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[发明专利]传感器进气流稳定系统-CN202180009531.5在审
发明人：洪永鎬;崔賢植;洪基宇;博文長尾;伸一三木 -专利权人： ATIK株式会社;ATONARP株式会社
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于稳定引入传感器的气流的系统，该系统包括传感器连接管和从传感器连接管开始分叉以便将部分气体排出而不是引入传感器的旁通管，且该系统相应地配置成每次在预定范围内都稳定地向传感器提供一部分内部气体，而不受处理室压力状态变化的影响。根据本发明，在用于半导体制造设备等的情况下，与连接到施加真空的处理室的传感器装置相连时，气流稳定系统可以在MS内部压力由于处理室的压力波动而突然发生变化时防止由于传感器装置分析值变化较大引起的分析值数据可靠性降低，提高了MS传感器装置的耐用性/寿命，降低了维修/保养的需求，从而减轻了管理负担。
传感器气流稳定系统

[发明专利]用于分析CMP浆料的大型颗粒计数器的自动验证和清洁方法及适用于该方法的验证系统-CN201980004292.7在审
发明人： 洪基宇;李亨一;洪性秦 -专利权人：乐途汇有限公司
申请日： 2019-10-04 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了用于分析浆料输送系统中的CMP浆料的大型颗粒计数器的自动验证方法，该浆料输送系统包括用于使用原料制造和输送浆料的输送设备、以及具有传感器的分析仪，该传感器从输送设备接收浆料样品以检验浆料是否异常。该验证方法包括以下步骤：如果分析仪的测量值超出允许范围且产生异常信号，则将从输送设备输送到分析仪的标准材料而不是浆料提供给分析仪，以获得相对于标准材料的标准材料测量值；如果标准材料测量值在预定的正常范围内，则判断浆料存在异常，并检验原料或输送设备以找出异常原因；以及，如果标准材料测量值超出正常范围，则判断分析仪存在异常，并采取措施解决分析仪的问题。
用于分析 cmp 浆料大型颗粒计数器自动验证清洁方法适用于系统