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[发明专利]用于二次外延预处理的腐蚀液、其制备方法及预处理方法-CN201911391363.1在审
发明人：班雪峰;王翠鸾;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C09K13/00 文献下载
摘要：一种用于二次外延预处理腐蚀液，该腐蚀液由氨水、过氧化氢和去离子水组成，呈碱性。采用该腐蚀液和其他有机溶剂对二次外延前的外延片进行处理，可以解决二次外延生长前外延片表面的洁净度不够导致外延生长后存在缺陷，制作的芯片达不到预期要求的问题。经过处理的外延片可以直接进行二次外延生长，无需其他额外的工艺。
用于二次外延预处理腐蚀制备方法

[发明专利]单管半导体激光器的多单管多波长波长合束模块-CN201711010522.X在审
发明人：刘翠翠;王鑫;王翠鸾;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H01S5/40 文献下载
摘要：一种半导体激光器的多单管多波长合束模块，包括：四组单管半导体激光器和光学透镜模组，每一组单管半导体激光器，包括X个单管半导体激光器，光学透镜模组包括：光束整形透镜，包含快轴光束整形透镜及慢轴光束整形透镜，波长合束镜，聚焦透镜组，以及反射镜。聚焦透镜组可将多个单管半导体激光器发射的激光消像差及聚焦，于尾纤入射端面处得到一个小于光纤直径长度的的聚焦光斑，并从尾纤输出端输出光束。
单管半导体激光器光束整形透镜光学透镜模组聚焦透镜组多波长单管合束尾纤半导体激光器波长合束镜聚焦光斑快轴光束入射端面输出光束整形透镜反射镜输出端波长慢轴像差光纤激光聚焦发射

[发明专利]一种半导体激光器慢轴准直夹具组件及其应用方法-CN201710597632.4有效
发明人：王鑫;赵懿昊;吴霞;王翠鸾;井红旗;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-07-20 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体激光器慢轴准直夹具组件及其应用方法，其中半导体激光器慢轴准直夹具组件包括一个主夹具，一个固定臂，在使用时主夹具固定在固定臂上，形成L形结构，慢轴透镜夹持在主夹具的间隙中，采用两个螺钉调节主夹具的间隙，不损伤慢轴透镜，不遮挡光路。利用本发明可以在进行半导体激光器光纤耦合工艺过程中方便、快捷的夹持慢轴透镜，进行激光光束的慢轴准直工艺，减少了夹具对慢轴准直过程中光路的遮挡，有利于高效的进行半导体激光器慢轴准直工艺，提高准直效果。
一种半导体激光器慢轴准直夹具组件及其应用方法

[发明专利]半导体单管激光器的存储装置-CN201611121055.3有效
发明人：王鑫;吴霞;王翠鸾;井红旗;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种半导体单管激光器的存储装置，由n个存储层叠置而成，每个存储层具有基板，基板上为上表面有凹陷空间的矩形平台，凹陷空间中有横向和纵向周期排列的矩形体，每个矩形体上有“+”字形凸台，“+”字形凸台向内凹陷的一个位置与相邻的三个“+”字形凸台向内凹陷位置形成“+”字形凸台为限位的存储空间，则“+”字形凸台四周形成四个相等的存储空间，用于存储半导体单管激光器；基板的下表面有与矩形平台相配合的凹槽，凹槽内与存储空间内角相对应的位置具有柱体，当存储层叠置于另一存储层时，柱体固定另一存储层的半导体单管激光器。本发明能有效避免单管出光面产生的任何损伤、金丝坍塌造成激光器正负极短路；还可将不同的单管分类存储。
字形凸台单管激光器存储空间存储层基板半导体凹陷空间存储装置矩形平台向内凹陷矩形体单管柱体存储存储半导体分类存储纵向周期激光器出光面上表面下表面正负极短路金丝内角限位相等坍塌损伤配合

[发明专利]手持式研磨制样夹具-CN201810659965.X在审
发明人：王梓;刘素平;王翠鸾;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： B24B23/00 文献下载
摘要：一种手持式研磨制样夹具，包括：一样品台，为扁圆柱形，下面开有三个圆孔；一内部件，为长圆柱形，其直径大于样品台的直径，与样品台上的三个圆孔对应的位置开三个螺纹孔，内部件侧壁半高处开有两个螺纹孔；一外部件，为长圆柱形套筒，其高度低于内部件和样品台高度之和，其下部边缘开有等间距周期排列矩形的豁口，该豁口深度小于样品台的高度，圆柱形侧壁半高处与内部件侧壁两个螺纹孔对应位置开有长条形通孔；其中该样品台通过下面的三个圆孔与内部件上的三个螺纹孔用螺钉定位，该内部件位于外部件内，通过外部件侧壁上的两个长条形通孔与内部件侧壁上的两个螺纹孔用螺钉定位。其是在样品台有效面积内可以同时对多个小尺寸样品进行研磨，研磨均匀性好。
内部件螺纹孔样品台侧壁研磨外部件圆孔夹具长条形通孔长圆柱形螺钉定位豁口制样高处小尺寸样品研磨均匀性圆柱形侧壁扁圆柱形间距周期下部边缘有效面积套筒

[发明专利]单一波长多单管半导体激光器的尾纤耦合装置-CN201711190659.8在审
发明人：刘翠翠;王翠鸾;熊聪;王鑫;吴霞;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种单一波长多单管半导体激光器的尾纤耦合装置，包括M组单管半导体激光器及光学透镜模组，每一组单管半导体激光器包括N个单管半导体激光器；光学透镜模组包括光束整形透镜，包含快轴光束整形透镜及慢轴光束整形透镜，反射镜，以及聚焦透镜组。聚焦透镜组可将多个单管半导体激光器发射的激光聚焦，于尾纤入射端面处得到一个小于尾纤直径长度的的聚焦光斑，并从尾纤输出端输出光束。
单一波长多单管半导体激光器耦合装置

[发明专利]三波长多单管半导体激光器的光纤耦合装置-CN201711192835.1在审
发明人：刘翠翠;王翠鸾;熊聪;王鑫;吴霞;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种三波长多单管半导体激光器的光纤耦合装置，包括三组单管半导体激光器和光学透镜模组，每一组单管半导体激光器包括X个单管半导体激光器；光学透镜模组包括光束整形透镜，包含快轴光束整形透镜及慢轴光束整形透镜，波长合束镜，聚焦透镜组以及反射镜。聚焦透镜组可将多个单管半导体激光器发射的激光消像差及聚焦，于光纤入射端面处得到一个小于光纤直径长度的的聚焦光斑，并从光纤输出端输出光束。
波长多单管半导体激光器光纤耦合装置

[实用新型]单管半导体激光器的多管合束装置-CN201720854089.7有效
发明人：刘翠翠;王鑫;王翠鸾;吴霞;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H01S5/40 文献下载
摘要：一种单管半导体激光器的多管合束装置，包括四组单管半导体激光器和光学模组，每一组单管半导体激光器，包括N个单管半导体激光器，光学模组包括偏振合束镜，波长合束镜以及聚焦透镜，将单管半导体激光器发射的激光聚焦为一束双波长合束激光。
半导体激光器多管合束装

[发明专利]半导体激光器的腔面制备方法及其腔面制备装置-CN201710572640.3在审
发明人：王鑫;赵懿昊;朱凌妮;王翠鸾;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： H01S5/18 文献下载
摘要：一种半导体激光器的腔面制备方法及其腔面制备装置，其中方法包括以下步骤将划有解理线的晶片放入解理腔，解理腔根据解理线，解理得到至少一个bar条；将至少一个bar条传送至钝化腔，以对每一个bar条的两个腔面钝化；将上述至少一个bar条传送至镀膜腔，对其每一个的两个腔面分别蒸镀高反膜和高透膜，完成半导体激光器的腔面制备；其中，解理腔、钝化腔及镀膜腔均处于真空状态。本发明在真空条件下对半导体激光器进行解理和钝化，并在真空中直接蒸镀半导体激光器前后腔面的光学膜，可有效避免其与空气接触、避免新解理的腔面被空气中的氧和碳等杂质所污染，避免腔面形成表面态，从而可有效抑制腔面光学灾变的产生。
半导体激光器制备方法及其装置

[发明专利]光纤耦合慢轴夹具装置-CN201610346248.2有效
发明人：王文知;王翠鸾;王鑫;王海丽;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2017-06-16 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明提供一种光纤耦合慢轴夹具装置，包括两支架，该两支架概似Y形；一底板，该底板为矩形，其上开有一燕尾槽，该底板燕尾槽的两侧分别与两Y形支架的其中一端固定连接；一滑块，该滑块是一燕尾块，与底板上的燕尾槽滑动配合，该滑块的一端与两个Y形支架的另一端固定连接；一后底板，其分别开有第一固定孔、第二固定孔和调节孔，该第一固定孔与底板的另一端固定连接，该第二固定孔与滑块的另一端连接，该调节孔通过螺丝调节后底板与底板的间隙，以带动滑块的微小位移，从而使两支架的前端开合。本发明是通过拧动螺丝，使滑块滑动，从而使支架产生形变，这种形变是一种微小形变，其可以方便，灵活，快捷的夹持慢轴透镜，进行光束的慢轴压缩，以改善光束质量，提高亮度。
光纤耦合夹具装置

[发明专利]一种激光二极管测试老化夹具-CN201410426177.8有效
发明人：仲莉;于远斌;李全宁;罗泓;王翠鸾;李伟;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2014-08-26 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于激光二极管的测试老化夹具，包括水座；底座，其固定在所述水座上，一端固定激光二极管；另一端具有两个引线孔；绝缘块，固定在所述底座上表面的中部；负极引线片，其第一端与激光二极管的负极连接，第二端将激光二极管的负极引出；压块，为凹形柱体，置于激光二极管上表面，包括滚花控制杆和两定位杆；控制块，其上开设有对称分布在控制块两端的两个第一螺孔、中心部位的第二螺孔，以及位于两个第一螺孔两侧的两个通孔，所述两个第一螺孔用于固定支撑杆，所述第二螺孔用于旋拧滚花控制杆，所述两通孔用于固定定位杆；支撑杆，其一端固定在控制块上，另一端固定在底座上，用于支撑压块。
一种激光二极管测试老化夹具

[发明专利]一种用于激光器无遮挡镀膜的镀膜架装置-CN201410270114.8有效
发明人：赵懿昊;王翠鸾;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： H01S5/028 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜架，其包括：主体，中间薄两端厚，其中一端的端面中间开有两个螺纹孔，另一端表面的上表面开有两个通孔，中间为一具有开口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间；装配附件，其大小与主体相同，中间厚两端薄，第一端上表面开有两个螺纹孔，位置与所述主体的通孔相对应，同螺纹与所述主体固定；所述装配附件中间为两个高、低凸台，所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度，高凸台中间开有一细沟；滑片，在所述主体的矩形框架方口间移动，且由所述两个金属片上下夹持。本发明对镀膜样品完全没有遮挡，大大提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。
一种用于激光器遮挡镀膜装置

[发明专利]大功率低阈值基横模975nm半导体激光器管芯-CN201410764061.5在审
发明人：董振;王翠鸾;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2014-12-11 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： H01S5/343 文献下载
摘要：本发明公开了一种大功率低阈值基横模975nm半导体激光器管芯，其中包括：一镓砷衬底，用于在其上生长激光器各外延层材料；一缓冲层，制作于衬底上；一下限制层，制作于缓冲层上；一下波导层，制作于下限制层上；一有源区，制作于下波导层上；一上波导层，制作于有源区上；一上限制层，制作于上波导层上；一欧姆接触层，制作于上限制层上；一双沟结构，刻蚀在欧姆接触层上，刻蚀深度至上波导层以内，形成脊形台面结构；一电流阻挡层，制作于欧姆接触层及双沟底部的上表面，在脊形台面顶部断开；一P面金属电极，制作于上表面；一N面金属电极，制作于衬底下表面。
大功率阈值基横模 975 nm 半导体激光器管芯

[发明专利]一种用于LDA的外腔锁模波长合束装置和方法-CN201410363990.5在审
发明人：赵懿昊;王翠鸾;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2014-07-28 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： H01S5/065 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于LDA(Laser Diode Array，半导体激光器列阵)的光束整形装置，该装置包括：一LDA，该LDA含有多个发光区，为外腔锁模提供有效的增益；一整形镜组，主要是对LDA的输出光束进行准直、聚焦等光束整形和光路变换；一衍射光栅，该光栅同时承担了锁模和波长合束的功能；一输出耦合镜，具有一定的反射率，将部分合束后的光束原路返回进行锁模。根据本发明的方案，可以将多个发光区的输出光束合为一束，使LDA的输出光束质量基本等于单个发光单元的光束质量，解决了LDA输出亮度低的问题，从而将其应用范围大幅度拓宽。
一种用于 lda 外腔锁模波长束装方法

[发明专利]激光器合束装置和方法-CN201410112426.6无效
发明人： 王翠鸾;赵懿昊;刘素平;马骁宇 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01S5/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光器合束装置和方法，用于对多个激光器进行合束后进行输出，装置包括多个激光器、光束整形装置、衍射光栅和输出耦合器，各激光器均具有增益区和后腔面，增益区为激光的产生提供增益，后腔面与输出耦合器形成谐振腔；光束整形装置用于接收多个激光器发出的激光，并将其以不同的角度入射到衍射光栅的同一位置；衍射光栅用于将入射到其上的激光进行色散后合为一束输出到输出耦合器；输出耦合器接收由衍射光栅出射的激光，将部分入射的激光进行反射后使其原路返回，与各激光器的后腔面形成谐振腔，以将衍射光栅选择的模式进行锁定；同时该输出耦合器还用于进行耦合输出。本发明可以将激光器的输出功率和亮度提高数十倍甚至上百倍。
激光器束装方法

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