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[发明专利]直线刃对非球面加工方法-CN202210585415.4有效
发明人：吴勇波;孙林河;陈雨寒;张诗博;武韩强;李庚卓 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B23Q17/22 文献下载
摘要：本申请公开了一种直线刃对非球面加工方法及加工设备，直线刃对非球面加工方法获取刀具在第一位置时，切削刃边缘点与机床B轴中心的距离ρ’和角度根据ρ’和的误差值，得到修正的距离ρ”和角度根据ρ”和获取机床B轴中心的坐标，以及机床X轴、机床Z轴的补偿量与机床B轴旋转角度的关系；并获取加工曲线的离散点的坐标，以及得到刀具在切削位置旋转角度βi和各离散点的补偿关系，得到补偿后的刀具的加工路径。直线刃刀具有利于在大进给的情况下，对非球面进行加工，从而能够增加生产效率，能够减少直线刃刀具的切削时间，从而减少直线刃刀具的磨损，减少加工过程中需要进行更换的频率，进而增加生产效率。
直线球面加工方法

[实用新型]一种模块化设计的自供紫外光源的抛光头装置-CN201920397405.1有效
发明人：江亮;钱林茂;武韩强;刘进伟;邓昌邦 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种模块化设计的自供紫外光源的抛光头装置，包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块，其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈，该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关；装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片；晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本装置采用模块化的设计，方便了单个模块互换以及模块间装配；本装置将紫外光源装置与抛光头装置高度集成，提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能；本装置中的机械结构采用铝合金，减少了抛光头装置质量，降低了电机损耗。本实用新型的高集成和轻质量特性有效实现了绿色节能。
抛光头装置紫外光源装卡本实用新型紫外光光源电路晶圆玻璃板防护罩红外遥控开关紫外光源装置环形电路板模块化设计单个模块弹簧钢片电机损耗高度集成环形石英机械结构有效实现质量特性中间圆盘锂电池组高集成铝合金密封盖模块化上圆盘装配互换节能节约

[发明专利]一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置-CN201910236791.0在审
发明人：江亮;钱林茂;武韩强;刘进伟;邓昌邦 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种模块化设计的自供紫外光源的绿色节能抛光头装置，包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块，其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈，该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关；装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片；晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本发明采用模块化的设计，方便了单个模块互换以及模块间装配；本发明将紫外光源装置与抛光头装置高度集成，提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能；本发明中的机械结构采用铝合金，减少了抛光头装置质量，降低了电机损耗。本发明的高集成和轻质量特性有效实现了绿色节能。
抛光头装置紫外光源装卡模块化设计紫外光光源电路节能晶圆玻璃板防护罩红外遥控开关紫外光源装置环形电路板单个模块弹簧钢片电机损耗高度集成环形石英机械结构有效实现质量特性中间圆盘锂电池组高集成铝合金密封盖模块化上圆盘互换装配节约

[实用新型]一种具有高加载均匀性和高通用性的抛光头-CN201820471015.X有效
发明人：江亮;武韩强;钱林茂;陈磊;林斌;邓昌邦;刘进伟 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高加载均匀性和高通用性的抛光头，包括连接圆盘、至少三个弹簧钢片和中间圆盘，中间圆盘的盘体边缘设置有向上凸起的边缘环脊，边缘环脊使中间圆盘形成一个开口向上的空腔；各弹簧钢片的内侧段与连接圆盘间隔均匀的固连；各弹簧钢片的外侧端与中间圆盘的边缘环脊间隔均匀的固连；连接圆盘用于与上圆盘连接，以连接抛光机旋转轴；中间圆盘用于与底圆盘和保持环连接，以夹持晶圆。本实用新型明显改善了晶圆背侧的受力均匀性，保障了晶圆的平坦化过程。通过保持环和底圆盘拆换结构，可以方便快捷地夹持不同直径的晶圆以及异形样品；通过更换不同的装卡头，可以适用于不同型号的抛光机，提高了本实用新型抛光头的通用性。
中间圆盘晶圆本实用新型弹簧钢片连接圆盘边缘环抛光头间隔均匀均匀性抛光机固连加载受力均匀性开口向上盘体边缘向上凸起异形样品内侧段平坦化上圆盘外侧端旋转轴装卡头拆换地夹夹持空腔

[发明专利]基于机械刻划与金属催化刻蚀的硅微/纳结构制备方法-CN201710450186.4在审
发明人：蒋淑兰;王丰;钱林茂;武韩强;余丙军 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于机械刻划与金属催化刻蚀的硅微/纳结构制备方法，该方法包括以下步骤S1、硅片预处理将硅片表面清洗干净后烘干得到样品A；S2、集成贵金属纳米薄膜在样品A表面沉积一层粘附层后，再在其表面集成贵金属纳米薄膜，获得样品B；S3、机械刻划贵金属纳米薄膜采用机械刻划在样品B的表面上进行刻划，以除去刻划部分的贵金属纳米薄膜，获得在任意需要位置、具有设定形状图案的样品C；S4、制备硅微/纳结构将样品C放入氢氟酸和过氧化氢的混合溶液中，对其进行刻蚀，即可获得具有高深宽比的硅微/纳结构。总体而言，该制备方法具有成本低、操作简单和可定位加工的优点，有望规模化生产。
基于机械刻划金属催化刻蚀结构制备方法

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