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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN202210447269.9在审
发明人：郭基荣;权相荣;沈且燮 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：基板支承单元，支承基板；液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种；处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的液体；以及捕获模块，设置于所述处理容器，并且以抑制从所述基板飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散的方式捕获所述液体。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置及方法-CN202210439489.7在审
发明人： 权相荣;郭基荣 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了防止基板的表面变得干燥的同时处理基板的基板处理装置及方法。所述基板处理方法包括：第一喷嘴向基板的第一点的上部移动的步骤；第一喷嘴向基板上排出第一基板处理液的步骤；第二喷嘴向第一点的上部移动的步骤；以及第二喷嘴向基板上排出第二基板处理液的步骤，其中，第二喷嘴在向第一点的上部移动之前位于基板的第二点的上部。
处理装置方法