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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN202111447661.5在审
发明人：金成昊;郑贤稙;林龙泰;朴常勋 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：台，基板被提供到所述台；喷墨头，布置在所述台上，并且向所述基板提供药液；壳体，所述壳体的下表面形成有供所述喷墨头插入的药液排出槽；以及盖，设置于所述壳体，并且能够向所述喷墨头的下部移动从而关闭所述药液排出槽。
处理装置方法

[发明专利]液滴检查装置及其方法、液滴吐出装置及其方法-CN201610603338.5有效
发明人：张硕元;林龙泰 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2016-07-28 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B05B12/08 文献下载
摘要：本发明公开一种液滴检查装置及其方法，液滴吐出装置及其方法。用于检查包括相隔预定间隔配置的多个喷嘴的喷墨头吐出的液滴的液滴检查装置可包括：原封保全分别从各所述喷嘴吐出的所述液滴的状态的液滴保全部件及确认吐出到所述液滴保全部件上的所述液滴的状态的液滴确认部件。可以利用所述液滴确认部件提供的吐出的所述液滴的状态确认所述液滴是否按所述喷嘴之间的预定间隔吐出以判断所述液滴是否适当吐出，确认所述液滴是否吐出到超出所述预定间隔的位置以判断所述液滴的位置，确认吐出的所述液滴的状态以判断所述液滴的大小。所述液滴检查装置通过一次检查即可确认液滴是否适当吐出、液滴位置及液滴大小。
检查装置及其方法吐出