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[发明专利]凸块保护膜用感光性树脂组合物、半导体装置、半导体装置的制造方法和电子设备-CN201980027929.4有效
发明人：白石骏太;铃木咲子;杉山广道 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明的凸块保护膜用感光性树脂组合物包含热固性树脂、感光剂和溶剂，将在硅基板上涂敷该凸块保护膜用感光性树脂组合物之后进行干燥而得到的厚度15μm的干燥膜作为感光性树脂膜，将依次实施了曝光i线的第一处理、进行曝光后加热的第二处理和进行喷雾显影的第三处理之后的感光性树脂膜作为显影后感光膜，将实施了进行显影后加热的第四处理之后的显影后感光膜作为固化后感光膜时，由显影后感光膜提取的第一提取液的pH1为3.0～5.0，由固化后感光膜提取的第二提取液的pH2比pH1高0.1～1.0。
保护膜感光性树脂组合半导体装置制造方法电子设备

[发明专利]发光元件的制造方法及用该方法制成的发光元件-CN201180015479.0无效
发明人：楠木淳也;竹内江津;杉山广道;久保山俊治;川田政和 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： H01L33/32 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种发光元件的制造方法，在该方法中当采用激光剥离工艺制作发光元件时，在半导体层和支承基板上难以留下固定树脂层的残渣。另外，本发明的目的还在于提供一种采用本发明制造方法所制成的可靠性高的发光元件。上述目的能够通过如下方式达成：使用热分解性树脂组合物作为使半导体层固定于支承基板上的固定树脂层，并且在从支承基板上剥离半导体层时，使固定树脂层发生热分解。
发光元件制造方法制成

[发明专利]电子装置的制造方法、电子装置、电子装置封装体的制造方法、电子装置封装体-CN201080053641.3无效
发明人：川田政和;竹内江津;楠木淳也;杉山广道 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2010-11-19 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H01L23/12 文献下载
摘要：一种电子装置的制造方法，包括以下工序：在基材（基板）（11）上配置电子部件（10）的工序；设置含有热分解性的树脂而构成的立设部（13），所述立设部（13）立起设置在基材（11）的配置有电子部件（10）的面上的工序；以包埋上述电子部件（10）、覆盖上述立设部（13）的周围且从表面露出上述立设部（13）的一部分的方式设置密封件（14）的工序；加热上述立设部（13）而分解并除去上述立设部（13），从而形成贯通上述密封件（14）的孔（141）的工序；在上述孔（141）内设置导电体（15）的工序。
电子装置制造方法封装

[发明专利]电子装置的制造方法、电子装置、电子装置封装的制造方法和电子装置封装-CN201080057018.5无效
发明人：楠木淳也;竹内江津;杉山广道;久保山俊治;川田政和;二阶堂广基;前田将克 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2010-12-13 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：一种电子装置的制造方法，其特征在于，包括：固定树脂层形成工序，在支承基材表面设置固定树脂层；电子部件固定工序，在该固定树脂层上，以使相邻电子部件之间形成有间隙的方式配置多个电子部件，并通过所述固定树脂层将所述电子部件固定在所述支承基材上；密封材料层形成工序，通过密封材料覆盖所述电子部件，在所述固定树脂层和所述电子部件上，形成密封材料层；密封材料固化工序，通过对所述密封材料进行加热，使所述密封材料发生固化并被支承于所述支承基材上，获得配置有所述电子部件的电子部件配置密封材料固化物；以及剥离工序，将被支承于所述支承基材上的所述电子部件配置密封材料固化物，从所述支承基材剥离，并且在所述剥离工序中，通过使所述固定树脂层所含的树脂发生低分子化，将所述电子部件配置密封材料固化物从所述支承基材剥离。
电子装置制造方法封装

[发明专利]用于半导体晶片的暂时粘合剂以及使用所述粘合剂制造半导体设备的方法-CN201080003314.7无效
发明人：竹内江津;楠木淳也;杉山广道;久保山俊治;川田政和 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2010-06-15 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： C09J201/00 文献下载
摘要：本发明提供用于半导体晶片的暂时粘合剂，其能减少对半导体晶片的损坏、容易分离并能缩短热分解所需的时间，还提供使用所述暂时粘合剂制造半导体设备的方法。本发明提供了用于半导体晶片的暂时粘合剂，其用于将半导体晶片暂时粘结在支持基板上以加工半导体晶片，并用于在加工之后通过加热从支持基板上分离半导体晶片，所述暂时粘合剂包含树脂组合物，所述树脂组合物的失重95％的温度和失重5％的温度之间的差为1摄氏度≤(失重95％的温度)-(失重5％的温度)≤300摄氏度。
用于半导体晶片暂时粘合剂以及使用制造半导体设备方法

[发明专利]用于半导体晶片的暂时粘合剂以及使用所述粘合剂制造半导体设备的方法-CN201080003313.2有效
发明人：竹内江津;楠木淳也;杉山广道;久保山俊治;川田政和 -专利权人：住友电木株式会社
申请日： 2010-06-15 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： C09J201/00 文献下载
摘要：本发明提供了用于半导体晶片的暂时粘合剂，所述粘合剂能减少对半导体晶片的损坏、使其容易分离并能缩短热分解所需的时间，本发明还提供使用所述粘合剂制造半导体设备的方法。本发明提供的用于半导体晶片的暂时粘合剂，用于将半导体晶片暂时地粘结在支持基板上以便对半导体晶片进行加工，还用于在加工之后通过加热将半导体晶片从支持基板上分离，所述粘合剂包含树脂组合物，在通过活性能量射线照射之后所述树脂组合物的失重50％的温度降低。
用于半导体晶片暂时粘合剂以及使用制造半导体设备方法