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[实用新型]MEMS扬声器-CN202321348836.1有效
发明人：周一苇;沈宇;但强;李杨 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS扬声器，所述MEMS扬声器仅包括围成腔体的衬底、叠设于所述衬底上方且盖设所述腔体的压电振膜、以及覆盖于所述压电振膜上的柔性结构层，所述压电振膜、所述柔性结构层均为完整的片状结构，所述柔性结构层的杨氏模量小于所述压电振膜的杨氏模量，所述柔性结构层的杨氏模量为100MPa至50GPa，本实用新型的MEMS扬声器取消了较硬的结构层，采用较软的柔性结构层，可以更好的提升位移，MEMS扬声器的声学性能更突出。
mems 扬声器

[发明专利]微机械陀螺仪及电子产品-CN202210214435.0在审
发明人：马昭;占瞻;阚枭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括驱动组件、检测组件、两个第一连接组件和两个第二连接组件。其中，驱动组件包括第一驱动件、第二驱动件和驱动装置，驱动装置用于驱动第一驱动件和第二驱动件运动；检测组件包括沿第三方向布置的两个第一检测件、沿第四方向布置的两个第二检测件和检测装置，检测装置用于检测第一检测件和/或第二检测件沿第五方向的运动距离；第一连接组件和第二连接组件分别绕其圆心转动，以使第二检测件能够沿第三方向往复运动、第一检测件能够沿第四方向往复运动。本发明的微机械陀螺仪及电子产品可以实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。
微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310517447.5在审
发明人：马昭;杨珊;严世涛;占瞻;阚枭;彭宏韬;陈秋玉;李杨;黎家健 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、多个第二质量块、多个驱动件、多个第一柔性梁和多个第二柔性梁，第一质量块设置有安装区域；多个第二质量块沿第一方向分布；多个驱动件沿第一方向分布，且多个第二质量块沿第一方向的相对两侧分别设置有驱动件；多个驱动件和多个第二质量块均位于安装区域内，第一质量块环绕于多个驱动件和多个第二质量块的外侧；每个驱动件与第一质量块通过第一柔性梁连接，每个第二质量块和与其相邻的驱动件通过第二柔性梁连接。该种微机械陀螺仪及电子产品，能够提高第一质量块的哥氏转化率，进而能够最大化利用芯片面积。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310344613.6在审
发明人：杨珊;马昭;占瞻;严世涛;阚枭;李杨;彭宏韬;陈秋玉;黎家健;潘在祥 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括第一传感组件、第二传感组件、驱动件、第一耦合梁和第二耦合梁。驱动件位于第一传感组件和第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧。第一传感组件通过第一耦合梁与驱动件连接。第二传感组件通过第二耦合梁与驱动件连接。第一耦合梁沿第二方向的刚度大于第一耦合梁沿第三方向的刚度，第三方向垂直于第一平面。第二耦合梁沿第二方向的刚度大于第二耦合梁沿第一方向的刚度。本申请的微机械陀螺仪及电子产品的工作精度较高。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种加速度计-CN202310275440.7在审
发明人：严世涛;杨珊;占瞻;马昭;阚枭;李杨;陈秋玉;黎家健;彭宏韬;钟浩明;潘在祥 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度计，加速度计包括基底，基底具有锚点，其中外耦合单元呈环状，且与基底平行，第一扭转板设置在外耦合单元内侧，且和锚点连接，第一扭转板靠近锚点的一侧设置有内耦合梁，第二扭转板设置在外耦合单元的内侧，且和锚点连接，第二扭转板通过两个内耦合梁和第一扭转板连接，第二扭转板和第一扭转板相互嵌合，第一扭转板和第二扭转板沿第二方向对称，两个扭梁沿第一方向分别位于内耦合梁的两侧，第一扭转板和第二扭转板能够分别围绕扭梁转动，本发明提供的方案能够降低交叉耦合，并提高加速度计的精确度和抗干扰性。
一种加速度计

[发明专利]一种加速度计-CN202310380682.2在审
发明人：严世涛;阚枭;马昭;占瞻;杨珊;李杨;陈秋玉;黎家健;彭宏韬;钟浩明;潘在祥 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度计，加速度计包括基底和检测装置，基底具有相邻设置的支撑锚点和电极固定锚点，检测装置包括两个检测板以及对应设置的检测电极，检测电极通过连接臂和电极固定锚点连接，检测板弹性连接于支撑锚点，且两个检测板相对于支撑锚点的轴线非对称设置，两者相互平行且方向相反，检测电极和检测板间隔设置，用于形成检测电容，其中，加速度计包括两个检测装置，且两个检测装置位于同一平面内，两个检测装置中的检测板分别相互垂直设置，同一检测装置的两个检测板相邻设置，不同检测装置之间的面内检测电极之间的走线可以相互分离，不相互交叉，减小了复杂走线带来的寄生电容的影响，从而提高了加速度计的检测精确度。
一种加速度计

[发明专利]双轴陀螺仪及电子设备-CN202310354638.4在审
发明人：杨珊;阚枭;占瞻;严世涛;马昭;彭宏韬;李杨;陈秋玉;黎家健;潘在祥;钟浩明 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01C19/5642 文献下载
摘要：本发明提供了一种双轴陀螺仪及电子设备，双轴陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、驱动装置及检测装置。第一质量块能够绕第一锚点在第一平面内摆动，且第一质量块能够绕第一锚点的第一中心轴摆动；第二质量块能够绕第二锚点在第一平面内摆动，且第二质量块能够绕第二锚点的第二中心轴摆动；多个第一质量块沿第二方向分布，多个第二质量块沿第二方向分布，相邻第一质量块之间通过第一耦合连杆强耦合连接，相邻第二质量块之间通过第二耦合连杆强耦合连接，提升了第一质量块、第二质量块的位移比的准确性，提升了双轴陀螺仪的工作准确性及稳定性；同时，降低了第一质量块、第二质量块的加工精度的需求，进而降低了双轴陀螺仪、电子设备的加工成本。
陀螺仪电子设备

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310127020.4在审
发明人：马昭;严世涛;杨珊;占瞻;阚枭;李杨;陈秋玉;黎家健 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、驱动件、第一连接梁和第二连接梁，第一质量块和第二质量块均设置有多个，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块位于第一质量块之间，沿与第一方向垂直的第二方向，第二质量块相对设置；驱动件设置有多个，沿第二方向，驱动件位于第一质量块和第二质量块的相对两侧；第一连接梁和第二连接梁均为柔性梁；其中，第一质量块沿第二方向的两端分别通过第一连接梁和位于第一质量块两侧的驱动件连接，第二质量块和与其相邻的驱动件之间通过第二连接梁连接。本发明提供的微机械陀螺仪及电子产品，降低了质量块在不同模态下的互相干扰程度，有利于提高检测精度。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310131702.2在审
发明人：杨珊;阚枭;占瞻;严世涛;马昭;彭宏韬;钟浩明;潘在祥;黎家健;陈秋玉;李杨 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块和耦合部件，第一质量块设置有多个，沿第一方向，多个第一质量块分别位于第二质量块的相对两侧；耦合部件包括耦合连杆和连接于耦合连杆两端的多个连接梁，连接梁为柔性梁，耦合部件位于第一质量块和第二质量块之间，并将第一质量块和第二质量块连接，其中，连接于耦合连杆一端的连接梁与第一质量块连接，连接于耦合连杆另一端的连接梁与第二质量块连接。该种微机械陀螺仪及电子产品，通过耦合连杆的设置，能够使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310127029.5在审
发明人：马昭;阚枭;严世涛;杨珊;占瞻;李杨;陈秋玉;黎家健 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、第一驱动件、第二驱动件、第一耦合部件和第二耦合部件，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块、第一驱动件和第二驱动件位于第一质量块之间，第一驱动件和第二驱动件沿第一方向相对设置，沿第二方向，第二质量块位于第一驱动件和第二驱动件的相对两侧；位于第一驱动件背离第二驱动件的一侧的第一质量块与第一驱动件通过第一耦合部件连接，位于第二驱动件背离第一驱动件的一侧的第一质量块与第二驱动件通过第一耦合部件连接，第二质量块沿第一方向的两端分别通过第二耦合部件与第一驱动件和第二驱动件连接。如此设置，能够降低质量块在不同模态下的互相干扰程度。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种三轴陀螺仪-CN202210981204.2在审
发明人：占瞻;马昭;阚枭;严世涛;杨珊;陈秋玉;李杨;黎家健 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种三轴陀螺仪，包括驱动结构、第一敏感结构、第二敏感结构、第三敏感结构以及多个锚定结构，驱动结构用于驱动三轴陀螺仪，第一敏感结构用于敏感第一方向的角速度，第二敏感结构用于敏感第二方向的角速度，第三敏感结构用于敏感第三方向的角速度。第一敏感结构、第二敏感结构以及第三敏感结构相互独立，且能够在第一检测模态、第二检测模态以及第三检测模态下能够相互解耦，能够有效避免产生耦合误差，且在第一检测模态、第二检测模态或第三检测模态下可以同时兼容电学正交抑制和电容模态匹配，从而能够补偿由于加工不对称导致的结构性能损失，降低正交误差，提高三轴陀螺仪的检测精度和整体性能。
一种陀螺仪

[发明专利]微机械陀螺仪及电子产品-CN202210159812.5在审
发明人：马昭;占瞻;杨珊;阚枭;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本发明提供了微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，第一运动件具有第一中心，且第一运动件沿第二方向的两端能够绕第一中心沿第一方向和第三方向摆动，第二运动件具有第二中心，且第二运动件沿第一方向的两端能够绕第二中心沿第二方向和第三方向摆动，多个驱动件能够驱动第一运动件沿第一方向的摆动和第二运动件沿第二方向的摆动，检测件沿第三方向位于第一运动件和第二运动件上方或下方，检测件用于检测第一运动件和第二运动件沿第三方向的移动的距离。该微机械陀螺仪通过第一运动件和第二运动件可以同时测量两个方向的角速度并进行差分检测排除误差，从而拓宽了微机械陀螺仪的应用场景。
微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种压电扬声器-CN202210060171.8在审
发明人：沈宇;但强;周一苇;程诗阳;李杨 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电扬声器，包括：衬底，衬底贯穿设置有空腔；支撑结构，设置于衬底上并覆盖空腔；第一驱动结构，层叠于支撑结构上，第一驱动结构包括交替叠设的第一电极层以及第一压电层；传动结构，层叠于驱动结构上；还包括分隔槽，分隔槽贯穿支撑结构以及驱动结构，以将第一驱动结构分隔为第一压电驱动部和第二压电驱动部，传动结构的刚度小于或等于驱动结构的刚度，第一驱动结构的刚度小于或等于支撑结构的刚度。与现有技术相比，本发明利用分隔槽将第一驱动结构分隔为第一压电驱动部和第二压电驱动部，第一压电驱动部和第二压电驱动部协同作用，同一时刻产生的声压级更高。
一种压电扬声器

[发明专利]一种MEMS陀螺仪-CN202210061281.6在审
发明人：马昭;占瞻;杨珊;阚枭;严世涛;李杨;彭宏韬;黎家健;陈秋玉;洪燕 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS陀螺仪，包括衬底、第一单元和第二单元，第一单元以及第二单元沿第一方向相对设置于衬底上，第一单元与第二单元通过耦合弹簧连接，衬底上还设有驱动电极以及检测电极,其中：第一单元包括沿第二方向相对设置的第一质量块和第二质量块，第一组耦合结构通过第一组弹性梁与第一质量块和第二质量块连接；第二单元包括沿第二方向相对设置的第三质量块和第四质量块，第二组耦合结构通过第二组弹性梁与第三质量块和第四质量块连接。与现有技术相比，本发明的有益效果为MEMS陀螺仪采用对称布局，便于实现差分检测以及提高灵敏度。
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]微机械陀螺仪及电子产品-CN202111595035.0在审
发明人：马昭;杨珊;占瞻;阚枭;彭宏韬;严世涛;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 -专利权人： 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本申请涉及一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括驱动结构、检测结构和连接件。驱动结构包括第一运动件和安装于第一运动件的驱动件，第一运动件能够沿第一方向或与第一方向垂直的第二方向运动，驱动件用于驱动第一运动件的运动；检测结构包括第二运动件和安装于第二运动件的检测件，第二运动件能够沿第三方向或与第三方向垂直的第四方向运动，检测件用于检测第二运动件沿第三方向或第四方向的运动距离；第一方向与第三方向存在预设夹角。其中，驱动件安装于第一运动件内侧，检测件安装于第二运动件内侧，增加了微机械陀螺仪可安装的驱动件的数量，在驱动电压相同时可实现更大振幅驱动，从而提高微机械陀螺仪的灵敏度。
微机陀螺仪电子产品

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