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[发明专利]载台倾斜调节装置及使用其的基板切断装置-CN202010302646.0在审
发明人：林斗焕;田珉硕 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的载台倾斜调节装置包括：支承部；载台，其设置于所述支承部的上表面，用于固定基板；以及倾斜调节部，其设置于所述支承部的一侧，并分别具备驱动单元和旋转单元，所述载台倾斜调节装置通过所述驱动单元的工作使所述旋转单元旋转，从而对所述载台的倾斜角度进行调节。根据本发明的载台倾斜调节装置，通过分开构成驱动单元和旋转单元，即使是简单的结构，也能够容易调节载台的倾斜角度。另外，能够显著减少施加于旋转单元的负载，能够提高装置的安全性和基板的切断品质。
倾斜调节装置使用切断

[发明专利]脆性基板划线器用粉尘去除装置-CN201710223546.7有效
发明人：金荣男;田珉硕 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： B28D7/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于去除划线时所产生的粉尘。本案涉及脆性基板划线器用粉尘去除装置。该脆性基板划线器用粉尘去除装置设置有：粉尘上升部(51)，具备使划线轮向下通过的头通道(51d)，喷出空气而形成包围划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板(A)上升；空气供给机构，对粉尘上升部(51)供给空气；流速调节部，控制对粉尘上升部(51)供给的空气的流动量，而调节从粉尘上升部(51)喷出的空气的流速；及排出机构，将通过粉尘上升部(51)的作用而上升的粉尘与空气一起从空气幕的内侧区域排出到外部。
脆性划线器用粉尘去除装置