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- [发明专利]一种工艺腔设备、晶圆传送系统及晶圆传送方法-CN202310415933.6在审
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孟利园;李西军;李世慧
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西湖大学
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2023-04-17
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2023-07-18
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H01L21/68
- 一种工艺腔设备、晶圆传送系统及晶圆传送方法,工艺腔设备包括:工艺腔室;位于工艺腔室的内部的基座,基座中具有贯穿基座的开口;顶针,位于所述开口中且能沿着开口上下往复运动,顶针适于支撑晶圆;位置校正单元,位置校正单元包括第一驱动单元和若干个晶圆限位件,所述若干个晶圆限位件位于所述工艺腔室内且高于所述基座,所述若干个晶圆限位件围绕所述基座的中心轴周向排布,所述第一驱动单元用于驱动所述晶圆限位件沿着平行于基座的上表面的中心至边缘的方向往复移动,以使得晶圆限位件与晶圆的侧壁在接触状态和间隔状态之间切换。所述工艺腔设备对传输晶圆过程中晶圆的位置偏差的校正能力提高。
- 一种工艺设备传送系统方法
- [实用新型]一种干衣机门锁机构-CN202222909465.1有效
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李世慧;万明丰;潘奎富;孙禄善
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乐清市九洲电子有限公司
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2022-11-02
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2023-04-14
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E05B65/00
- 本实用新型公开了一种干衣机门锁机构,其特征在于:包括外壳体和对插杆,所述外壳体具有内腔,所述外壳体上开设有与其内腔连通的开口,所述外壳体内部铰接有摇杆,所述摇杆上具有第一延伸臂和第二延伸臂,第一、第二延伸臂围出放置槽,所述摇杆与扭簧的第一簧臂连接,所述扭簧的第二簧臂卡装在外壳体内部的卡槽内,所述扭簧的密绕圈悬空于所述外壳体的内部,当所述对插杆未插入外壳体内时,所述放置槽呈倾斜设置,且所述放置槽的进端与所述外壳体的开口对准。本实用新型可以实现摇杆摆动到位后的定位,不需要再额外设置锁紧控制开关,使得其结构更加简单,且使用更加便捷。
- 一种机门机构
- [实用新型]一种旋转开关-CN202223259100.5有效
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李世慧;万明丰;潘奎富;孙禄善
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乐清市九洲电子有限公司
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2022-12-06
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2023-04-14
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H01H19/14
- 本实用新型公开了一种旋转开关,包括外壳体,在外壳体内设置有转动杆,转动杆与转动盘连接,在转动盘的侧壁设置有第一凹槽和第二凹槽,在外壳体的内部设置有弹片,弹片的外凸部可卡入到第一凹槽和第二凹槽内,外壳体内固定安装有第一、第二、第三插片,第一插片上设置有第一、第二延伸簧片,第一延伸簧片上设置有第一动触头,第二延伸簧片上设置有第二动触头,第二插片上设置有与第一动触头对应的第二静触头,第三插片上设置有与第二动触头对应的第二静触头,转动盘的底部设置有可挤压第一延伸簧片的第一凸起,以及可挤压第二延伸簧片的第二凸起。本实用新型能够实现旋转控制开关的通断,并保证开关旋转后的定位,其整体的组装方便,错装概率低。
- 一种旋转开关
- [实用新型]一种干衣机门控制开关-CN202223023133.X有效
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李世慧;万明丰;潘奎富;孙禄善
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乐清市九洲电子有限公司
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2022-11-15
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2023-04-07
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D06F58/20
- 本实用新型公开了一种干衣机门控制开关,包括外壳体,在外壳体上设置有第一插片、第二插片和第三插片,第一插片的一端与动簧片连接,动簧片上设置有动触头,第二插片具有第一L形连接部,第一L形连接部上设置有第一静触头,第三插片上具有第二L形连接部,第二L形连接部上设置有第二静触头,第一、第二静触头呈左右设置,动触头位于第一、第二静触头之间,外壳体上活动设置有按钮,按钮的底部具有压座,压座与弹簧的一端紧压,弹簧的另一端与外壳体的内壁紧压,压座上具有挤压部,挤压部可挤压动簧片,带动动簧片进行摆动。本实用新型结构简单,设计合理,能够实现开关的按压式控制,同时能够实现开关的自动化复位作业,操作更加简单。
- 一种机门控制开关
- [实用新型]一种能量调节器-CN202223023149.0有效
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李世慧;万明丰;潘奎富;孙禄善
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乐清市九洲电子有限公司
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2022-11-15
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2023-03-28
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H01H37/52
- 本实用新型公开了一种能量调节器,包括壳体,在所述壳体上设置有旋转柄,其特征在于所述旋转柄与转动盘连接,所述转动盘的底部在靠近外侧壁处具有向下延伸的第一挤压凸起,所述第一挤压凸起的一侧具有第一斜面,所述壳体上安装有外伸的第一插片和第二插片,所述第一插片与动簧片连接,所述动簧片与双热金属片连接,所述第一斜面可挤压所述双热金属片下摆,所述动簧片的一端具有动触头,所述第二插片与静簧片连接,所述静簧片的一端具有可与动触头接触配合的静触头。本实用新型结构简单,设计合理,可以实现开关的连续通断供电,并可以转动调节通断供电的空占比。
- 一种能量调节器
- [实用新型]一种反向线性电机-CN202222812197.1有效
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李世慧;万明丰;潘奎富;孙禄善
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乐清市九洲电子有限公司
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2022-10-25
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2023-03-24
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H02K7/00
- 本实用新型公开了一种反向线性电机,包括外壳体,其特征在于还包括设置在外壳体内部的温包体,所述温包体的一端与外壳体内的定位台阶相抵,所述温包体的侧壁贴合地设置有圆形或方形的热敏电阻,热敏电阻(7)通过导热胶粘接在温包体上所述热敏电阻与接线插头连接,所述温包体的内腔填充有固态蜡,所述温包体上活动设置有推杆,所述推杆对温包体的内腔进行封堵,所述推杆与移动座相抵的一端,所述移动座的另一端与复位弹簧相抵,所述移动座上设置有定位部,所述复位弹簧套装在所述定位部上,所述定位部上开设有圆形孔,所述移动座上卡装有拉动件,所述拉动件与复位弹簧呈反向设置。本实用新型能够实现线性拉动功能,且工作稳定性好、装配方便。
- 一种反向线性电机
- [实用新型]一种蜂鸣器-CN202222811625.9有效
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李世慧;万明丰;潘奎富;孙禄善
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乐清市九洲电子有限公司
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2022-10-25
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2023-03-21
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G10K9/13
- 本实用新型公开了一种蜂鸣器,具有壳体(2),所述壳体(2)上安装有触头组(5),所述触头组(5)部分外露于壳体(2),其特征在于:所述壳体(2)的内部设置有安装座,所述安装座具有上座体(10)和下座体(15),上、下座体之间通过连接柱(14)进行连接,所述连接柱(14)中部开设有通孔(16),所述通孔(16)内活动设置有铁芯(17),所述连接柱(16)外套装有电磁线圈,所述触头组(5)安装在上座体(10)上,在所述下座体(15)上设置有弹片(18),所述弹片(18)延伸至所述通孔(16)的一端。本实用新型结构简单,设计合理,生产组装十分方便,持续通电就能够实现蜂鸣警报。
- 一种蜂鸣器
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