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[发明专利]一种链式机台局部刻蚀装置-CN202310936688.3在审
发明人：韩宜辰;邓剑;朱皓杰;黄胜;张岳琦 -专利权人：安徽旭合新能源科技有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种链式机台局部刻蚀装置，包括药液槽，所述药液槽顶部两侧的支板上固定安装有刻蚀下辊轮，所述药液槽顶部两侧的支板上滑动安装有刻蚀上辊轮，所述刻蚀下辊轮和刻蚀上辊轮之间设置有硅片，所述刻蚀上辊轮的上方设置有同步移动的匀流管，且匀流管的上方固定设置有滴液组件，所述药液槽顶部两侧的支板上均固定安装有升降机构，且升降机构与刻蚀上辊轮传动连接。本发明通过设置的刻蚀下辊轮和刻蚀上辊轮，可同时实现对硅片的正面局部刻蚀或正背面的同时刻蚀，使双面接触钝化的电池工艺更容易实现。
一种链式机台局部刻蚀装置

[实用新型]一种板式镀膜设备的进料腔-CN202321088462.4有效
发明人：张岳琦;韩宜辰;邢军;仇加亮;朱皓杰;黄胜;刘志梅;刘莹莹;刘云 -专利权人：安徽旭合新能源科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C26/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种板式镀膜设备的进料腔，涉及光伏行业的晶体硅太阳电池制造技术领域。包括传送带，所述传送带外壁设有进料腔，所述进料腔内部设有金属腔体，所述进料腔内部横向设有升降装置，所述升降装置设置有两组，所述升降装置包括液压缸、液压杆和载板支架，所述进料腔内部横向对称设有液压缸，所述液压缸顶部套接液压杆，所述液压杆一侧滑动设有载板支架，所述载板支架一侧设有辅助装置，该一种板式镀膜设备的进料腔，正常工作时，载板先进入进料腔的缓存支架。待缓存支架存满载板时关闭前隔离门，抽真空，平均下来，缩短了每个载板的抽真空时间，这样就降低了进料腔对镀膜设备产能的限制。
一种板式镀膜设备进料

[发明专利]一种太阳能电池局域铝背场掺杂性能的监测方法-CN202310889879.9在审
发明人： 朱皓杰;秦臻;邢军;韩宜辰;田亮 -专利权人：安徽旭合新能源科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池局域铝背场掺杂性能的监测方法，S1、对电阻率为0.4‑1.1Ω·cm的单晶原硅片进行抛光处理；S2、在完成抛光处理的所述单晶原硅片表面进行铝浆印刷与烧结；S3盐酸清洗、S4水洗烘干、S5掺杂性能测试；通过碱抛后局部印刷铝浆经烧结后形成铝背场，使用酸溶液把铝浆清洗掉，就可以测试铝背场的掺杂性能，解决了PERC电池激光开膜局域铝背场无法测试掺杂性能的问题；此方法流程简单，耗时短，能够快速简便的分析电池片铝背场的掺杂性能；使用测试分析仪器都是产线常规仪器，不增加生产成本；通过方阻与掺杂浓度表征可以直观反映铝背场P/P+结势垒的强弱，为铝浆优化及电池片效率提升指明方向。
一种太阳能电池局域铝背场掺杂性能监测方法