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- [发明专利]用于物体的几何测量的装置和方法-CN201580026462.3有效
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T·梅;C·艾姆韦格;G·伯格;R·尼克劳斯;J·皮特
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泰勒.霍布森有限公司
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2015-05-13
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2019-08-30
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G01B11/24
- 本发明涉及一种用于物体(14)的几何测量的装置和方法，该装置具有：‑一个基座(11)及配置在基座(11)上的用于该物体(14)的支座设备(12)，‑至少一个基准物体(18,20)，其可相对于该基座(11)而固定，‑至少一个间距测量设备(70)，借助于该间距测量设备(70)可测定该基准物体(18，20)和该物体(14)面向该基准物体(18，20)的表面(14a，14b)之间的间距，以及‑一个物体支架，其具有上侧(104)和下侧(106)，物体(14)可固定在该物体支架(100)上，其中该物体支架(100)可选择地以第一方位取向(1)和第二方位取向(2)配置在该支座设备(12)上，‑其中该间距测量设备(70)和该物体支架(100)相对于彼此移动以扫描该物体(14)的表面(14a,14b),并且其中该物体支架(100)在其上侧(104)上以及在其下侧(106)上分别具有一个对应于该物体支架(100)和该间距测量设备(70)的相对运动的基准结构(108，110)。
- 用于物体几何测量装置方法
- [发明专利]用于物体几何测量的装置和方法-CN201580026472.7有效
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T·梅;C·艾姆韦格
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泰勒.霍布森有限公司
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2015-05-13
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2019-08-30
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G01B21/04
- 本发明涉及一种用于物体(14)几何测量的方法和装置，具有：‑用于物体(14)的支座(12)，‑至少一个相对于支座(12)可固定的基准物体(18,20)，‑在至少一个方向(x，z)上可相对于基准物体(18,20)运动的支架(126)，在支架上配置有一个基准物件(128)和一个间距测量设备(70)，设计间距测量设备(70)是用于测量在物体(14)和基准物件(128)之间的间距(38,140)，‑其中在支架(126)或基准物件(128)上相互呈间距地配置有朝向基准物体(18,20)的第一和第二基准传感器(150,152)，其被构造为用于测量到基准物体(18,20)的第一和第二间距(51,53)。
- 用于物体几何测量装置方法
- [发明专利]确定表面特性的装置和方法-CN200680047666.6无效
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D·I·曼斯菲尔德
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泰勒.霍布森有限公司
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2006-12-15
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2008-12-24
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G01B9/02
- 把来自光源(4)的光沿样本路径(SP)定向到样本表面(7)的区域，并沿参考路径(RP)定向到参考表面(6)，使得由样本表面区域所反射的光以及由参考表面所反射的光进行干涉。移动器(11)实现沿样本表面(7)与参考表面(6)之间的扫描路径的相对移动。检测器(10)每隔一段时间感测光强度，以便提供表示样本表面的区域所产生的干涉条纹的一系列强度值。数据处理器(32)接收包含产生于对衬底的表面面积的测量操作的第一系列强度值的第一强度数据以及至少包含产生于对薄膜结构的表面面积的测量操作的第二系列强度值的第二强度数据。数据处理器(32)具有：增益确定器(100)，确定薄膜结构的所述薄膜或各薄膜的增益；以及表面特性确定器(101)，根据第一强度数据来确定衬底表面特性，根据第二强度数据来确定视在薄膜结构表面特性，并使用衬底表面特性和增益确定器所确定的增益或多个增益来修改视在薄膜结构表面特性。
- 确定表面特性装置方法
- [发明专利]确定表面特征的装置和方法-CN200610067347.3无效
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D·I·曼斯费尔德;A·D·班克赫德
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泰勒.霍布森有限公司
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2006-02-09
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2006-10-18
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G01B11/24
- 一种干涉仪系统将光沿样本路径定向到样本表面且沿参考路径定向到参考表面，以使由样本表面的区域反射的光和由参考表面反射的光相干涉。在沿在样本和参考表面之间的扫描路径相对移动的过程中，传感元件以一定间隔来感测由相应的表面区域产生的干涉条纹，以提供一组用于各个表面区域的强度数据。相干峰值位置确定器为一个表面区域来根据该组强度数据确定高度数据，所述高度数据表示在扫描路径上、与该表面区域的高度相对应的位置。振幅确定器确定振幅数据，所述振幅数据表示在所确定的高度位置处强度数据的振幅。修改的表面高度计算器通过用一校正因子来修改由相干峰值位置确定器所确定的所述高度数据，以计算用于表面区域的修改的高度数据，该校正因子是使用相应的振幅数据和由校正参数提供器提供的一校正参数来确定的。
- 确定表面特征装置方法
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