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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理设备、基板支撑单元和基板处理方法-CN201910979189.6有效
  • 李相起;河刚来 - 细美事有限公司
  • 2019-10-15 - 2023-02-17 - H01J37/32
  • 一种用于处理基板的设备，包括：壳体，在该壳体中具有处理空间；支撑单元，其在处理空间中支撑基板；处理气体供应单元，其将处理气体供应到处理空间中；以及等离子体源，其从处理气体产生等离子体。支撑单元包括：支撑构件，在其上放置基板；加热构件，其加热被支撑在支撑构件上的基板；以及传热气体供应构件，其将传热气体供应到被支撑在支撑构件上的基板的背面。加热构件包括多个加热器，并且当俯视时，多个加热器加热被放置在支撑构件上的基板上的不同区域。支撑构件包括突起，该突起将支撑构件和被放置在支撑构件上的基板的背面之间的空间划分成多个气体区域，并且当俯视时，由加热构件加热的基板上的加热区域中的至少一个被划分为多个区域。
  • 处理设备支撑单元方法
  • [发明专利]基板支承组件及基板处理装置-CN201310439131.5有效
  • 李元行;河刚来 - 细美事有限公司
  • 2013-09-24 - 2017-01-11 - H01L21/683
  • 本发明涉及一种基板处理装置，尤其涉及一种利用等离子体的基板处理装置。根据本发明的一个实施例的基板处理装置，包括：腔室，内部具有处理空间；基板支承组件，位于所述腔室内并支承基板；气体供给单元，向所述腔室内部供给气体；以及电源，向供给到所述腔室内的气体供电从而产生等离子体，所述基板支承组件包括：静电夹盘，支承所述基板；下部盖，具有内部空间并包括金属材质，其中，所述内部空间设置有向所述静电夹盘供给电力或气体的线；以及一个或多个板，配置在所述静电夹盘和所述下部盖之间，所述静电夹盘包括金属板，所述一个或多个板为非金属材质。
  • 支承组件处理装置
  •  1 
  • 共 4 条
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