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[发明专利]物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体-CN201810996247.1有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部；第一、第二固定电极，设置于支承基板上，与第一、第二质量部相对；以及突起，设置于设有第一、第二固定电极的区域，从支承基板朝向第一、第二质量部突出，在交叉方向上，当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L，且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1为0.18L以上0.88L以下。
物理量复合传感器惯性测量单元电子设备移动

[发明专利]物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体-CN201811423681.7有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供能够减少可动部的过度位移的物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体。物理量传感器包括：基板；固定部，固定于基板；可动部，包括包围固定部的框部，与固定部连接，并能相对于基板在X轴方向上位移；以及可动电极，支承于可动部。另外，框部包括：第一外缘部，位于X轴方向的一侧，并沿着Y轴方向配置；以及第二外缘部，位于X轴方向的另一侧，并沿着Y轴方向配置。另外，相比第一外缘部，固定部更靠第二外缘部一侧而配置，基板包括：第一凸部，与第一外缘部重叠，并与第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，与第二外缘部重叠，并与第二外缘部相分离地配置。
物理量传感器惯性装置电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置-CN202111348263.8在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能够同时实现高灵敏度化和粘着的降低。物理量传感器(1)包含基板(2)和可动体(3)，在可动体的第1质量部(34)的第1面(6)设置有在相邻的区域间设有阶梯差的第1～第n区域。在设第1～第n区域的离旋转轴(AY)远的一侧的端部为第1～第n端部、在可动体绕旋转轴进行了最大移位的状态下通过第1～第n端部中的2个端部且与X轴所成的角最小的假想直线为第1假想直线(VL1)、沿着第1固定电极(24)的主面的直线为第2假想直线(VL2)时，在与基板的第1固定电极的离旋转轴最近和最远的端部相交的第1和第2法线间的区域(RN12)中，第1与第2假想直线不交叉。
物理量传感器器件以及惯性测量装置

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置-CN202111246032.6在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01C19/5614 文献下载
摘要：物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器(1)包含：基板(2)，其设置有第1固定电极(24)；可动体(3)，其包含与第1固定电极对置的第1质量部(34)。第1质量部包含第1区域(61)和远离旋转轴(AY)的第2区域(62)，在第1、第2区域分别设置有第1、第2贯通孔组，可动体包含基板侧的第1面(6)和第2面(7)。在第1质量部的第1面，设置有用于使第1区域中的第1质量部与第1固定电极间的第1空隙的第1间隙距离小于第2区域中的第1质量部与第1固定电极间的第2空隙的第2间隙距离的阶梯差或斜面。第1和第2贯通孔组的贯通孔的深度小于可动体的最大厚度。
物理量传感器器件以及惯性测量装置

[发明专利]交通工具用座椅-CN202011179145.4在审
发明人：滨津功大;田中悟;奥尚人;姚柏名;刘红俊 -专利权人：提爱思科技股份有限公司;本田技研工业(中国)投资有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B60N2/30 文献下载
摘要：本发明提供一种交通工具用座椅，即使在使座椅靠背相对于座椅座垫倾倒时两者之间也难以产生间隙，且降低座椅靠背的背面的高低差。座椅靠背借助于靠背倾斜调节装置(10)与座椅座垫结合，在座椅座垫设置具有以旋转轴为中心的大致圆弧状的轮廓的靠背倾斜调节罩(31)，在座椅靠背的侧框架设置有填埋靠背倾斜调节罩与侧框架之间的间隙的间隙盖(40)，间隙盖具有凸缘，该凸缘具有对应于靠背倾斜调节罩的轮廓的形状，间隙盖还具有安装部(41)，该安装部应该被固定于座椅靠背的对应的侧框架的背面，安装部具有延长部(44)，该延长部划定与侧框架的背面平滑地连接的斜面(44A)。
交通工具座椅

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体-CN201711258636.6有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。
物理量传感器装置电子设备移动

[发明专利]惯性传感器以及惯性测量装置-CN202110764282.2在审
发明人：泷泽照夫;永田和幸;田中悟;山崎成二 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G01C19/5649 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。
惯性传感器以及测量装置

[发明专利]物理量传感器、电子设备、便携式电子设备及移动体-CN201810213123.1有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种物理量传感器、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器具备：基板；可动体，能够根据物理量绕支承轴位移，设有开口部；以及支承部，设于所述基板上，并位于所述开口部，所述支承部具有：第一固定部和第二固定部，固定于所述基板，俯视下隔着所述支承轴设置；第一梁部和第二梁部，将所述第一固定部和所述第二固定部连接，并相互分开设置；第三梁部，在所述支承轴的方向上延伸，将所述第一梁部和所述可动体连接；以及第四梁部，在所述支承轴的方向上延伸，将所述第二梁部和所述可动体连接。
物理量传感器电子设备便携式移动

[发明专利]物理量传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体-CN201810238636.8有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-03-21 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及物理量传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体。物理量传感器包括：可动体；支承部，经由连结部支承所述可动体；基板，在俯视观察时配置成与所述可动体重叠，并且，沿与所述连结部的长边方向正交的第一方向，设置有第一固定电极及第二固定电极；第三固定电极，在俯视观察时未与所述可动体重叠，所述第三固定电极与所述第一固定电极及所述第二固定电极中任一方电连接，并设置于所述基板；以及第一虚拟电极，在俯视观察时与所述第三固定电极相邻配置，并与所述可动体为相同电位，所述第一虚拟电极设置于所述基板。
物理量传感器电子设备便携式以及移动

[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体-CN202110449448.1在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本申请涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具有：可动体，绕摆动轴摆动；以及检测电极，与可动体相对配置。基板具有第一区域至第m区域，检测电极跨第一区域至第n区域而配置。当设定了连接检测电极在第一区域至第n区域各区域上的端部中的两个端部的虚拟直线中与X轴方向所成的角最小的第一虚拟直线以及在可动体绕摆动轴进行了最大位移的状态下沿可动体在基板一侧的主面的第二虚拟直线时，在与第一区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第一法线和与第n区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第二法线之间的区域中，第一虚拟直线与第二虚拟直线不交叉。
物理量传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器以及物理量传感器的制造方法-CN201610846981.0有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够良好地防止或减少可动体与基板的粘附的物理量传感器及其制造方法，此外，提供一种具备所述物理量传感器的传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：底基板(2)；可动部(42)，其以与底基板(2)对置并能够相对于底基板(2)而进行位移的方式被设置；第一固定电极(51)以及第二固定电极(52)，其以与可动部(42)对置的方式被配置在底基板(2)上；多个突起部(6)，其被配置在底基板(2)的可动部(42)侧且被配置于在俯视观察时与可动部(42)重叠的位置处，突起部(6)具有导体层和绝缘层，所述导体层与第一固定电极(51)以及第二固定电极位(52)为相同电位，所述绝缘层相对于导体层而被设置在与底基板(2)相反的一侧。
物理量传感器以及制造方法

[发明专利]物理量传感器、电子设备和移动体-CN202110215442.8在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供不易破损的物理量传感器、电子设备和移动体。关于物理量传感器，再将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向和第三方向时，具有：基板；以及可动体，与所述基板隔开空隙并在所述第三方向上对置，相对于所述基板在所述第三方向上位移，所述可动体具有：第一区域，具备在所述第三方向贯通并从所述第三方向观察时的开口形状为正方形的多个贯通孔；以及第二区域，不具备贯通孔，将所述贯通孔的一边的长度设为S0，将相邻的所述贯通孔彼此的间隔设为S1时，所述第二区域的所述第一方向的长度和所述第二方向的长度中的至少一方为S0+2×S1以上。
物理量传感器电子设备移动

[发明专利]物理量传感器及其制造方法、电子设备、移动体-CN201810238485.6有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-03-21 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及物理量传感器及其制造方法、电子设备、移动体。物理量传感器的制造方法具有在基板上形成第一固定电极、第二固定电极和虚拟电极的电极形成工序、以及可动体形成工序，电极形成工序具有以下工序：在基板上形成第一掩模层；在基板上以及第一掩模层上成膜第一导电层并去除第一掩模层而形成第一电极材料层；在基板上以及第一电极材料层上成膜第二导电层；在第二导电层上成膜掩模材料层并将俯视观察时掩模材料层的未与第一电极材料层重叠的部分的局部去除而形成第二掩模层；以及以使第二导电层设于第一电极材料层上及基板上的方式将第二掩模层作为掩模对第二导电层进行蚀刻而形成第二电极材料层。
物理量传感器及其制造方法电子设备移动

[发明专利]6元杂环衍生物及含有其的药物组合物-CN201680037127.8有效
发明人： 田中悟;小川知行;甲斐浩幸;绪方雄贵;平井啓一朗;黑濑规之;藤井康彦 -专利权人：盐野义制药株式会社
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C07D213/69 文献下载
摘要：本发明提供式(I)所示的化合物或其药学上可接受的盐，(式中，为等；Y1为O等；Z1为C(R4)或N；Z2a为C(R5a)等；Z3a为C(R6)等；R4、R5a及R6各自独立地为氢原子等；R1为取代或未取代的芳香族碳环基等；R2a、R2b、R2c及R2d各自独立地为氢原子等；X为N(R7a)等；R7a为氢原子等；R3为等，环B为6元芳香族碳环等；R9a及R10a各自独立地为卤素等；n为1～5的整数；m为0～4的整数；p1为0～3的整数)。
元杂环衍生物含有药物组合

[发明专利]物理量传感器、电子设备和移动体-CN202011139915.2在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种物理量传感器、电子设备和移动体，物理量传感器具有：基板；以及可动体，与基板隔开空隙并与第三方向相对，且相对于基板在第三方向上位移。可动体具有：第一部分和第二部分；以及多个贯通孔，配置于第一部分和第二部分，且在第三方向上贯通。并且，在将阻尼作为C、将阻尼的最小值作为Cmin时，在从第三方向的俯视观察下，在与第一部分重叠的第一区域和与第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足C≤1.5×Cmin。
物理量传感器电子设备移动