布的多个像素调制单元；电极组层，设置在调制单元层的第一表面上，电极组层包括多个间隔设置的电极组，每个电极组包括第一电极和第二电极，电极组的第一电极和第二电极设置在一个相应的像素调制单元两侧，电极组适用于向位于第一电极和第二电极之间的像素调制单元施加电信号；其中，来自外部的空间光信号自电极组层入射，并透过调制单元层，在电极组层施加的电信号的作用下，像素调制单元的光学性质发生变化，以使透过像素调制单元的空间光信号的光学参量发生变化，实现对空间光信号的调控。
空间调制器及其制备方法

[发明专利]一种复合型光波导端面耦合器-CN202310882652.1在审
发明人：李智勇;殷煜翔;于航;涂东河;于治国;关欢;田立飞;姜磊 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G02B6/30 文献下载
摘要：本发明公开一种复合型光波导端面耦合器，包括：硅衬底(1)、埋氧层(2)、第一波导层、第二波导层和二氧化硅包层(3)；所述第一波导层包括条形过渡波导(5)和脊形波导(6)；所述条形过渡波导(5)生长在所述埋氧层(2)的中线上，依次包括第一过渡段(51)、第二过渡段(52)和第三过渡段(53)，所述第一过渡段(51)和所述第三过渡(53)段为倒锥形，所述第二过渡段(52)为矩形；所述脊形波导(6)包括平板波导和脊波导，所述平板波导和所述脊波导为倒锥形；所述二氧化硅包层(3)生长在所述埋氧层(2)和所述第一波导层上；所述第二波导层为氮化硅波导(4)，位于所述二氧化硅包层(3)中部，平行与所述埋氧层(2)的中线。
一种复合型波导端面耦合器

[发明专利]空间光调制器及其制备方法-CN202110658175.1有效
发明人： 田立飞;李智勇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：本公开提供一种空间光调制器，包括：调制层单元，包括依次设置的不同折射率的第一调制层、第二调制层和第三调制层；所述第二调制层的折射率与所述第一调制层和第三调制层不同，所述第一调制层、第二调制层和第三调制层中至少一个调制层设置有至少一个图形单元；电极单元，包括正电极和负电极，位于所述图形单元的间隙之中，所述电极单元能够调节所述电极单元所接触的调制层所述第二调制层的光学性质。同时本公开还提供一种空间光调制器的制备方法。
空间调制器及其制备方法

[发明专利]空间光调制器及其制备方法-CN202011499623.X有效
发明人： 田立飞;李智勇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种空间光调制器，包括：反射层，用于对入射波进行反射；调制层，设置在所述反射层上，所述调制层的光学性质可调节，包括像素调制单元；电极层，设置在所述调制层上，包括调制电极，所述调制电极设置在所述像素调制单元上，所述调制电极通过改变施加在所述像素调制单元的电压完成改变调制层的光学性质，具有稳定性高，鲁棒性高，使用寿命长和调制速度高的特点。本发明还公开了一种空间光调制器的制备方法，通过采用调制电极通过改变像素调制单元的电压完成改变调制层的光学性质，进而实现对光波的调制，相较于液晶空间光调制器，具有加工步骤少、加工难度低、成品率高，生产成本低的有益效果。
空间调制器及其制备方法

[发明专利]空间光调制器及其制备方法-CN202111361844.5有效
发明人： 田立飞;李智勇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G02F1/1343 文献下载
摘要：本公开公开了一种空间光调制器，包括：绝缘调制层(300)；导电调制层(400)，设置于绝缘调制层(300)上，并包括多个调制电极；电极层(200)，设置于绝缘调制层(300)下，并包括多个与多个调制电极配合的配合电极；其中，绝缘调制层(300)、导电调制层(400)的调制电极和电极层(200)的配合电极形成多个像素单元，通过改变施加在每个像素单元的调制电极和配合电极的电压，使得像素单元所在的导电调制层(400)的载流子积累到导电调制层(400)和绝缘调制层(300)的界面处，从而调制像素单元所在的导电调制层(400)的光学性质，从而实现像素单元的光调制功能，提高调制速度。
空间调制器及其制备方法

[发明专利]一种光学相控阵集成芯片-CN201811340102.2有效
发明人：刘敬伟;李文玲;田立飞;张新群 -专利权人：国科光芯（海宁）科技股份有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学相控阵集成芯片，包括：芯片输入端，用于连接光纤；光复用器，用于将通过光纤的光束分为多路光束；光调制器，光调制器包括多个通道，多个通道与多路光束的数量相同且一一对应连接，光调制器用于对多束光束进行相位调制；光合束器，与多个通道一一对应相连，用于将经过多个通道的光束进行合束；芯片输出端，与光合束器相连；设置在芯片输出端处的金属吸收层，金属吸收层用于限制芯片输出端的旁瓣光束出射。本发明具有如下优点：利用金属层阻挡和吸收芯片内可能引起干扰作用的杂散光，提高芯片光学输出信噪比。杂散光抑制结构集成于芯片上，具有结构紧凑、成本低、可靠性高的优点。
一种光学相控阵集成芯片

[实用新型]共阳双路节能LED显示屏电源电路-CN202021563741.8有效
发明人：张佳健;汪维;田立飞 -专利权人：东莞市奥源电子科技有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H02M7/217 文献下载
摘要：本实用新型涉及电源电路技术领域，尤其是指一种共阳双路节能LED显示屏电源电路。包括变压器T1和变压器T2，还包括连接器CON2，变压器T1包括有绕组N1，该绕组N1的一端分别串联有滤波电容EC4、滤波电容EC5、滤波电容EC6、电阻R101、电阻R81、电阻R100、电阻R83和电源输出端，变压器T2包括有绕组N2，该绕组N2的一端分别串联有滤波电容EC7、滤波电容EC8、滤波电容EC9、电阻R82、电阻R84、电阻R85、电阻R86和电源输出端。双路电压供电使模组端恒流电路及灯珠损耗更小（特别是红灯部分的损耗），使用双路电源后LED显示屏温度更低更节能，安全可靠使用寿命长。
共阳双路节能 led 显示屏电源电路

[发明专利]一种光束成像装置以及激光雷达-CN201910231654.8有效
发明人： 田立飞;刘敬伟;韦钟辉 -专利权人：国科光芯（海宁）科技股份有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明提供的一种光束成像装置以及激光雷达，光束成像装置包括层叠设置的衬底层、包层和图形层；还包括包围设置于所述图形层外部并与所述包层接触的p型层；所述包层和所述p型层的折射率不高于所述图形层的折射率；所述p型层包括间隔设置的第一p型层和第二p型层；所述第一p型层上方设置有发光层以及驱动所述发光层的n型层、第一电极层和第二电极层，所述第二p型层上方设置有对所述图形层加热的第三电极层。如此设置可使光在界面处发生全反射，将光限制在图形层中传输，降低光的传输损耗。并且p型层使图形层与外界隔离，对图形层进行一定保护，防止图形层受损。
一种光束成像装置以及激光雷达

[发明专利]光束成像装置-CN201711184560.7有效
发明人： 田立飞;刘敬伟;张新群;仝飞 -专利权人：国科光芯（海宁）科技股份有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明公开了一种光束成像装置，包括：衬底层、图形层、钝化层和电极层，所述衬底层包括底层和表层，所述图形层位于所述衬底层的所述表层的上方，所述图形层包括底层和表层，所述底层为禁带宽度不小于2.3eV，所述表层为禁带宽度不小于2.3eV且折射率不高于所述底层；所述电极层位于所述图形层的所述表层的上方，所述电极层包括正电极和负电极，所述正电极和所述负电极分别与所述图形层的所述表层相接触；所述电极层为电阻率不大于5×10‑7Ω·m且与所述图形层的接触势垒不大于1.5eV的具有低电阻率和低接触势垒的金属、合金或金属/氧化物复合材料。本发明具有如下优点：可以实现低成本、低传输损耗、高稳定性和高均匀性的成像过程。
光束成像装置

[发明专利]一种光束成像装置-CN201811587448.2有效
发明人： 田立飞;刘敬伟;姜磊 -专利权人：国科光芯（海宁）科技股份有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： H01L33/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种光束成像装置，包括：衬底层；至少一个光波产生单元，设置在衬底层的上方，与衬底层接触，光波产生单元包括依次层叠设置的第一类型导电层、第一电极层和第一图形层、第二类型导电层以及第二电极层，图形层用于复合第一类型导电层的载流子和第二类型导电层的载流子，产生光波并传输光波；至少一个第二图形层，与光波产生单元间隔设置在衬底层的上方，与衬底层接触。本发明实施例提供的光束成像装置，不同电极层连接电源时，可以实现产生光波、传输光波以及调制光波等较多功能，此外，在衬底层上设置第二图形层，第二图形层可以用于传输光波，且在衬底层上直接形成第二图形层时，降低了成膜的难度，降低了传输损耗。
一种光束成像装置

[发明专利]一种光束成像装置-CN201811587884.X有效
发明人： 田立飞;刘敬伟;李文玲 -专利权人：国科光芯（海宁）科技股份有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明公开了一种光束成像装置，该装置包括：衬底层；第一类型导电层，设置在衬底层的上方，与衬底层接触；第一电极层，设置在第一类型导电层的上方，与第一类型导电层接触；至少一个图形层，设置在第一类型导电层的上方，与第一类型导电层接触；图形层的上方依次对应层叠有第二类型导电层和第二电极层；图形层用于复合第一类型导电层的载流子和第二类型导电层的载流子，产生光波并传输光波。本发明实施例提供的光束成像装置，不同电极层连接电源时，可以实现产生光波、传输光波以及调制光波等较多功能，解决了现有光束成像装置只能用于传输外部设备输入的光波，功能单一的技术问题。
一种光束成像装置

[发明专利]一种集成光学分束器-CN201811329965.X在审
发明人：刘敬伟;李文玲;田立飞;张新群 -专利权人：国科光芯（海宁）科技股份有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成光学分束器，包括：第一波导；第二波导，第二波导的折射率对比度高于第一波导的折射率对比度；设置在第一波导和第二波导之间的模斑转换器，用于实现第一波导和第二波导之间的模式转换；第一波导包括输入波导和分束结构，第一波导包括顺序设置的第一下包层、第一芯层、第一上包层；第二波导包括输出波导，第二波导包括顺序设置的第二下包层、第一芯层、第二芯层和第二上包层；模斑转换器包括第一下包层、第一芯层、第二芯层和第一上包层。本发明具有如下优点：分束器的输入端可以与标准单模光纤低损耗耦合，并具有高光学非线性阈值；分束器的输出部分可与高集成度的功能器件低损耗耦合。
一种集成学分

[实用新型]一种集成光学相控阵芯片-CN201822275855.1有效
发明人：刘敬伟;李文玲;田立飞;张新群 -专利权人：国科光芯(海宁)科技股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种集成光学相控阵芯片，包括设置于相控波导阵列一侧的平板区，所述相控波导阵列的光束输出至所述平板区；所述平板区包括层叠设置的衬底层、芯层和包层，相对于所述相控波导阵列的另一端设置有角度扩展结构；所述角度扩展结构为可改变入射光线传播路径的光学结构。通过在一维相控芯片输出平板区增加片上透镜或光栅结构，扩大扫描角度范围，提高芯片工作性能，同时结构紧凑，具有高可靠性的优点。相比现有技术采用多个芯片组合扩展角度的方案，降低了系统的复杂度、控制难度、以及系统的成本。使用片外光栅或透镜控制扫描角度的方案，本实用新型利于芯片的小型化，使组装过程更为简单，同时增加了系统的可靠性。
相控芯片波导阵列平板区本实用新型角度扩展扫描光栅层叠设置传播路径高可靠性工作性能光束输出光学结构光栅结构集成光学技术采用片上透镜入射光线输出平板透镜控制一端设置组装过程衬底层复杂度可改变相控阵包层芯层

[实用新型]一种相控阵集成光学芯片和光学相控阵发射装置-CN201822275947.X有效
发明人：刘敬伟;李文玲;田立飞;张新群 -专利权人：国科光芯(海宁)科技股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种相控阵集成光学芯片包括依次连接的合波器、1xN分束器、相控波导阵列和输出区；所述合波器具有与激光器芯片出射光束对应的输入端，输出端与所述1xN分束器连接；所述1xN分束器用于将一路光分为多路并输出至所述相控波导阵列。通过接入所述出射光束，可将多个光源输出功率合成，不增加散热难度的前提下，使发射装置具有高输出功率。本实用新型同时提供一种光学相控阵发射装置，包括所述相控阵集成光学芯片以及集成于所述相控阵集成光学芯片的激光器芯片。将相控功能集成于同一模块或芯片的方案，结构更为紧凑。
集成光学芯片分束器相控阵相控发射装置本实用新型激光器芯片波导阵列出射光束合波器光源输出功率高输出功率光学相控阵功能集成依次连接输出端输出区输入端散热多路紧凑合成芯片输出

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