专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]周边曝光装置及周边曝光方法-CN200810187135.8有效
  • 清水诚基 - 株式会社ORC制作所
  • 2008-12-17 - 2010-05-26 - G03F7/20
  • 本发明提供简化对准工序、且能够正确地确保平行于基准边的周边曝光区域的周边曝光方法。该周边曝光方法是具有照射紫外光的曝光单元(31)、且利用紫外光对形成于回路图案区域的周围的周边区域(EA)进行曝光的周边曝光方法,该回路图案区域形成在矩形基板(SW)上。该方法包含:将矩形基板保持在曝光台上的保持工序(S11);利用设置在曝光单元(31)上的倾斜度算出元件(51)检测矩形基板(SW)的一边的边缘(SN1)而算出基板自第1方向的倾斜度的倾斜度算出工序(S13);基于倾斜度算出结果而旋转矩形基板(SW)或曝光单元(31)的旋转工序(S14);向第1方向相对地驱动曝光单元(31)和曝光台的驱动工序(S17);利用倾斜度算出元件部(51)检测边缘而特定周边区域(EA),同时从曝光单元(31)照射紫外光的照射工序(S18)。
  • 周边曝光装置方法

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