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[发明专利]一种防倒吸真空吸盘及真空吸附晶圆夹具-CN202310666723.4在审
发明人：杨旭;杨晓喆;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明提供的一种防倒吸的真空吸盘及真空吸附晶圆夹具，包括真空吸盘本体，所述真空吸盘的上端开设有轴向布置的气道，所述气道的一端与外接设备连接，另一端与真空吸盘本体下端开设的圆盘状气道连通；所述真空吸盘本体上还设置有防倒吸水气道，所述防倒吸水气道置于真空吸盘本体下端开设的圆盘状气道的外侧；所述防倒吸水气道上设置有出气口，该出气口与气道连通，能够有效地解决现有晶圆的真空吸盘吸附式固定存在电解液及抛光浆倒吸渗入装置内部的缺陷。
一种防倒吸真空吸盘吸附夹具

[发明专利]一种电解液固定型电化学机械抛光方法、装置与设备-CN202310487880.9在审
发明人： 杨晓喆;杨旭;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电解液固定型电化学机械抛光方法、装置与设备，所述电解液固定型电化学机械抛光装置包括抛光头，所述抛光头由微纳米多孔材料制成，所述抛光头包括若干磨粒，所述磨粒通过结合剂固结，所述抛光头分布有若干空孔。在抛光过程中，电解液能够在微纳米多孔材料抛光头的微纳米孔内驻留，而不会溢流，因此可以实现对电解液的控制。当工件表面与抛光头相接触时，工件表面也与抛光头内部驻留的电解液产生局部接触，在电场的作用下，工件表面与电解液接触的区域发生电化学反应，实现局部阳极氧化改性，同时通过抛光头与工件的相对运动，利用磨粒实现对改性层的去除。
一种电解液固定电化学机械抛光方法装置设备

[发明专利]一种大口径半导体晶圆电化学机械减薄加工方法及设备-CN202310093638.3在审
发明人：杨旭;杨晓喆;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大口径半导体晶圆电化学机械减薄加工方法及设备，结合阳极氧化改性与机械磨抛对大口径半导体晶圆进行减薄。所述设备包括磨抛工具系统、晶圆固定装置和砂轮修整装置。其中，磨抛工具系统包括磨抛基盘和杯型砂轮，杯型砂轮固定在磨抛基盘上，所述方法以磨抛基盘为阴极，半导体晶圆作为阳极。在减薄过程中，阴极和阳极均浸没在电解液中，半导体晶圆在外加电场的作用下进行表面改性软化，同时使用砂轮将改性生成的氧化层和中间态产物一同去除，利用电、化学、机械、力多能场复合作用实现半导体晶圆的减薄加工。
一种口径半导体电化学机械加工方法设备

[发明专利]一种五轴三维超声抛光机床及其使用方法-CN201611226439.1有效
发明人：安久贺;张涛;卞希帅;杨晓喆;陈东奇;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种五轴三维超声抛光机床的，在现有由机架、X向移动机构、Y向移动机构、Z向移动机构、超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成的五轴二维超声抛光机床的基础上加以改进，将其超声振动抛光装置由原来采用一维超声振动变为采用二维超声振动，二维超声振动由安装在立式旋转台上、通过工位调节孔可调节其夹角的两个超声装置和与超声装置的变幅杆相接的抛光头基座完成，抛光头固定在基座上。该超声抛光机床在抛光头上施加二维超声振动，通过二维超声耦合不仅可提高抛光功率，而且使抛光头的运动轨迹以曲线往复绕行形式均匀覆盖加工区域，使抛光效率明显提高。
一种三维超声抛光机床及其使用方法

[发明专利]一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床及其使用方法-CN201611228921.9有效
发明人：卞希帅;安久贺;张涛;杨晓喆;陈东奇;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床，由机床、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成；机床上有X、Z和Y向移动机构；Z向移动机构上有主轴超声振动抛光装置，Y向移动机构上有Y向超声振动装置，在Y向超声振动装置上有C向转动工作台。该机床通过五轴联动可使抛光头轴线方向与工件抛光点的法线平行，抛光头转动时，Y向超声振动装置的超声波和绕Z向摆动的超声振动抛光装置的超声波在平面内垂直耦合，当Y向超声振动装置的振幅A1大于超声振动抛光装置的振幅A2时，抛光头与工件能够形成长轴在Y方向、短轴处于工件抛光点法线位置的椭圆形加工轨迹，从而使抛光头与工件的接触面积增大，曲面去除率和抛光加工效率可大幅提高。
一种光学曲面工用三维超声抛光机床及其使用方法

[发明专利]一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床及其使用方法-CN201611119653.7有效
发明人：张涛;卞希帅;安久贺;杨晓喆;张启林;陈东奇;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2016-12-08 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床，由机架、三维移动装置、旋转式超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成。使用时超声振动抛光装置的振幅按计算公式求得；通过程序控制系统使五轴联动，使抛光头轴线与工件抛光点法线始终保持重合；抛光液喷射方向与抛光点法线保持45度夹角。该抛光机床具有超声传递能量集中、抛光头和工件表面间接触应力均匀、抛光精度高、抛光过程去除率高、抛光液利用率高和工件抛光精度可在线检测等有益效果。
一种光学曲面工用二维超声抛光机床及其使用方法

[发明专利]一种轮滑鞋的加速装置-CN201711262295.X在审
发明人：李小彭;郭威望;曹洲;杨晓喆 -专利权人：东北大学
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： A63C17/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种轮滑鞋的加速装置，所述的加速装置包括鞋底支架、滑轮、踏板、传动杆、棘轮。鞋底支架通过转轴连接，转轴与普通滑轮和加速滑轮连接，共同支撑鞋底支架，鞋底支架通过螺钉与鞋子固定，在鞋子的底板上安装加速踏板，加速踏板通过传动杆与加速滑轮上的棘轮连接。通过踩压踏板对滑轮起到加速效果。当轮滑者对踏板施加压力时，踏板就会绕一端与鞋底连接的销轴转动，通过传动杆将力传递到前轮的棘轮上，棘轮再带动滑轮加速运动，整个装置与双摇杆机构类似。本装置保证了前轮继续转动时，棘轮可以逆转和踏板复位，起到不断加速的作用。
一种轮滑鞋加速装置

[实用新型]一种高精度五轴多维超声抛光装置-CN201720571682.0有效
发明人： 杨晓喆;王志辉;于晓明;卞希帅;赵继;于天彪 -专利权人：东北大学
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高精度五轴多维超声抛光装置，属于高精度、难加工材料复杂曲面元件抛光领域。本装置L形基座的上部设有立式导轨，立式导轨上设有可上、下活动的立式旋转台，立式旋转台上设有抛光工具头振子组件；L形基座的下部设有卧式导轨Ⅰ，卧式导轨Ⅰ上设有可前、后活动的卧式导轨Ⅱ，卧式导轨Ⅱ上设有可左、右活动的卧式旋转工具台；卧式旋转工具台中超声激振组件Ⅰ、Ⅱ的振动辐射面分别与工件夹具相互垂直的两个侧面接触；三自由度机械臂的一端转动连接在L形基座的下部，三自由度机械臂的另一端设有超声雾化喷头。本装置包括多个导轨和旋转台，提供5个自由度，可以实现复杂曲面的抛光，完成现有机床难以加工的复杂零件。
一种高精度多维超声抛光装置

[发明专利]一种高精度五轴多维超声抛光装置-CN201710364127.5在审
发明人： 杨晓喆;王志辉;于晓明;赵继;于天彪 -专利权人：东北大学
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精度五轴多维超声抛光装置，属于高精度、难加工材料复杂曲面元件抛光领域。本装置L形基座的上部设有立式导轨，立式导轨上设有可上、下活动的立式旋转台，立式旋转台上设有抛光工具头振子组件；L形基座的下部设有卧式导轨Ⅰ，卧式导轨Ⅰ上设有可前、后活动的卧式导轨Ⅱ，卧式导轨Ⅱ上设有可左、右活动的卧式旋转工具台；卧式旋转工具台中超声激振组件Ⅰ、Ⅱ的振动辐射面分别与工件夹具相互垂直的两个侧面接触；三自由度机械臂的一端转动连接在L形基座的下部，三自由度机械臂的另一端设有超声雾化喷头。本装置包括多个导轨和旋转台，提供5个自由度，可以实现复杂曲面的抛光，完成现有机床难以加工的复杂零件。
一种高精度多维超声抛光装置

[实用新型]一种五轴三维超声抛光机床-CN201621445738.X有效
发明人：安久贺;张涛;卞希帅;杨晓喆;陈东奇;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种五轴三维超声抛光机床的，在现有由机架、X向移动机构、Y向移动机构、Z向移动机构、超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成的五轴二维超声抛光机床的基础上加以改进，将其超声振动抛光装置由原来采用一维超声振动变为采用二维超声振动，二维超声振动由安装在立式旋转台上、通过工位调节孔可调节其夹角的两个超声装置和与超声装置的变幅杆相接的抛光头基座完成，抛光头固定在基座上。该超声抛光机床在抛光头上施加二维超声振动，通过二维超声耦合不仅可提高抛光功率，而且使抛光头的运动轨迹以曲线往复绕行形式均匀覆盖加工区域，使抛光效率明显提高。
一种三维超声抛光机床

[实用新型]一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床-CN201621445748.3有效
发明人：卞希帅;安久贺;张涛;杨晓喆;陈东奇;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种光学曲面加工用五轴三维超声抛光机床，由机床、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成；机床上有X、Z和Y向移动机构；Z向移动机构上有主轴超声振动抛光装置，Y向移动机构上有Y向超声振动装置，在Y向超声振动装置上有C向转动工作台。该机床通过五轴联动可使抛光头轴线方向与工件抛光点的法线平行，抛光头转动时，Y向超声振动装置的超声波和绕Z向摆动的超声振动抛光装置的超声波在平面内垂直耦合，当Y向超声振动装置的振幅A1大于超声振动抛光装置的振幅A2时，抛光头与工件能够形成长轴在Y方向、短轴处于工件抛光点法线位置的椭圆形加工轨迹，从而使抛光头与工件的接触面积增大，曲面去除率和抛光加工效率可大幅提高。
一种光学曲面工用三维超声抛光机床

[实用新型]一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床-CN201621338724.8有效
发明人：张涛;卞希帅;安久贺;杨晓喆;张启林;陈东奇;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2016-12-08 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床，由机架、三维移动装置、旋转式超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成。使用时超声振动抛光装置的振幅按计算公式求得；通过程序控制系统使五轴联动，使抛光头轴线与工件抛光点法线始终保持重合；抛光液喷射方向与抛光点法线保持45度夹角。该抛光机床具有超声传递能量集中、抛光头和工件表面间接触应力均匀、抛光精度高、抛光过程去除率高、抛光液利用率高和工件抛光精度可在线检测等有益效果。
一种光学曲面工用二维超声抛光机床

[实用新型]简易点滴自动报警器-CN201320844283.9有效
发明人：邓日;闫闯;邓小东;杨晓喆;田思阳;田立勇;王昕;张佩;卢景贺;刘佳;曹宇;赵霜;唐赛诗 -专利权人：辽宁工程技术大学
申请日： 2013-12-20 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： A61M5/168 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种简易点滴自动报警器，可以给病人输液时多份安全保障，本实用新型是将点滴瓶底端与弹簧相连，利用点滴瓶内液体不同时质量不同，对弹簧的拉力不同，在空间的位置就不同，预先测定输液结束时点滴瓶的位置，调节块连接在支架导轨上，可以调整相应的位置，将报警输入端接触器安置在相应位置即可；滑动块可以沿直线导轨自由滑动，报警铃由干电池驱动，报警输触发器采用接触式装置。当点滴瓶内液体将尽时，滑动块向上滑动与调节块相接触，负极触点与正极触点相接触，电铃，电线，电源，构成回路，电铃报警。
简易点滴自动报警器

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