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[发明专利]一种符合设计目标的复合膜形成方法及半导体器件-CN202310467377.7在审
发明人：秦岩;刘鹏;李乾伟 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种符合设计目标的复合膜形成方法及半导体器件，复合膜由多层薄膜层叠而成，设复合膜预设目标控制值，依次形成除顶层膜外的各层薄膜，并分别测得各层薄膜的性能参数，在薄膜沉积设备中预设多个所形成薄膜厚度范围不同的工艺程序，根据复合膜预设目标控制值与各层薄膜性能参数之和两者之间的差值，计算出顶层膜的预期厚度，根据预期厚度所在范围来确定薄膜沉积设备形成顶层膜时所执行的工艺程序。本发明复合膜形成方法中，顶层膜的形成作为复合膜的动态补偿调节环节，操作可控性强，按此方法所形成的复合膜十分接近复合膜的设计目标值，增加了各批次质量的一致性，能够显著提升半导体器件的生产合格率。
一种符合设计目标复合形成方法半导体器件

[发明专利]半导体器件及其制备方法-CN202310714811.7在审
发明人：秦永星;刘鹏;李乾伟;秦岩 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件及其制备方法。其中，所述方法包括：提供若干个晶圆，晶圆的正面涂覆有保护膜，且晶圆的背面形成有金属层；将若干个晶圆间隔堆叠于加热管内，且加热管的腔内壁预先粘附有保护膜；采用第一温度加热晶圆，使得部分保护膜挥发并均匀分布于加热管的腔内。基于此，在加热晶圆的过程中，晶圆正面和加热管的腔内壁的部分保护膜均会挥发。且因加热管内气流的流动，晶圆正面的保护膜挥发的部分主要分布于晶圆的中心区域，边缘区域较少。加热管的腔内壁的挥发的保护膜则可弥补晶圆边缘区域挥发成分少的问题，使得保护膜的挥发成分在加热管的腔内均匀分布，则金属层各处接触的挥发成分量均衡，避免了金属层出现色差，提高目检结果。
半导体器件及其制备方法

[实用新型]一种旋转工作台-CN202221000982.0有效
发明人：盛忠园;刘葳;郭传力;李乾伟;徐铮;马建立;崔剑林;赵文洲;臧磊;权好;付得意;丁海昌;邹佳 -专利权人：北京智源新能电气科技有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： B66F19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转工作台，包括电控系统、液压系统以及设备主体，所述设备主体由设备框架和翻转平台构成，所述设备框架的一侧表面上端与所述翻转平台转动连接，所述设备框架与所述翻转平台之间通过所述液压系统传动，所述电控系统用于控制所述液压系统，本实用新型通过设置设备框架与翻转平台，翻转平台通过液压系统传动，通过电控系统控制液压系统，从而控制翻转平台翻转，对翻转平台上的货物进行90°翻转，装置结构简单，且操作方便，利于推广。
一种旋转工作台

[实用新型]一种立式组装平台-CN202220952289.7有效
发明人：盛忠园;刘葳;郭传力;李乾伟;徐铮;马建立;崔剑林;赵文洲;臧磊;权好;付得意;丁海昌;邹佳 -专利权人：北京智源新能电气科技有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B65G47/248 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式组装平台，立式翻转平台内装配有液压驱动结构，立式翻转平台上表面铺设有绝缘台面，立式翻转平台右端装配有触发开关结构，立式翻转平台前壁固定装配有控制器，控制器分别与液压驱动结构和触发开关结构电连接；设计的立式组装平台，通过液压驱动结构对立式翻转平台的翻转进行驱动，通过控制器对翻转的开启、关闭和急停进行控制，通过触发开关结构对工作台板处于竖直状态时进行触发式停止控制，使得货物处于竖直状态时的液压泵的电机停止工作，可实现自动控制系统，避免了因重型货物造成人身伤害、误伤等危险因素，代替人力操作可以减少人工成本。
一种立式组装平台

[发明专利]偏心轮滑块传动式自保持电控开关-CN201611261706.9有效
发明人： 李乾伟 -专利权人： 李乾伟
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H01H3/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种偏心轮滑块传动式自保持电控开关，包括外壳，所述外壳内设有：驱动机构，与偏心轮铰接，用于驱动偏心轮发生偏转；传动滑块，设于外壳上，外壳上设有滑槽，传动滑块设于所述滑槽内受偏心轮的作用沿直线方向滑动，传动滑块的轴向两端均设有限位块，两个限位块分别为第一限位块和第二限位块；偏心轮，通过偏心轮支撑轴转动连接于外壳上，包括第一抵接面和第二抵接面，第一抵接面用于与第一限位块配合实现开关组件的分闸，第二抵接面与第二限位块配合实现开关组件的合闸，偏心轮具有分闸工作位和合闸工作位。本发明通过偏心轮动力滑块传动技术，消除了现有的电控开关存在的耗电保持、工作运行稳定性差及维护成本高的缺陷。
偏心轮传动保持开关

[实用新型]一种高散热防雨配电柜-CN201721157974.6有效
发明人：谢丽莉;苏健伟;陈裕榜;杨闽伟;柯小强;李乾伟 -专利权人：国网福建泰宁县供电有限公司
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： H02B1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高散热防雨配电柜，包括配电柜柜体，所述配电柜柜体的上端安装有防水盖，且防水盖的内部安装有排风扇，所述配电柜柜体的前表面安装有防护门，所述防护门的前端安装有门把手，所述配电柜柜体的左右两侧安装有侧板，所述侧板的上方安装有散热板，且散热板的上端设置有透风网，所述透风网的外侧安装有防水帽，所述配电柜柜体的底端安装有底座，所述底座由下座和上座组成，且下座的外侧设置有出气孔，所述上座的内部设置有排气孔。本实用新型不但具有防水作用，同时还能够起到一定的防晒作用。同时排风扇形成的风流实现往复环流，使柜体能够进行快速降温，具有较强的散热效果。
一种散热防雨配电柜

[实用新型]偏心轮滑块传动式自保持电控开关-CN201621489596.7有效
发明人： 李乾伟 -专利权人： 李乾伟
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： H01H3/42 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种偏心轮滑块传动式自保持电控开关，包括外壳，所述外壳内设有驱动机构，与偏心轮铰接，用于驱动偏心轮发生偏转；传动滑块，设于外壳上，外壳上设有滑槽，传动滑块设于所述滑槽内受偏心轮的作用沿直线方向滑动，传动滑块的轴向两端均设有限位块，两个限位块分别为第一限位块和第二限位块；偏心轮，通过偏心轮支撑轴转动连接于外壳上，包括第一抵接面和第二抵接面，第一抵接面用于与第一限位块配合实现开关组件的分闸，第二抵接面与第二限位块配合实现开关组件的合闸，偏心轮具有分闸工作位和合闸工作位。本实用新型通过偏心轮动力滑块传动技术，消除了现有的电控开关存在的耗电保持、工作运行稳定性差及维护成本高的缺陷。
偏心轮传动保持开关

[实用新型]自恢复过压过流保护装置-CN201420361367.1有效
发明人： 李乾伟;钟方强;张宝明;吴一凡;周围 -专利权人：杭州乾龙伟业电器成套有限公司
申请日： 2014-07-01 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： H02H9/02 文献下载
摘要：一种自恢复过压过流保护装置，由电压检测与过压信号输出电路（1）、限流电路（2）、短路开关（3）组成，电压检测与过压信号输出电路的输入端接在市电输入端及公共端之间，限流电路串联在市电输入端与市电输出端之间，短路开关的两个输出端并联在市电输出端与公共端之间，电压检测与过压信号输出电路的输出端与短路开关的控制端相连，公共端与市电零线连接。本装置对负载进行有效的过压和过流保护，并实现自恢复，电路结构简单，响应速度快。
恢复保护装置

[实用新型]电源切换开关的机械互锁机构-CN201320127023.X有效
发明人： 李乾伟;董勇 -专利权人：杭州乾龙伟业电器成套有限公司
申请日： 2013-03-19 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01H9/20 文献下载
摘要：一种电源切换开关的机械互锁机构，包括滑块(1)和槽形座(7)两部分，每个滑块由一条滑条(5)、一片推片(2)和二片或三片挡片(3)组成一体，推片及挡片都与滑条相垂直，推片高度大于挡片高度，推片的一侧端面为斜面，每条滑条开有两个盾形或槽形滑孔(6)，滑条一端连接有复位弹簧(9)，二至四个滑块的滑条侧向水平紧贴安装于槽形座内，槽形座两侧在滑条上的滑孔的对应位置上开有两个销孔并插有两个插销(8)。本互锁机构应用于多路电源切换开关的机械互锁，结构更简单，能够实现二路及二路以上电源切换开关的互锁，应用面宽，易加工、成本低。
电源切换开关机械互锁机构

[实用新型]平衡特性改良型剩余电流互感器-CN201320125552.6有效
发明人： 李乾伟;董勇 -专利权人：杭州乾龙伟业电器成套有限公司
申请日： 2013-03-19 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01F38/30 文献下载
摘要：一种平衡特性改良型剩余电流互感器，由环形铁芯(3)、缠绕于环形铁芯外的二次侧线圈(2)和包覆于环形铁芯和二次侧线圈外的导磁平衡罩(1)组成，导磁平衡罩上的开口间隙(4)开在该罩(1)的外圆周侧壁上，该罩(1)的内圆周侧壁为双层的交叉贴合壁(5)。本实用新型对现有的通用电流互感器进行两方面的改进，一是将开口间隙(4)从导磁平衡罩(1)的内圆周壁移至外圆围壁，一定程度上消除了一次侧导线与二次侧导线直接耦合的途径，提高了电流互感器的平衡特性；二是将内圆周侧壁改进为双层的交叉贴合壁(5)，进一步消除了直接耦合的途径，电流互感器的平衡特性更有所提高。
平衡特性改良剩余电流互感器

[实用新型]断路器旋转式双断点动触头-CN201220564063.6有效
发明人： 李乾伟;童咏;周围 -专利权人：杭州乾龙伟业电器成套有限公司
申请日： 2012-10-30 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： H01H73/04 文献下载
摘要：一种断路器旋转式双断点动触头，包括触桥、触点、触头拉簧和支架，触桥(1)为三合一结构，中间有类S形村板(12)，前后侧有前夹板(13)和后夹板(11)，触桥(1)的上方有跨于前后夹板(13、11)外的动触头支架(10)，该支架上有与脱扣机构配合用的连接轴(15)及其安装孔(16)，触桥(1)两端有固定触头拉簧(2)的外拉杆(19)和内拉杆(3)，外拉杆和内拉杆的两端分别安装在前夹板(13)和后夹板(11)上的外孔(21)和内孔(4)中，触桥的中心部有中心轴(7)与中心孔(6)，两端各有一个动触点(14)，触桥两端的外侧各有两块曲臂(20)，以中心孔(6)为中心，触桥的左半部与右半部中心对称。本动触头的构件结构简单、制作容易，生产成本低。
断路器旋转断点动触头

[实用新型]低压电网三相电流平衡装置-CN201220565802.3有效
发明人： 李乾伟;周围;童咏;陈立荣 -专利权人：杭州乾龙伟业电器成套有限公司
申请日： 2012-10-30 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： H02J3/14 文献下载
摘要：一种低压电网三相电流平衡装置，由一个相间负荷调整管理器(1)及至少一个调整装置(2)构成，相间负荷调整管理器由三相电流互感器(TA、TB、TC)、三相负荷计算与分析电路(1-1)和通信电路(1-2)构成，调整装置由单相电流互感器(T)、通信电路(2-1)、切换开关(2-2)、分析与切换控制电路(2-3)构成，相间负荷调整管理器(1)安装在需平衡三相电流的电源输出端，调整装置(2)安装在单相负载线路的输入端。本装置结构简单、成本低、易推广，切换开关灵敏度高、分断能加强，不需另设压力保持机构。
低压电网三相电流平衡装置

[实用新型]卡扣式快速连接软管接头-CN201120476455.2有效
发明人：朱永真;廖辉;李乾伟;仲梁维 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2011-11-25 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H02G3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种快速连接装置，具体涉及一种主要用于机车电缆连接的卡扣式快速连接软管接头。本实用新型卡扣式快速软管接头的目的是实现软管接头的快速装卸，其包括锁紧件以及定位件，锁紧件上设有凸台和钩爪，定位件上设有与锁紧件上凸台的位置和形状对应的凹槽以及与锁紧件上钩爪的位置和形状对应的沟槽。通过凸台和凹槽以及钩爪和沟槽的配合将锁紧件与定位件可拆分地连接在一起。本实用新型结构简单、装卸快捷，能够快速地插入和拔出，同时具有防水、防松、有较强抗拉能力等优点。
卡扣式快速连接软管接头

[实用新型]低压电网监控终端开关-CN201120058940.8有效
发明人： 李乾伟;王光德 -专利权人： 李乾伟
申请日： 2011-03-01 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： H01H71/02 文献下载
摘要：一种低压电网监控终端开关，包括有空气开关及其进线桩和出线桩(1)、静触头和动触头、灭弧室(12)、控制电路板(11)、互感器(2)，还有分别与动触头(15)支架和永磁机构(17)伸出轴连接的斥动分断装置(16)，永磁机构(17)和斥动分断装置(16)安装在底座(14)的左侧，上盖(10)的侧边上有485接口(5)和天线接口(4)，终端开关控制盒(8)的顶面上有液晶显示屏(7)、指示灯和按钮。本实用新型涉及一种应用于低压电网的监控终端的智能开关，具有分合闸灵敏、快捷、灭弧性好、可频繁操作、使用寿命长的优点，终端开关控制盒的配套应用与多种接口的设置，使功能全面、智能化程度高、扩展性好。
低压电网监控终端开关

[发明专利]断路器的减压斥动分断装置-CN201010110028.2有效
发明人： 李乾伟 -专利权人： 李乾伟
申请日： 2010-02-11 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： H01H71/10 文献下载
摘要：一种断路器的减压斥动分断装置，包括动触头(1)、触点(2)、动触头转轴等，其动触头(1)与弹簧(25)居中，两侧由内到外依次有结构相同、对称分布的内支架(4)、减压杆(18)和连杆A(6)、外支架(13)、锁扣板(16)和连杆B(22)、连杆C(23)及最外层的挡板(21)，动触头(1)与两侧的内支架(4)铆合，内支架上有轴A的槽形轴孔(5)和短轴B的圆形轴孔，将内外支架、连杆A(6)、弹簧(25)串接起来，轴C将外支架(13)、弹簧(25)串接起来，轴D和轴E也各自串接相关部件，组成的本装置在断路器中与静触头配套使用，当短路电流引起电动斥力时，能将动、静触点迅速有效分离，灵敏度高、燃弧时间短、触点使用寿命长。
断路器减压斥动分断装置

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