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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]透射电镜样品的形成方法-CN201410604119.X有效
发明人：赵燕丽;段淑卿;甄彦琳;王莎 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：一种透射电镜样品的形成方法，包括：提供衬底，衬底内具有缺陷区域；在缺陷区域周围的衬底内形成第一沟槽、第二沟槽、第三沟槽和第四沟槽，第一沟槽、第二沟槽、第三沟槽和第四沟槽包围的衬底形成预处理样品；在预处理样品内形成开口，开口顶部位于第二表面，开口包括第一侧壁，第一侧壁平行于待测表面；对第一侧壁进行减薄，使第一侧壁到待测表面之间的距离达到预设距离；在对第一侧壁进行减薄之后，形成贯通第一侧壁和待测表面的切口，切口包围的部分预处理样品形成待测样品，待测样品包括缺陷区域，且待测样品相对于预处理样品分离。样品形成方法能够保证晶圆完整，且所形成的样品精确。
透射样品形成方法

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