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- [实用新型]一种甩胶机中的伸缩导向柱装置-CN202122593222.7有效
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鹿庆文
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济南紫源电子有限公司
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2021-10-27
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2022-04-19
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B05C11/08
- 本实用新型属于伸缩导向柱技术领域，尤其为一种甩胶机中的伸缩导向柱装置，包括安装组件、伸缩组件和导向组件，安装组件包括上安装件和下安装件，上安装件与下安装件的一端均开设有插接孔，插接孔的内部卡接有活动板，伸缩组件包括插接杆，且插接杆的两端均开设有盲孔，插接杆的中间位置开设有空腔，空腔的内部固定安装有双头电机，且双头电机的输出端均固定安装有螺杆，通过开设有滑槽，且在盲孔的内部安装有滑块，在伸缩时，提高导向性，通过安装有导向杆和导向耳，进一步提高导向效果，使得本实用新型均匀较强的稳定性，且通过弹簧，使得本实用新型在使用时，当受到较大冲击时，弹簧进行伸缩，便于对冲击进行缓冲，提高使用效果。
- 一种甩胶机中的伸缩导向装置
- [实用新型]一种光刻机用硅片加工装置-CN202122644047.X有效
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鹿庆文
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济南紫源电子有限公司
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2021-11-01
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2022-04-05
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B28D5/04
- 本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其为一种光刻机用硅片加工装置，包括主体组件，定位组件和散热组件，主体组件包括基板，基板的上表面均匀固定安装有吸附孔，定位组件包括定位块，且定位块固定安装在基板的上表面一角，且基板的上表面位于定位块的横向和竖向位置分别滑动卡接有第一夹持块和第二夹持块，通过安装有固定块、第一夹持块和第二夹持块，通过调节第一夹持块和第二夹持块，便于对硅片进行定位，限制硅片活动，且通过吸附孔，在切割时，空腔的内部形成负压，便于将硅片吸附在基板的表面，方便在切割时进行固定，且通过散热组件，使得冷介质循环经过横向管和支管，便于将在切割时产生的热量带走，避免热量积累。
- 一种光刻硅片加工装置
- [实用新型]一种自动匀胶机甩胶中心对准装置-CN202122644100.6有效
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鹿庆文
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济南紫源电子有限公司
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2021-11-01
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2022-04-05
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B05C11/08
- 本实用新型属于匀胶机技术领域，尤其为一种自动匀胶机甩胶中心对准装置，包括匀胶机本体、升降板和对准机构，匀胶机本体的两侧对称的安装有调节伸缩杆，升降板固定安装在调节伸缩杆的伸缩端上，对准机构通过螺栓固定安装在升降板的底部，匀胶机本体的顶部开设有甩胶槽，甩胶槽底部中心位置处固定安装有匀胶电机，匀胶电机的输出轴上安装有硅片放置盘，硅片放置盘与对准机构中心对准，本实用新型通过对准机构上均匀排列的四个挤压球能够将硅片位置自动推至中间实现对准，甩胶时阻挡板和边侧的伸展式阻挡机构对甩出的光刻胶进行收集，避免光刻胶被甩出时肆意乱溅，对准机构为可拆卸结构，还方便后期拆卸清理，操作简单，实用性强。
- 一种自动匀胶机甩胶中心对准装置
- [实用新型]一种棱镜角度可调的光刻机-CN202122644087.4有效
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鹿庆文
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济南紫源电子有限公司
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2021-11-01
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2022-03-22
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G03F7/20
- 本实用新型属于光刻机技术领域，尤其为一种棱镜角度可调的光刻机，包括光刻机本体和可调式棱镜组件，光刻机本体内开设棱镜安装腔，可调式棱镜组件固定安装在棱镜安装腔内，可调式棱镜组件包括棱镜本体、伸缩式转动支架、具有齿轮槽的调节外框架、第一支架、第一齿轮、第二齿轮、齿轮传动结构、第三齿轮和驱动结构，棱镜本体固定设置于调节外框架内，调节外框架通过伸缩式转动支架固定安装在棱镜安装腔内，第一齿轮通过第一支架固定安装在棱镜安装腔内，本实用新型通过可调式棱镜组件作为光刻机本体的光源进行控制处理，使得光源方向能够灵活调整，而可调式棱镜组件采用两种驱动方式，均可实现细小的调节，操作简单，调节精度高，实用性强。
- 一种棱镜角度可调光刻
- [实用新型]一种光刻机硅片传送装置-CN202122613270.8有效
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鹿庆文
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济南紫源电子有限公司
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2021-10-28
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2022-03-15
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G03F7/20
- 本实用新型属于转移机构技术领域，尤其为一种光刻机硅片传送装置，包括活动箱，所述活动箱表面固定连接有第一固定架，所述第一固定架共有两个，且对称固定连接在活动箱表面，所述第一固定架下表面开设有凹槽，所述凹槽共有两个，且对称开设在第一固定架下表面，所述凹槽内部固定连接有液压杆，所述液压杆下表面固定连接有第二固定架。在对硅片进行传送放置时，人们通过控制开关控制电机运转，进而带动螺纹杆转动，同时带动螺纹帽和连接板上下移动，连接板上下移动带动销轴在限位槽内滑动，从而带动连接杆和吸盘等距分开，在电机、螺纹杆、滑杆和限位槽的作用下，更便于人们对硅片进行等距摆放。
- 一种光刻硅片传送装置
- [实用新型]一种硅片甩胶中的自动升降盖板装置-CN202122613276.5有效
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鹿庆文
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济南紫源电子有限公司
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2021-10-28
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2022-03-11
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B08B3/06
- 本实用新型属于半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，尤其为一种硅片甩胶中的自动升降盖板装置，包括固定架和环形盖板，所述固定架表面开设有通孔，所述固定架内部开设有机仓，所述机仓内部固定连接有第一电机，所述机仓表面穿设有第一轴承，所述第一电机输出轴穿设在第一轴承内，所述第一电机输出轴承表面固定连接有收卷辊，所述通孔内壁固定连接有第二轴承。在对网状筒的高度进行调节时，人们通过控制开关控制第一电机运转，进而带动收卷辊转动，收卷辊转动对缆绳进行收放，从而带动网状筒上下移动至指定的高度，在第一电机、收卷辊和缆绳的作用下，更便于人们对网状筒内部的硅片进行升降浸泡除胶。
- 一种硅片中的自动升降盖板装置
- [实用新型]一种光刻胶涂覆装置-CN202021641383.8有效
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鹿庆文;张锐
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济南紫源电子有限公司
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2020-08-10
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2021-04-20
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G03F7/16
- 本实用新型公开了一种光刻胶涂覆装置，包括箱体以及台板，台板安装于箱体上，所述台板上竖直安装有支板，所述支板上水平安装有横板，所述横板上横向安装有第一丝杆模组，所述第一丝杆模组滑块上安装有第二丝杆模组，所述第二丝杆模组滑块上安装有涂胶组件；本实用新型涉及光刻胶喷涂设备技术领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加第一丝杆模组进行横向上的移动，通过第二丝杆模组完成纵向上的移动，并且工作中可实现多位置喷涂，使用本装置能够在极大程度上解放人力，并且提高工作效率，促进降低成本，更好的进行光刻胶喷涂工作。
- 一种光刻胶涂覆装置
- [实用新型]一种基于硅片酸洗的自动供酸装置-CN202021213280.1有效
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鹿庆文;张锐
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济南紫源电子有限公司
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2020-06-28
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2021-03-05
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种基于硅片酸洗的自动供酸装置，包括底板以及万向轮组件，所述万向轮组件安装于底板下壁面上，所述底板上安装有支撑组成结构以及酸液加注结构；本实用新型涉及自动供酸装置技术领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加大酸箱进行酸液的储存，通过第一液位检测仪实施检测大酸箱中的酸液储量，在储量低于阈值时通过显示器和蜂鸣器提醒工作人员进行添加，在硅片生产清洗工作中，装置中的防腐蚀计量泵自动进行酸液输送，配合第一防酸四氟管和第二防酸四氟管输送至酸槽，酸槽中设置有第二液位检测仪，当第二液位检测仪检测酸槽中酸液较少时，装置进行加酸，实现自动加酸。
- 一种基于硅片酸洗自动装置
- [实用新型]一种基于硅片清洗的自动晃篮装置-CN202021233556.2有效
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鹿庆文;王争
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济南紫源电子有限公司
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2020-06-30
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2021-03-05
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种基于硅片清洗的自动晃篮装置，包括循环冲水箱以及支撑板，所述支撑板安装于循环冲水箱上，所述支撑板上安装有晃篮功能结构，所述循环冲水箱上安装有加水控制结构；所述晃篮功能结构包括：基座箱、轴承以及晃篮功能部；本实用新型涉及硅片生产领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加伺服电机以及齿轮配合工作驱动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动清洗架组件升降，取代人工进行硅片清洗工作，装置中还添加水位检测组件检测剩余水量，装置中的电磁流量计用于检测加入的水量，使用中可以通过电控阀控制加水状态，使用本装置能够取代人工，提高工作效率和加工的精准度，能够控制加水量。
- 一种基于硅片清洗自动装置
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