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- [实用新型]一种高聚光多晶硅片-CN201621366821.8有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-12-13
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2017-06-16
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H01L31/0216
- 本实用新型涉及多晶硅片技术领域，尤其是一种高聚光多晶硅片，包括硅片本体和矩形底座，所述硅片本体安装于矩形底座内，所述矩形底座顶部设有框架，所述框架内设有多个矩形排列的安装座，所述安装座为中空圆环，所述安装座内设有凸透镜，所述硅片本体自上而下设置有N级多晶硅片、导通区和P级多晶硅片，所述N级多晶硅片上表面设有减反射膜，所述减反射膜为棱镜减反射膜，所述N级多晶硅片和P级多晶硅片的侧面均设有电极，所述电极贯穿矩形底座。此实用新型通过凸透镜的聚集效果，增强了光的吸收效果，从而提高转换率。
- 一种聚光多晶硅片
- [实用新型]一种具有减反射能力的单晶硅片-CN201621366822.2有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-12-13
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2017-06-16
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H01L31/0216
- 本实用新型涉及单晶硅片技术领域，尤其一种具有减反射能力的单晶硅片，包括硅片本体，硅片本体的四角设为圆弧倒角，所述硅片本体的正面设置有高折射率介质膜，所述高折射率介质膜的上表面设置有低折射率介质膜，所述低折射率介质膜的上部设置有反射层，所述反射层内设置有第一压花玻璃和第二压花玻璃，所述第一压花玻璃和第二压花玻璃的透光面向上，所述第一压花玻璃与第二压花玻璃之间的夹角为90度，所述反射层的上部设置有玻璃半球，所述硅片本体中均匀掺杂分布有镓粒，所述硅片本体的背面设置有吸光层，本实用新型提高了单晶硅片的电性能，有效地减少单晶硅片自身的反射。
- 一种具有反射能力单晶硅
- [实用新型]一种复合多晶硅片-CN201621367011.4有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-12-13
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2017-06-16
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H01L31/0352
- 本实用新型涉及多晶硅片技术领域，尤其是一种复合多晶硅片，包括硅片本体，硅片本体包括P型多晶硅片和N型多晶硅片，P型多晶硅片和N型多晶硅片之间设置有导通层，所述P型多晶硅片上设置有减反射膜，所述P型多晶硅片的侧面设置有第一电极，所述N型多晶硅片的侧面设置有第二电极，所述P型多晶硅片的上表面均布有凹槽，所述减反射膜上设置有吸光膜，所述吸光膜上设置有钢化玻璃膜，所述N型多晶硅片底部设置有无机硅填料层，表面半球形的凹槽有聚光效果，设置有减反射膜和吸光膜，进一步减少反射，提高光电转换效率，硅片本体外设置有防护膜和钢化玻璃膜提高耐腐蚀性，设置有无机硅填料层提高硅片的强度。
- 一种复合多晶硅片
- [实用新型]一种全自动硅片插片机-CN201621366550.6有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-12-13
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2017-06-09
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H01L31/18
- 本实用新型涉及插片机技术领域，尤其是一种全自动硅片插片机，包括硅片传送带、滑槽和斜撑，硅片传送带通过安装支架安装在地面上，且安装支支架上设置有用于驱动硅片传送带的驱动电机，滑槽位于传送带的右侧，斜撑通过支架安装在地面上，且斜撑与滑槽之间的夹角为九十度，斜撑的外壁套接有套管，套管靠近地面的一端固定连接有托板，且托板与套管保持垂直，托板上放置有硅片盒，斜撑远离地面的一端固定连接有支撑杆，支撑杆上安装有液压油缸，液压油缸上的活动杆与托板固定连接，该全自动硅片插片机对比人工插片的方式极大的提升了插片速度，降低了工人的劳动强度，同时结构更加简单，制造成本低。
- 一种全自动硅片插片机
- [实用新型]一种高温扩散设备-CN201620436731.5有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-05-13
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2017-02-01
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C30B31/16
- 本实用新型公开了一种高温扩散设备，包括真空泵，所述排废管的左侧设有第二弧形管，所述排废管的外侧套接有第一弧形管，所述第一弧形管与排废管的中间留有空隙，所述第一弧形管的外侧上端设有出气口，该高温扩散设备由真空泵连接干燥过滤装置，由真空表显示扩散炉管内腔的压力，通过加热仓加热，由进气管和排废管实现整个装置，通过对原有基础的排气管进行改造，解决了排废管的腐蚀断裂，增加了排废管使用寿命，减少了人员的工作劳动，有利于提高设备的正常运行率，同时也降低偏磷酸对人体的危害。使得气体可以通过排废管上的排气孔快速排放，可以快速排走，加快工艺废气的排放，减少腐蚀，提高片内、片间扩散的均匀性。
- 一种高温扩散设备
- [实用新型]一种蜂巢结构多晶硅片-CN201620437580.5有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-05-12
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2017-02-01
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H01L31/0352
- 本实用新型公开了一种蜂巢结构多晶硅片，包括单元结构，所述单元结构设有正六角N型多晶硅体，所述正六角N型多晶硅体上部设有正六角斜凹槽，所述正六角斜凹槽设有环形凹槽底，所述环形凹槽底的中部设有贯穿于正六角N型多晶硅体的圆柱形P型多晶硅体，所述正六角N型多晶硅体与圆柱形P型多晶硅体的连接部分形成PN结，所述正六角N型多晶硅体与圆柱形P型多晶硅体的上表面均设有吸光层，所述正六角N型多晶硅体的外侧设有多晶硅保护膜，所述正六角N型多晶硅体的底部设有第一电极，所述圆柱形P型多晶硅体底部设有第二电极。该能增加单位面积内PN结的面积，可以更快地将光子转化成的电子集中起来，增加光电转化率。
- 一种蜂巢结构多晶硅片
- [实用新型]一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置-CN201620434464.8有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-05-13
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2017-02-01
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H01L31/18
- 本实用新型公开了一种硅太阳能电池等离子刻蚀装置，包括风机和刻蚀室，所述刻蚀室内部顶端设置有均风扇，所述射频电极固定座下端设置有射频电极，所述刻蚀室的底部设置有滑轨，所述支腿上端安装有承重支架，所述承重支架上端设有旋转装置，所述旋转装置上端安装有桌面面板，且所述桌面面板上端放置有硅片垫片，所述硅片垫片上端面放置有硅片；该种硅太阳能电池等离子刻蚀装置用载硅片车作为硅片载体，实现了硅片批量次生产，悬挂式射频电极通过均风扇将产生的等离子辉光吹拂到待刻蚀的硅片沿边，极大的控制了因刻蚀导致的沿边钻蚀，保证了同批次硅片刻蚀的一致性，减少了破损率。
- 一种太阳能电池等离子刻蚀装置
- [实用新型]一种等离子高效刻蚀机-CN201620440238.0有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-05-12
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2016-10-12
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H01J37/32
- 本实用新型公开了一种等离子高效刻蚀机，包括反应腔体和分子泵，反应腔体的顶端固定设有多个高压气体喷嘴，在反应腔体的底部设有分子泵，在反应腔体的内部设有静电吸附盘、吸附件以及多个气流调节装置，静电吸附盘两端通过吸附件活动安装在反应腔体的内壁，在静电吸附盘的上下端均设置有多个气流调节装置，本实用新型结构原理简单，采用多个气流调节装置，能够快速调节反应腔内的气流，确保刻蚀的均匀性，同时采用的高压气体喷嘴，能够均匀喷出高压气体，进一步提高刻蚀的均匀性，提高产品合格率。
- 一种等离子高效刻蚀
- [发明专利]一种等离子高效刻蚀机-CN201610315819.6在审
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2016-05-12
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2016-08-10
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H01J37/32
- 本发明公开了一种等离子高效刻蚀机，包括反应腔体和分子泵，反应腔体的顶端固定设有多个高压气体喷嘴，在反应腔体的底部设有分子泵，在反应腔体的内部设有静电吸附盘、吸附件以及多个气流调节装置，静电吸附盘两端通过吸附件活动安装在反应腔体的内壁，在静电吸附盘的上下端均设置有多个气流调节装置，本发明结构原理简单，采用多个气流调节装置，能够快速调节反应腔内的气流，确保刻蚀的均匀性，同时采用的高压气体喷嘴，能够均匀喷出高压气体，进一步提高刻蚀的均匀性，提高产品合格率。
- 一种等离子高效刻蚀
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