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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]光罩传送台防尘装置-CN202320320779.X有效
发明人：姚建顺;王思驾;谢华 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光罩传送台防尘装置，包括一防护罩，所述防护罩设置在所述光罩传送台上且至少将所述光罩传送台上的光罩盒罩设在内，所述防护罩背离机台的一面为门帘式结构，以便于所述光罩盒的取放。通过设置防护罩将所述光罩传送台上的光罩盒罩设在内，能够有效防止上端空气下降带来的颗粒物沉降，避免外界颗粒物进入光罩传送台的内部，在光罩传送时落在光罩表面，影响产品曝光精度。另外，通过将述防护罩背离机台的一面设计为门帘式结构，在保证防护效果的同时能够便于所述光罩盒的取放。
传送防尘装置

[实用新型]光刻机温控用储液装置-CN202320171574.X有效
发明人： 王思驾;王朝晖;王猛 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光刻机温控用储液装置，包括储液槽以及设置在所述储液槽外的液位管和监控报警组件，所述储液槽的底部设置有一进液口，所述进液口上设置有滤网，所述液位管连通所述进液口与所述储液槽的顶部并用于指示所述储液槽的液位，所述监控报警组件包括电连接的感应单元和报警单元，所述感应单元安装在所述液位管上并用于监控所述液位管内的液位变化，当所述液位管内的液位波动大于设定阈值时，所述报警单元进行报警。由于液位管内的液位变化能够实时反应储液槽内的液位变化，通过在液位管上安装感应单元来监测液位管的液位波动，当液位波动大于设定阈值时，触发报警单元进行实时报警，以便监控人员能够及时地对储液槽进行检修。
光刻温控用储液装置

[发明专利]管路系统及半导体设备-CN202211047471.9在审
发明人：常欢;谢华;王思驾 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了管路系统及半导体设备，涉及半导体器件制造技术领域。一种管路系统，包括：第一支管，第一支管的后端连通有第一机台，第一支管的前端连通有主管，第一机台通过第一支管从主管获取所需的真空供给，第一支管连通主管的前端还设置有第一保护阀；旁路管，连通于第一支管，且旁路管的前端位于第一保护阀的后端和第一机台之间；第二真空泵，设置于旁路管的后端，并通过旁路管连通第一支管，第二真空泵和旁路管的前端之间还设置有第二保护阀。通过在连接机台的支管上增加旁路管，旁路管连接真空泵，以确保机台的真空供应，减少因真空断供而导致的机台内关键器件损伤。
管路系统半导体设备

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