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- [发明专利]一种粉末颗粒振动式磁控溅射镀膜法-CN201610963465.6有效
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高学绪;马斌;包小倩;曹帅;卢克超;李纪恒
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北京科技大学
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2016-10-28
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2018-09-25
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C23C14/35
- 一种粉末颗粒振动式磁控溅射镀膜法,采用物理气相沉积(PVD)的方法,在振动的粉末颗粒表面磁控溅射一层金属或合金薄膜。主要步骤如下:1)将装有粉末颗粒的进料罐与磁控溅射设备进料口密封连接,将金属靶材安装在靶位上;2)抽真空至4×10‑3Pa;3)通入氩气并控制氩气压维持在0.1~0.5Pa;4)设定单位靶面积的溅射功率为5~10w/cm2,溅射清洗靶材10~15分钟;5)设定电机输出功率,使粉末颗粒在振动料槽中按照一定的速度振动经过溅射区域;6)溅射镀膜完成后,向真空室内充入氩气并将接料罐快速密封,取出接料罐。本发明采用多靶材同时工作提高溅射效率;粉末颗粒溅射过程中一直处于振动状态,振动使得粉末颗粒分散性好,粉末表面溅射薄膜包覆均匀;可通过调节靶材数量、靶材功率以及电机功率来控制溅射薄膜厚度;密封料罐的使用防止粉末颗粒氧化。
- 一种粉末颗粒振动磁控溅射镀膜
- [实用新型]一种握力辅助机械手-CN201721390167.9有效
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李书平;刘旭红;麻玉典;陈锐光;李纪恒;曹炬
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广西科技大学
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2017-10-26
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2018-05-22
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B25J9/00
- 本实用新型公开一种握力辅助机械手,指套和辅助臂,辅助臂的对应人手前臂,能够固定于人手前臂上;指套套入手指中;指套内对应指面处设置有指尖传感器,对应指甲面处设有触动开关;辅助臂上设置有控制芯片、拉动装置;指尖传感器、触动开关和拉动装置分别与控制芯片电连接;拉动装置通过传动绳与指套连接;当人手需要紧握时,指面给予指尖传感器压力,驱动拉动装置正转拉动传动绳,进而给予指套拉力,从而辅助提供握力;当人手需要放开时,指甲面接触触动开关,触动开关传递信号至控制芯片,控制芯片控制拉动装置反转,辅助人手松开。本实用新型结构简单,操作方便,成本低,传感系统可靠度高,穿戴方便。
- 一种握力辅助机械手
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