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[发明专利]无油空气用量降低的芯片测试系统及其方法-CN201711225299.0有效
发明人：郑荣;席洪旺;梁红斌;李堂豪 -专利权人：英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：根据本发明提供了一种芯片测试系统，包括：测试室，所述测试室设置有门；位于所述测试室内的测试头，所述测试头用于在芯片测试期间与所述芯片接触以向所述芯片提供与热测试和冷测试相对应的温度；冷却液管路，所述冷却液管路用于向所述测试头提供冷却液以调节所述测试头所提供给所述芯片的温度；无油空气压缩机，所述无油空气压缩机用于生成无油空气并且通过管道将所生成的无油空气吹送到所述测试室内；以及控制单元，所述控制单元被配置为确定测试阶段处于热测试阶段还是冷测试阶段，并且基于所确定的测试阶段来控制所述测试室的门的开或关以及控制所述无油空气压缩机(14)是否向所述测试室内吹送无油空气。
空气用量降低芯片测试系统及其方法

[实用新型]无油空气用量降低的芯片测试系统-CN201721627496.0有效
发明人：郑荣;席洪旺;梁红斌;李堂豪 -专利权人：英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：根据本实用新型提供了一种芯片测试系统，包括：测试室，所述测试室设置有门；位于所述测试室内的测试头，所述测试头用于在芯片测试期间与所述芯片接触以向所述芯片提供与热测试和冷测试相对应的温度；冷却液管路，所述冷却液管路用于向所述测试头提供冷却液以调节所述测试头所提供给所述芯片的温度；无油空气压缩机，所述无油空气压缩机用于生成无油空气并且通过管道将所生成的无油空气吹送到所述测试室内；以及控制单元，所述控制单元被配置为确定测试阶段处于热测试阶段还是冷测试阶段，并且基于所确定的测试阶段来控制所述测试室的门的开或关以及控制所述无油空气压缩机(14)是否向所述测试室内吹送无油空气。
测试头无油无油空气压缩机测试阶段测试室测试芯片测试系统冷却液管路热测试室内芯片本实用新型空气用量芯片测试芯片接触冷却液吹送配置