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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]检测装置-CN202110488195.9在审
  • 汪育次;陈知行;黄泰源 - 日月光半导体制造股份有限公司
  • 2021-05-06 - 2021-09-14 - H01L21/67
  • 本公开涉及检测装置。该检测装置包括：供晶圆框架滑动的滑动平面；限高部件，限高部件的底面平行于滑动平面，并且限高部件的底面与滑动平面相隔预设距离。该检测装置使得翘曲量不超过最大翘曲量的晶圆框架得以顺利通过，而翘曲量超过最大翘曲量的晶圆框架无法通过，从而简便、快捷、准确地实现晶圆框架的翘曲检测，防止因晶圆框架翘曲引起部件损坏，避免相关的经济损失。
  • 检测装置
  •  1 
  • 共 1 条
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