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[实用新型]吊装设备-CN202320350764.8有效
发明人：余仲;赖智勇;贾永健;覃鹏;王应斌;满小花 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B66F9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种吊装设备，包括：堆高机，堆高机包括机体、设置于机体上的机架、以及可升降地设置于机架上的叉具；以及吊装机构，吊装机构包括被叉具叉起的吊架、以及均与吊架连接的多个起吊组件，多个起吊组件间隔设置，且每个起吊组件均包括与吊架连接的高度微调模块、以及与高度微调模块连接的起吊件，高度微调模块用于受控调节起吊件的高度。本实用新型的吊装设备提高盖板被吊起时的平稳性，降低因盖板倾斜致使某一起吊件因受力过大而断裂的风险。
吊装设备

[实用新型]磁导向装置的装配治具-CN202320179649.9有效
发明人：余仲;吴镇荣;满小花;王应斌;肖荣锋;谢进学;葛光星 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁导向装置的装配治具，包括：磁性座，磁性座用于供磁铁固定罩放置，磁铁固定罩用于供多个磁铁沿前后方向呈列放置；以及固定机构，固定机构设置于磁性座上，固定机构用于将磁铁固定罩固定于磁性座上；其中，多个磁铁用于依次放置于磁铁固定罩内，磁铁固定罩用于限制磁铁左右移动，并且，相邻两个磁铁互斥设置，每个磁铁均受到来自于磁性座的防上跳吸引力。利用本实用新型的装配治具将多个磁铁拼接在一起，可以保证磁铁受力平衡，运动状态稳定，使得多个磁铁在拼接时，磁铁可以稳定得到控制，从而提高磁导向装置的装配效率和装配安全性，并能够降低磁铁间因相互冲击而损坏的风险，提高磁铁利用率。
导向装置装配

[实用新型]周转车-CN202320259300.6有效
发明人：王晨光;葛光星;王应斌;满小花;肖荣锋;吴镇荣 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种周转车，用于周转输送硅片，包括：支架、限位装置以及行走轮。支架包括支撑组件，支撑组件用于承载放置硅片的载板。限位装置包括限位件，限位件能够相对支架活动，用于可选择地对载板锁定以及解除锁定。在输送过程中能够通过限位件锁定载板，避免载板在输送过程中出现移动，甚至从支架上掉落，以防止载板上的硅片损坏，从而确保硅片的质量。
周转

[实用新型]载盘-CN202320223134.4有效
发明人：张勇;房声海;王应斌;满小花;张凡 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种载盘，载盘包括晶体架和口袋板，口袋板设置有第一通孔，晶体架安装于第一通孔，晶体架设置有第二通孔，第二通孔能够容纳硅片，口袋板由第一材料制成，晶体架由第二材料制成，第一材料的抗热疲劳变形能力高于第二材料的抗热疲劳能力。第一材料可以是石墨，第二材料可以是不锈钢。本实用新型的载盘，其抗热疲劳能力较高，不易因高温而变形，装载在载盘上的硅片的受损风险较低。
载盘

[实用新型]炉膛固定组件-CN202320023921.4有效
发明人：余仲;林静影;王应斌;满小花 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种炉膛固定组件，炉膛固定组件，用于固定炉膛，炉膛包括第一导电层、设置于第一导电层上的绝缘层以及设置于绝缘层上的第二导电层，炉膛固定组件包括：支架，支架包括竖向连接部、以及与竖向连接部连接的横向连接部；第一绝缘压块，第一绝缘压块固定在竖向连接部上；以及第二绝缘压块，第二绝缘压块固定在横向连接部上；其中，支架用于固定在第一导电层上，并使第一绝缘压块压住第二导电层的侧壁，且使第二绝缘压块压住第二导电层的顶壁。在本实用新型的炉膛固定组件中，用于与第二导电层接触的是第一绝缘压块和第二绝缘压块均为绝缘构件，可以降低第一导电层和第二导电层导通的风险。
炉膛固定组件

[实用新型]腔体盖板以及镀膜设备-CN202320023922.9有效
发明人：张勇;王正杰;王应斌;满小花;贾永建;赖智勇;左庆;覃鹏 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种腔体盖板以及镀膜设备，腔体盖板，包括：盖板主体；布气组件，设置于盖板主体的其中一侧，布气组件包括沿盖板主体的厚度方向并列且间隔设置的多个布气板，最靠近盖板主体的布气板与盖板主体之间形成有缓冲腔，每相邻两个布气板之间也均形成有缓冲腔，每个布气板上均设置有多个布气孔；以及破真空装置，设置于盖板主体上，破真空装置用于向最靠近盖板主体的布气板与盖板主体之间的缓冲腔充入气体。本实用性的腔体盖板能够降低硅片的破片率。
盖板以及镀膜设备

[发明专利]磁导向件及其装配治具的组合体和磁导向件的装配方法-CN202310095018.3在审
发明人：余仲;吴镇荣;满小花;王应斌;肖荣锋;谢进学;葛光星 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01F7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁导向件及其装配治具的组合体和磁导向件的装配方法，磁导向件及其装配治具的组合体，包括：磁导向件，磁导向件包括磁铁固定罩、以及设置于磁铁固定罩内的多个磁铁，多个磁铁沿前后方向呈列排布，并且，相邻两个磁铁互斥设置，磁铁固定罩用于限制磁铁左右移动；以及装配治具，装配治具包括磁性座以及固定机构，磁铁固定罩放置于磁性座上，固定机构用于将磁铁固定罩固定于磁性座上；其中，多个磁铁用于依次放置于磁铁固定罩内，每个磁铁均受到来自磁性座的防上跳吸引力。在将多个磁铁拼接在一起时，可以保证磁铁受力平衡，运动状态稳定，磁铁可以稳定得到控制。
导向及其装配组合方法

[发明专利]镀膜腔体破空装置及破空方法-CN202310005664.6在审
发明人：张勇;肖荣锋;王应斌;满小花;葛光星;吴镇荣;谢进学;张凡 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜腔体破空装置及破空方法，镀膜腔体破空装置包括供气组件、镀膜室、载盘、分流组件及挡板，分流组件与镀膜室的内壁之间具有间隙，分流组件包括层叠设置的第一分流板与第二分流板，第一分流板具有进气孔，第二分流板周边设有出气孔组，第二分流板设有多条流道，每一流道的一端均与进气孔连通，另一端与出气孔组连通；破空时，气流只能从分流组件的周边流出，进而通过分流组件与镀膜室之间的间隙继续向镀膜腔的内部流动，进入镀膜腔内的气流从镀膜腔的边缘位置向挡板与载盘之间的间隙以及载盘与分流组件之间的间隙扩散，气流在镀膜腔内的流动更加缓和，气流的波动小，能够降低破空过程中基片碎片的风险。
镀膜腔体破空装置方法

[实用新型]靶材上料装置-CN202222495742.9有效
发明人：余仲;张凡;满小花;王应斌;文鸥;肖荣锋;谢进学 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B65G29/00 文献下载
摘要：本实用新型的靶材上料装置，用于将靶材转移到镀膜设备，包括：容器，具有进料口和出料口，进料口和外部连通，出料口和镀膜设备连通；转盘，容置在容器内，通过轴承被支撑而在容器内可回转，转盘上沿周向间隔地设置有多个贯通孔，贯通孔用于保持经由进料口被送入容器内的靶材，各贯通孔的中心与转盘的回转中心的距离相等，并且，贯通孔的中心与回转中心的距离，分别和进料口与回转中心的距离，以及出料口与回转中心的距离相等；驱动部，和转盘连接，驱动转盘回转；转移部，可在贯通孔随着转盘的回转而处在与出料口相对的位置时，将被保持在贯通孔的靶材，经由出料口转移到镀膜设备。本实用新型的靶材上料装置能够提高靶材的转移精度。
靶材上料装置

[实用新型]附着板、附着板组件以及真空镀膜装置-CN202222585941.9有效
发明人：张勇;肖荣锋;王应斌;满小花;谢进学;葛光星;张凡 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种附着板、附着板组件以及真空镀膜装置，附着板，包括：附着板本体；以及支撑件，与附着板本体连接，支撑件设有第一挂孔、以及与第一挂孔沿横向间隔设置的第二挂孔，第一挂孔具有沿横向间隔排布的第一侧壁以及第二侧壁，第二挂孔具有沿横向间隔排布的第三侧壁以及第四侧壁；其中，第一挂孔用于供第一悬挂件穿设，且第一侧壁以及第二侧壁均与第一悬挂件接触，第二挂孔用于供第二悬挂件穿设，且第三侧壁以及第四侧壁均与第二悬挂件相间隔。本实用新型的附着板中，即使附着板本体因受热发生变形，附着板本体与第二悬挂件的相对位置能够发生偏移，不会出现类似于附着板被螺栓固定而出现中间受热翘起的情况，可靠性更高。
附着组件以及真空镀膜装置

[实用新型]真空腔体装置-CN202222586237.5有效
发明人：余仲;葛光星;王应斌;满小花;肖荣锋 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空腔体装置，包括：腔体，腔体设有具有敞开口的真空腔；腔门，腔门具有铰接端、以及与铰接端相对设置的活动端，铰接端与腔体转动连接，以使腔门与敞开口启闭配合；以及锁紧组件，锁紧组件包括锁紧件、以及设置于锁紧件的抵持件，锁紧件穿设于活动端，在腔门封闭敞开口的情况下，锁紧件可操作地与腔体连接，并拉动抵持件与腔门远离腔体的一侧相抵，且在真空腔抽真空后，腔门能够与腔体贴紧，并使抵持件与腔门松开。本实用新型的真空腔体装置能够提高开关腔门的便利性。
空腔装置

[实用新型]翻转机构-CN202122719811.5有效
发明人：余仲;肖荣锋;王应斌;满小花;张凡;邓云鹏 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B65G47/248 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种翻转机构，用于翻转工件，包括机架、翻转架、安装架及调整组件，翻转架设置有两个，两个翻转架相对设置，两个翻转架均转动连接于机架且转动轴位于同一直线上；安装架用于安装工件，安装架的两端分别与两个翻转架连接；调整组件包括第一调整件及第二调整件，第二调整件与第一调整件可拆卸连接，第一调整件设置于翻转架，第二调整件设置于安装架的两端，第一调整件与第二调整件的相对位置能够调整以使工件的重心靠近翻转架的转动轴。调整第一调整件及第二调整件的相对位置能够实现翻转架与安装架的相对位置的调整，从而使工件的重心靠近翻转架的转动轴，使翻转过程更为省力，且稳定性更高。
翻转机构

[实用新型]快拆装式踏板及维护通道-CN202122719538.6有效
发明人：李时俊;肖荣锋;王应斌;满小花;黎佐兴 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： E04H5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快拆装式踏板及维护通道，快拆装式踏板包括踏板主体、第一嵌钩与第二嵌钩，踏板主体具有踩踏平面，第一嵌钩与第二嵌钩沿快拆装式踏板的拼接方向分设于踏板主体的两侧，第一嵌钩能够沿竖直方向与相邻的快拆装式踏板的第一嵌钩或第二嵌钩相互嵌合，并沿快拆装式踏板的拼接方向相互限位；维护通道包括支架与多个上述踏板。本实用新型中，相邻的踏板之间采用相互嵌套的方式进行拼接，无需锁螺丝，踏板的拆装便利、效率高，踏板可选用轻质材料，便于移动、搬运，并且嵌钩之间沿拼接方向以及竖直方向相互限位，可保证操作人员踩踏时的平稳度，安全性高。
拆装踏板维护通道

[发明专利]支撑结构及镀膜设备-CN202111366470.6在审
发明人：李时俊;肖荣锋;王应斌;满小花;张凡;邓云鹏 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： F16M11/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种支撑结构及镀膜设备，支撑结构包括支撑组件与调节组件，调节组件包括连接杆、固定件与多个行程调节片，多个行程调节片层叠设置，连接杆穿设于行程调节片与设备支架内，连接杆的下端与所述支撑组件连接，固定件与连接杆的上端可拆卸连接，固定件与设备支架相对连接杆移动，可改变行程调节片的堆叠高度；镀膜设备包括支撑结构。本发明中，调整行程调节片的堆叠高度即可改变支撑结构的行程，以调整设备支架的整体高度，行程调节片套设于连接杆外部，并对设备支架进行支撑，有效增大了支撑结构对设备支架的支撑强度，设备支架的规格不需随支撑结构支撑强度的改变而改变，便于支撑结构与设备支架的快速组装。
支撑结构镀膜设备

[发明专利]镀膜生产线多级气氛隔离装置-CN201610616844.8有效
发明人：徐旻生;庄炳河;张永胜;王应斌;龚文志;满小花;崔汉夫;张雨龙 -专利权人：爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种镀膜生产线多级气氛隔离装置，用于在镀膜生产线中隔离相邻两镀膜室的工作气氛，包括至少两个依次邻接且以隔板相分隔的隔离室以及至少两个与所述隔离室一一对应连通设置的真空泵，在所述隔板中部还设有两端分别连通所述相邻两隔离室的狭缝通道，所述狭缝通道的上下两侧的通道壁板的两端自所述隔板分别向所述狭缝通道所连通的两隔离室内延伸预定长度。本发明在传统的气阱隔离方式基础之上，增加气阱隔离的级数，同时还配合采用狭缝通道连接相邻的隔离室而实现隔离效果更好的狭缝隔离，从而使整个隔离装置的气氛隔离效果提升，能有效满足高精度要求的气氛隔离需求，尤其适合用于例如IMITO等需要多种工艺气氛同步连续工作的镀膜工艺。
狭缝隔离室隔板镀膜生产线隔离气氛隔离装置气氛隔离气阱连通壁板镀膜工艺隔离方式隔离效果隔离装置工艺气氛工作气氛精度要求连通设置上下两侧通道连接传统的镀膜室真空泵邻接分隔室内延伸配合

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