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- [发明专利]一种微窄条带滤光片的制备方法-CN202110832012.0有效
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鱼卫星;郭权;武登山
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中国科学院西安光学精密机械研究所
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2021-07-22
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2022-12-09
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G02B5/28
- 本发明公开了一种微窄条带滤光片的制备方法,解决了现有技术微窄条带滤光片膜片破损、边缘粗糙度大的问题,包括以下步骤:一、基底熔蚀:取玻璃基底,利用激光诱导等离子体在玻璃基底表面刻蚀垂直槽;二、滤光膜层蒸镀:对玻璃基底上刻蚀的垂直槽蒸镀滤光膜层,滤光膜层厚度<垂直槽深度;三、玻璃基底底面减薄:将镀有滤光膜的一面粘接到抛光盘上,用光学玻璃研磨机对玻璃基底底面研磨和抛光,直至玻璃基底厚度接近设定值;四、玻璃基底切割:利用激光切割机从底面对减薄的玻璃基底进行切割,沿垂直槽边界处切割;五、玻璃基底裂片释放:利用裂片机对进行切割后的玻璃基底进行裂片释放,保留相邻的垂直槽之间的部分即构成微窄条带滤光片。
- 一种条带滤光制备方法
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