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- [实用新型]一种带限位结构的石英垫板-CN202223581249.5有效
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杨武;倪朗
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江苏信核芯微电子有限公司
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2022-12-30
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2023-10-27
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C03B33/03
- 本实用新型涉及一种带限位结构的石英垫板，包括底座、固定安装于底座上表面的竖板和固定连接于竖板外部的横板，所述底座的上表面固定安装有安装座，所述安装座的上表面设有加工台，且加工台的上表面设有石英垫板本体，所述横板的下表面设有切割机构；所述竖板的外部设有对切割机构横向移动的调节机构；所述调节机构包括设置于竖板外部的伺服电机。该带限位结构的石英垫板，通过启动伺服电机带动第一丝杠旋转，同时第一移动块带动切割机构横向位移，再通过启动驱动电机带动第二丝杠旋转，同时第二移动块通过滑座带动加工台前后位移，通过调节机构和移动机构，实现切割机构与加工台呈X，Y轴移动，达到实用性强，便于对石英垫板切割的优点。
- 一种限位结构石英垫板
- [实用新型]一种防腐蚀的螺板清洗吊篮-CN202223582580.9有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2022-12-30
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2023-10-20
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B08B3/04
- 本实用新型涉及一种防腐蚀的螺板清洗吊篮，包括吊篮，所述吊篮的顶部开设有网门，所述吊篮的内部活动连接有数量为三个的托盘，底部所述托盘的外表面固定连接有连接柱，顶部两个所述托盘的内部均固定连接有连接组件。该防腐蚀的螺板清洗吊篮，通过打开网门可以将连接柱与托盘取出，将托盘与连接柱从吊篮中取出后，通过按压两个支撑块使两个支撑块压动两个弹簧相对移动从而拿出连接块与托盘，从而方便收集清洗过后的螺板与放置未清洗的螺板，当需要从新安装使只需要将连接块下压，在通过两个弹簧复位分别使两个支撑块移动对连接块限位即可，从而可以对多个螺板进行清洗与方便存取。
- 一种腐蚀清洗吊篮
- [实用新型]一种金属管材内壁镀膜的磁控溅射机构-CN202223593488.2有效
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杨志;倪朗
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江苏信核芯微电子有限公司
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2022-12-30
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2023-08-11
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C23C14/35
- 本实用新型涉及一种金属管材内壁镀膜的磁控溅射机构，包括加工台，所述加工台的顶部固定连接有安装座，所述安装座的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固定连接有固定套壳，所述固定套壳的内部活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外部螺纹连接有调节套，所述调节套的侧壁上固定连接有固定板，所述加工台的顶部活动连接有活动座，所述活动座的侧壁上固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的输出端上固定连接有磁控溅射器。该金属管材内壁镀膜的磁控溅射机构，通过把手、螺纹杆、调节套、固定板、第二电动推杆和活动座对管道进行支撑，通过抽气管、第一电动推杆、磁控溅射器、驱动电机和固定套互相配合对管道进行翻转。
- 一种金属管材内壁镀膜磁控溅射机构
- [实用新型]一种铁氧体基材覆膜机构-CN202023308999.6有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2020-12-31
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2022-05-13
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B32B37/10
- 本实用新型涉及覆膜机构技术领域，且公开了一种铁氧体基材覆膜机构，包括支撑架，所述支撑架的下端设置有万向轮，所述万向轮上设置有制动器，所述支撑架的内侧左下角处设置有承重台，所述承重台的左上端设置有旋转电机，所述旋转电机的输出轴与右端的联轴器相连接，所述联轴器的右端连接有旋转杆，所述旋转杆的右端依次穿过并连接有保护罩的左侧壁、左支撑座、磁性辊轮和右支撑座，本实用新型通过设置磁性辊轮并使膜材绕覆在其表面，在铁氧体基材经过磁性辊轮的过程中，利用磁性相吸的原理，铁氧体基材与磁性辊轮紧紧贴合在一起，使得膜材紧密压覆在铁氧体基材表面，并挤压排除覆膜过程中的气泡，从而提高了铁氧体基材的覆膜质量。
- 一种铁氧体基材机构
- [实用新型]铁氧体基片的平整化装置-CN202023302324.0有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2020-12-31
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2022-01-04
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C23C14/08
- 本实用新型公开了铁氧体基片的平整化装置，包括装置壳体，所述装置壳体的内腔下端左侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的传动杆上端固定连接有放置板，所述装置壳体的内腔上端中部固定连接有第一传动电机，所述第一传动电机的转轴下端固定连接有连接盘，所述连接盘的下端左右两侧分别固定连接有微波发生器和离子发射器，所述装置壳体内腔下端右侧固定连接有第一连接块，所述第一连接块的上端固定插接有第二连接块，所述第二连接块的内腔下部固定连接有第二传动电机，所述第二传动电机的转轴上端固定连接有连接转盘。该铁氧体基片平整化装置，通过设备整体结构，能够有效的清除旋磁铁氧体基片表面的微纳粒子，又不对基片产生损伤。
- 铁氧体平整化装
- [实用新型]磁控溅射环装置及磁控溅射反应器-CN202023309181.6有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2020-12-31
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2022-01-04
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C23C14/35
- 本实用新型涉及机械技术领域，且公开了磁控溅射环装置及磁控溅射反应器，包括支撑板，所述支撑板的下端固定连接有第一连接环，所述第一连接环的外侧通过轴承套接有传动环管，所述传动环管的下端固定连接有螺纹环，所述螺纹环的内侧通过螺纹插接有螺纹杆，所述螺纹杆的内侧开有矩形腔，所述矩形腔的内部活动插接有矩形块，所述矩形块的上端固定连接有连接杆，所述连接杆的上端固定连接在支撑板的下端，所述螺纹杆的下端左右两侧固定连接有连接架，所述连接架的外侧下部通过螺纹套接有第二连接环，该磁控溅射环装置及磁控溅射反应器，通过设备的整体结构，能够带动连接架和磁控溅射环上下运动，从而能够均匀的喷射在工件的外侧。
- 磁控溅射装置反应器
- [实用新型]一种磁控溅射设备的基片传送装置-CN202120067163.7有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2021-01-11
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2022-01-04
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C23C14/56
- 本实用新型提供一种磁控溅射设备的基片传送装置，涉及磁控溅射领域。该磁控溅射设备的基片传送装置，包括磁控传动机箱和平移输送机箱，所述磁控传动机箱的右端安装有传动输送装置，所述磁控传动机箱的前端安装有磁控旋转转块，所述磁控旋转转块的外围安装有四组磁控升降传送装置，所述磁控传动机箱远离传动输送装置的一端开设有定位固定卡槽，所述平移输送机箱的右端安装有定位固定卡块。该磁控溅射设备的基片传送装置，通过基片传送滚轮实现基片在磁控溅射设备和基片水平传送机构之间的自动传送，不需要手工上下基片，提高产品质量，提高生产效率，降低劳动强度和生产成本。基片背面被基片架遮蔽住，避免了等离子体的绕射现象。
- 一种磁控溅射设备传送装置
- [实用新型]一种磁性复合辊轴及覆膜装置-CN202023302309.6有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2020-12-31
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2021-09-28
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B32B37/00
- 本实用新型涉及覆膜装置技术领域，且公开了一种磁性复合辊轴及覆膜装置，包括第一辊轴，所述铁氧体的两侧皆设置有扇形固定件，所述延伸件的外部套设有紧固螺母，所述扇形固定件的一端开设有滑槽，所述扇形固定件的另一端设置有滑块，所述轴承的顶端通过安装架分别安装有固定杆和滚珠丝杆，所述固定杆的底部通过连接杆安装有固定限位片，所述滚珠丝杆上套设有滚珠螺母，所述滚珠螺母的底部通过连接杆安装有活动限位片。该一种磁性复合辊轴及覆膜装置，通过设置扇形固定件、紧固螺母、固定限位片和活动限位片，使得本实用新型具有便捷拆装功能和调节功能，方便安装或拆卸铁氧体，提高实用性，且可对不同宽度的铁氧体基材进行限位，提高覆膜效果。
- 一种磁性复合辊轴装置
- [实用新型]一种用于清洗铁氧体基材的超声清洗夹具-CN202023302247.9有效
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杨武;杨志
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江苏信核芯微电子有限公司
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2020-12-31
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2021-09-21
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B08B13/00
- 本实用新型涉及机械技术领域，且公开了一种用于清洗铁氧体基材的超声清洗夹具，包括底板，所述底板的上端固定连接有限位块，所述限位块的外侧套接有支撑基板，所述支撑基板的上端开有放置槽，所述放置槽的内腔下端固定连接有凸块，所述放置槽的内腔后端上部固定连接有丝杠，所述丝杠的传动块前端固定连接有挤压条，所述支撑基板的左右两端下部固定连接有固定条，所述固定条的中部开有限位口，所述限位口的内部活动插接有第一限位条和第二限位条，所述第二限位条的外侧固定连接有三角凸块。该一种用于清洗铁氧体基材的超声清洗夹具，通过设备的整体结构，能够方便的对支撑基板进行定位固定，并且手动掰动第二限位条还能够对设备进行拆卸。
- 一种用于清洗铁氧体基材超声夹具
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