专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果4个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [实用新型]基板显影后清洗装置-CN201220431632.X有效
  • 余海;崔缀奎;马超;欧阳欠 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
  • 2012-08-28 - 2013-02-13 - B08B3/04
  • 本实用新型涉及光刻技术,公开了一种基板显影后清洗装置,包括依次邻接的初级清洗区、中级清洗区和终极清洗区,显影后基板依次经过初级清洗区、中级清洗区和终极清洗区进行清洗,每个清洗区设置有供水管和排废管,所述中级清洗区和终极清洗区之间设置有第一集水池,终极清洗区的终极排废管和中级清洗区的中级供水管分别与所述第一集水池相连,所述初级清洗区和中级清洗区之间设置有第二集水池,初级清洗区的初级供水管和中级清洗区的中级排废管与所述第二集水池相连。本实用新型在保证显影后基板清洗效果的同时大幅节约用水,并且自动化能力强,易实现。
  • 显影清洗装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top