“王肇龙”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种控制半导体晶圆加热温度的方法-CN202310295212.6在审
发明人：喻晓;王肇龙;赵官源;倪玉河;李进;李士会 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制半导体晶圆加热温度的方法，包括以下步骤：步骤S1、使用非接触热源，对真空加热腔室内的晶圆进行初次加热，到达第一预定时间t1后，晶圆升温至第一预定温度T1；步骤S2、在真空环境中，将晶圆从初次加热的加热腔室传输至二次加热的加热腔室，到达第二预定时间t2后，晶圆降温至第二预定温度T2；步骤S3、在二次加热的加热腔室内，使用接触或半接触热源对晶圆进行二次加热，到达第三预定时间t3后，晶圆升温并保持在第三预定温度T3，开始对晶圆进行离子注入。本发明具有原理简单、控制精准且加热速度快等优点，解决了半导体高温注入中晶圆加热的控制问题，提高了晶圆高温注入的质量。
一种控制半导体加热温度方法

[发明专利]一种利用多个角度法拉第杯测量离子束流水平角度的方法-CN201910980541.8在审
发明人： 王肇龙 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用多个角度法拉第杯测量水平方向角度、并计算发散度的方法，这种方法通过一个移动法拉第，配合角度法拉第接收离子束流，角度法拉第由7个矩形角度杯沿X方向紧密排列组成，每个角度杯是由栅格结构组成，且栅格结构及杯壁都是导电材料，能够接收离子束流。通过控制通道对多个杯子进行选通，采集离子束流流强信息并保存数据，通过公式计算得到离子束流水平方向的整体角度以及束流发散程度，从而实现测量离子束流水平角度及分布的功能。本方法可以测量离子束流的水平方向角度及发散状态，提高束流检测的实时性及可观性；且实现一次利用多个角度杯采集束流并同时计算其角度，大大节省了单个杯子多次采集的测量时间。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种利用角度法拉第测量离子束流水平角方法

[发明专利]一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法-CN201910980740.9在审
发明人： 王肇龙 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用角度法拉第测量离子束流垂直方向整体角度的方法，这种方法通过同时选择7个相同的角度法拉第杯子，利用其栅格上的电流探测器采集终端靶室内的束流，并将得到的流强数据保存，利用发明的算法程序加以拟合，计算出较为准确的垂直角度。本方法可以测量离子束流的垂直方向角度，同时通过采集的数据图像可以直观地、定性地反映离子束流是否稳定，以及垂直方向发散程度；且一次采用7个杯子对束流进行采集，相比单一杯子多次测量，大大节省了测量和计算时间，提高了终端测量效率。本发明涉及离子注入装置及拟合算法，隶属于半导体制造领域。
一种杯子测量离子束垂直角度方法

[实用新型]一种扭转结构-CN202020281697.5有效
发明人：孙京玲;高赞军;张弢;王肇龙;邹剑龙 -专利权人：北京安和加利尔科技有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： A61B17/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及医疗器械的技术领域，具体涉及一种扭转结构，用于与超声刀杆连接，其包括内连接件和旋钮外圈，内连接件沿轴向开设有安装孔，安装孔的内侧壁可贴合于所述超声刀杆的外侧壁，旋钮外圈可拆卸套设于内连接件的外侧，且旋钮外圈上开设有供内连接件插入的固定孔，固定孔和内连接件之间设置有可带动内连接件随着旋钮外圈转动的弹性卡紧件。旋转内连接件沿轴向开设有安装孔，安装孔的内侧壁可完全贴合超声刀杆的外侧壁，通过设置的安装孔，加强了旋转内连接件与超声刀杆的贴合度，使得超声刀杆连接的更加稳固，避免了在使用手术刀时超声刀杆晃动而影响到医生的操作。
一种扭转结构

[实用新型]一种有机肥料发酵翻倒机-CN201020159153.8有效
发明人：曹宇晖;高军芳;王肇龙;符建荣;马军伟 -专利权人：上海宇辉机械制造有限公司
申请日： 2010-04-14 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： C05F17/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种有机肥料发酵翻倒机，翻倒机由主机架、副机架及主轴组成，主机架上设置有行走轮电机、卷扬机及道轨，副机架上设置主轴电机、滑轮、升降架、护罩，主轴上设置有翻耙板、耙条，副机架通过销轴连接在主机架的右端，主轴固定安装在副机架中部，行走轮电机及卷扬机固定安装在主机架右端，道轨设在主机架的中部，该道轨两端设置行走轮，主轴电机固定在副机架右端，升降架设在副机架前部，该升降架顶部设置滑轮，护罩设在副机架上，耙条顶端设置翻耙板，底端经主轴上的圆环与主轴连接。与现有技术相比，本实用新型具有机构简单、操作容易，维修方便，高效且能适应多种工况等优点。
一种有机肥料发酵翻倒