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[实用新型]一种凸点剪切力试验用推针架-CN202222521757.8有效
发明人： 杨珮艺;汪国鹏;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种凸点剪切力试验用推针架，包括刀架，所述刀架下端设有安装吊框，所述安装吊框内部中心安装有固定块，所述固定块两侧分别设有螺杆，且所述螺杆分别和安装吊框内侧壁、固定块侧壁转动连接，每个所述螺杆上皆螺纹连接有移动块，所述固定块和两个所述移动块下端皆安装有推针；所述安装吊框两侧分别设有传动机构，所述传动机构远离安装吊框的一侧设有大轮盘，所述大轮盘上方设有小轮盘，且所述大轮盘和小轮盘之间通过皮带进行连接，所述小轮盘一侧设有微调旋钮，所述微调旋钮和小轮盘轴心相连。本实用大大简化了推球流程，将过去的三次推球操作变为了一次，省去了大量时间与人员成本，成倍的增加了生产效率。
一种剪切试验用推针架

[实用新型]一种能改变刮刀角度的刮刀架-CN202222135524.4有效
发明人： 杨珮艺;倪泽恩;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B41F15/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能改变刮刀角度的刮刀架，涉及晶圆印刷的技术领域，包括固定架，还包括第一安装架、第二安装架、第一刮刀、第二刮刀、两个安装组件、连接杆、螺栓和螺纹孔，所述连接杆设置在固定架顶部，所述第一安装架安装在固定架的底部的一端，所述第二安装架设置在固定架底部的另一端，两个所述安装组件分别设置在第一安装架的顶部和第二安装架的顶部。本实用新型通过设置第一安装架、第二安装架、第一刮刀、第二刮刀和两个安装组件可以减少安装架的采购，简化生产流程，并且省去了人工频繁更换刀架对设备的损伤。防止因错误使用安装架导致产品质量低良，便于生产线管理。
一种改变刮刀角度

[实用新型]一种能快速断膜的新型贴膜机刀片-CN202222615866.6有效
发明人： 杨珮艺 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-10-03 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B26F1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能快速断膜的新型贴膜机刀片，涉及切割机刀片技术领域，包括伺服电机，还包括安装板、螺杆、两个限位杆、锥形块、螺纹套、限位盆、圆形刀片、膜本体、支撑柱、支撑圆盘和支架，所述安装板设置在伺服电机的底部，所述螺杆设置在伺服电机输出轴端部，两个所述限位杆设置在安装板的两侧壁。本实用新型通过设置伺服电机、螺杆、螺纹套、锥形块、限位杆和限位筒的设置，实现了装置在断膜可不经过刀片绕晶圆一圈行进长时间等待，刀片落下可直接将整个晶圆形状切出，即节省了大量时间，又能更好的保证膜的均匀性，减少了破片风险，人力资源和成本，改善生产效率。
一种快速新型贴膜机刀片

[实用新型]一种防止静电吸附的晶圆印刷台-CN202222312691.1有效
发明人： 杨珮艺;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止静电吸附的晶圆印刷台，涉及晶圆印刷台技术领域，包括基座，所述基座的上方设置有印刷载台，且印刷载台的中心处开设有圆形凹槽，本设计在现在已有的载台桌面基础上，将载台放片下方安装一组离子泵，并将载台的真空开关改成两用，通过控制器自动调控电动推杆、离子泵和真空泵的开启和关闭，能够同时控制真空开关与离子泵，并在已有桌面设计第二组边缘式的扇形顶针装置，可以消除晶圆上本身的表面存在的静电以及在印刷过程中产生的静电，并且能够更安全的将晶圆顶起。防止晶圆片因静电吸附无法脱离载台，也避免了产线手动使用隔离纸拿取产品而造成的低良或产品破碎等安全问题。
一种防止静电吸附印刷

[实用新型]一种抽屉式横向晶圆盒-CN202221784991.3有效
发明人： 杨珮艺;许时铭;侯盼凯;刘勇;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抽屉式横向晶圆盒，包括盒体；隔层防滑机构，所述隔层防滑机构设置于盒体的内部，所述隔层防滑机构包括隔层板，所述隔层板设置于盒体相对的一侧，所述隔层板顶部的右侧固定连接有防滑块；防护抽壳，所述防护抽壳相离的一侧滑动连接于盒体相对的一侧；通风组件，所述通风组件设置于防护抽壳的正面；取件机构,所述取件机构设置于防护抽壳的内部。所述通风组件包括防护壳，所述防护壳的底部转动连接于防护抽壳正面的顶部,本装置能够在晶圆表面涂覆胶液之后横向防止，防止胶液的流失，存放也不会刮蹭到晶圆盒上壁，防止造成返工，影响产品质量同时在胶液烘干后，放入液体浸泡也可以安全稳定的进行。
一种抽屉横向晶圆盒

[实用新型]一种能够倾斜放置晶圆片的晶圆盒-CN202222083337.6有效
发明人： 杨珮艺;侯盼凯;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够倾斜放置晶圆片的晶圆盒，包括晶圆盒本体，所述晶圆盒本体左右两侧均安装有侧板，所述第一铰接杆左右外侧均轴承连接有底板，且所述底板左侧及上方设置有可对槽板内侧的晶圆片，起到防止晶圆片正面在化学电镀时出现晃动，而导致其表面处理不均匀问题的驱动机构和调节机构；所述驱动机构包括固定在所述第一铰接杆左侧前端的传动齿轮，所述调节杆内侧螺纹连接有螺纹杆。本实用新型通过驱动机构和调节机构，能够有效的使得晶圆片背面倚靠在倾斜的槽板一侧，以此便可有效的对晶圆片在化学电镀时进行稳定放置，从而同时还避免了化学电镀溶液无法渗入晶圆片边缘，导致造成此位置化镀异常的问题。
一种能够倾斜放置晶圆片晶圆盒

[实用新型]一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置-CN202221839630.4有效
发明人： 杨珮艺;周春荣;刘勇;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-07-16 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种防止超薄片晶圆漂浮的二次非全覆盖式涂胶装置，包括立架，所述立架内部下端安装有伺服电动缸，所述伺服电动缸输出端安装有支撑盘，所述立架上端安装有电机，所述电机输出端连接有转盘，所述转盘转动安装在立架内部顶端，所述转盘下端安装有夹板，所述夹板内部下端安装有存液箱，所述存液箱下端设有一排若干个排液管口，且所述排液管口大小从存液箱下端中心向存液箱下端侧边逐渐变大，所述存液箱两侧壁下端皆连接有抚平板。本实用新型可以使得胶层均匀性更佳，提高胶层均匀性，避免晶圆边缘产生毛边，提高涂胶效果，还可以对晶圆上胶水层的厚度、大小以及胶水量进行精准把控，从而可以有效避免胶水过厚的问题。
一种防止薄片漂浮二次覆盖涂胶装置

[实用新型]一种可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置-CN202221686222.X有效
发明人： 杨珮艺;倪泽恩;刘勇;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置，包括：晶圆盒；翻转长杆,所述翻转长杆的底部转动连接于晶圆盒正面的顶部；安置壳,所述安置壳的正面设置于晶圆盒的背面；底座，所述底座的顶部转动连接于安置壳的底部；升降夹持组件，所述升降夹持组件设置于安置壳的正面，所述升降夹持组件包括螺纹旋转杆。该可转动的防止超薄片晶圆漂浮出晶圆盒的装置能够在晶圆需要浸泡时，有效的将多个晶圆同时进行化学液体浸泡，防止浸泡过程中晶圆的漂浮，同时可以在工作人员不接触化学液体的情况下进行移动和风干，解决了现有晶圆在化学液体浸泡时晶圆漂浮和减少工作人员在不接触化学液体的情况下进行浸泡工作和风干工作的问题。
一种转动防止薄片漂浮出晶圆盒装置

[实用新型]一种能够多片印刷的网板及SHIM板-CN202221760781.0有效
发明人：侯盼凯;杨珮艺;闫宇飞;刘勇;焦伟宏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B41F15/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够多片印刷的网板及SHIM板，包括真空吸盘，所述真空吸盘的外壁四角均分布有四个限位角块，所述真空吸盘的顶部设置有第一垫片，所述第一垫片上设置有便于固定第二垫片的定位机构。该能够多片印刷的网板及SHIM板，将刷胶钢网板上的放置槽扩大，1：1复制另一个相同的放置槽，使两个放置槽的平边相切，同时第二垫片上的放置槽必须按照钢网上的放置槽外形尺寸及位置完全对应，在印刷机设备条件允许的情况下，可将此设计增加至个放置槽，个放置槽甚至更多，这样晶圆印刷机从一次刮刀涂覆每次仅能生产一片晶圆，扩展到一次两片甚至多片，极大的增加了生产效率，节约了人力资源和成本。
一种够多印刷 shim

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