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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]半导体制造中的重叠测量和补偿的方法-CN201710710938.6有效
发明人：何韦德;林书宏;张雅惠;江直融;蔡昌益;杨宗潾;陈桂顺 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种方法，包括接收具有第一层和位于第一层上方第二层的器件，该第一层具有第一重叠标记。该方法还包括在第二层上方形成第一光刻胶图案，第一光刻胶图案具有第二重叠标记。该方法还包括使用第一光刻胶图案中的第二重叠标记和第一重叠标记实施第一重叠测量；以及实施一个或多个第一制造工艺，由此将第二重叠标记转印至第二层中并且去除第一光刻胶图案。该方法还包括实施包括在第二层上方形成第三层的一个或多个第二制造工艺。在实施一个或多个第二制造工艺之后，该方法包括使用第二层中的第二重叠标记和第一重叠标记来实施第二重叠测量。
半导体制造中的重叠测量补偿方法

[发明专利]检测装置以及检测方法-CN201210581334.3有效
发明人：谢易辰;江直融;杨富程 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测装置及检测方法。该检测装置包括一光源模块、一图像接收模块以及一处理单元。光源模块发出一第一入射光以及一第二入射光至一待测物；图像接收模块接收第一入射光照射到待测物所产生的一第一图像，以及第二入射光照射到待测物所产生的一第二图像；处理单元计算第一图像以及第二图像的对比值，以得到用于检测的一高对比度图像。
检测装置以及方法

[发明专利]液晶单元特性测定装置以及液晶单元特性测定方法-CN201210043918.5有效
发明人：刘志祥;江直融;罗偕益 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开一种液晶单元特性测定装置以及液晶单元特性测定方法。液晶单元特性测定装置包括：光源、至少三个偏光产生器、至少三个物镜、至少三个偏光分析器以及数据处理器。每一偏光产生器从光源取出具有特定偏光成分的偏光光线，每一偏光光线以倾斜入射角度投射到液晶单元。每一物镜以设定的收光角度而接收透射过液晶单元的每一偏光光线，收光角度对应于倾斜入射角度。每一偏光分析器取得来自于每一物镜的偏光光线的偏光强度。数据处理器根据至少三个收光角度中的每一偏光光线的偏光强度，而至少能计算液晶单元的厚度或液晶单元内的液晶分子的预倾角。此外，还提出液晶单元特性测定方法。
液晶单元特性测定装置以及方法

[发明专利]测定液晶参数的方法及装置-CN201010610643.X有效
发明人： 江直融;刘志祥 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2010-12-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：一种测定液晶参数的装置和方法，其藉由一第一电控控制器来调制一线偏光产生器产生不同方位角的线偏光，以及一第二电控控制器来调制一偏光分析器。此线偏光产生器接收一光源的入射光并取出多个入射线偏光，而其所产生的不同方位角的线偏光是由此第一电控控制器所调制，使线偏光以所设定的倾斜角度投射至一待测样品，而穿透此待测样品的透射光由此偏光分析器所接收。此第二电控控制器连接至此偏光分析器，以取出一特定的偏光强度再经由置于一后端的数据处理装置接收来自此偏光分析器取出的偏光数据后，藉由一切层理论模型，求解出至少一液晶光学参数。
测定液晶参数方法装置

[发明专利]液晶预倾角量测系统与方法-CN200910221056.9有效
发明人： 江直融;刘志祥;庄明颖;庄凯评;罗偕益 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2009-11-09 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种液晶预倾角的量测系统与方法，投射线性偏振光束至一待测样品上，并由偏振光接收模块分离通过待测样品后的穿透光形成具有垂直及水平偏振态的光束，然后再计算归一化穿透光谱强度。由量测不同入射角的偏振光束所具有的归一化穿透光谱强度，再通过数学运算以液晶物理模型拟合进而求解液晶预倾角。
液晶倾角系统方法

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