专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种快速排液阀装置-CN202321061239.0有效
  • 叶曲波;王文和;朱伟然 - 思恩半导体科技(苏州)有限公司
  • 2023-05-06 - 2023-10-03 - F16K31/122
  • 本实用新型公开了一种快速排液阀装置,其涉及排液阀技术领域,旨在解决现有的排液方式管路连接较多且复杂,若要满足快速排液要求,则需较大的管径,相应的接头和弯头也较大,容易导致设备体积增大,以及在对大型溶液槽排液时,支撑板支撑距离过长,无法支撑装满溶液的溶液槽,更换高强度支撑板则会增大成本的问题,其技术方案要点包括气缸,所述气缸的一端外部螺纹连接有第二盖板,所述第二盖板的外部螺纹连接有固定座,所述固定座的端面以及侧表面上均设置有通孔,所述气缸的内部滑动连接有活塞杆。达到了能在实现快速排液时,避免过多的管路,同时无需过长的支撑结构,成本造价低的效果。
  • 一种快速排液阀装置
  • [实用新型]一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置-CN202123014389.X有效
  • 王文和;蔡永礼;朱伟然;卢刘振;叶曲波 - 上海思恩装备科技股份有限公司
  • 2021-12-03 - 2022-05-31 - H01L21/67
  • 本实用新型涉及一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置。属于单片晶圆技术领域。其主要针对人工清洗吹扫带来的人体危害和成批清洗造成清洗均匀性不好以及吹扫取干极其不方便的问题,提出如下技术方案包括真空泵旋转机构、摆臂旋转机构、工艺槽组件和工艺槽盖组件,真空泵旋转机构连接在工艺槽组件的下方,摆臂旋转机构连接在工艺槽组件的内部。本实用新型通过设置旋转气缸、摆臂杆和直角弯头。而且同时可以满足圆片、方片和一些特殊形状晶片的清洗取干要求;解决了单片晶圆清洗后表面残留化学液的问题,极大提高了晶圆表面的洁净度,有效增加了单片清洗工艺的产量,降低了生产成本,并且它又是一个简单且易于推广的装置。
  • 一种用于尺寸单片清洗装置
  • [发明专利]一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置-CN202111463257.7在审
  • 王文和;蔡永礼;朱伟然;卢刘振;叶曲波 - 上海思恩装备科技股份有限公司
  • 2021-12-03 - 2022-02-01 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种用于超小尺寸单片晶圆的清洗取干装置。属于单片晶圆技术领域。其主要针对人工清洗吹扫带来的人体危害和成批清洗造成清洗均匀性不好以及吹扫取干极其不方便的问题,提出如下技术方案包括真空泵旋转机构、摆臂旋转机构、工艺槽组件和工艺槽盖组件,真空泵旋转机构连接在工艺槽组件的下方,摆臂旋转机构连接在工艺槽组件的内部。本发明通过设置旋转气缸、摆臂杆和直角弯头。而且同时可以满足圆片、方片和一些特殊形状晶片的清洗取干要求;解决了单片晶圆清洗后表面残留化学液的问题,极大提高了晶圆表面的洁净度,有效增加了单片清洗工艺的产量,降低了生产成本,并且它又是一个简单且易于推广的装置。
  • 一种用于尺寸单片清洗装置
  • [实用新型]一种全自动磁环蒸汽清洗设备-CN202021309456.3有效
  • 李蒙;朱伟然;胡乐 - 上海思恩装备科技股份有限公司
  • 2020-07-06 - 2021-08-10 - B08B3/04
  • 本发明提出一种全自动磁环蒸汽清洗设备,将磁环放置在承载母篮内,有电气控制器控制清洗、漂洗、干燥过程,包括了外壳、碱清洗结构、水清洗结构、干燥结构以及蒸汽加热执行机构四,进料结构、清洗槽、漂洗槽、干燥槽以及出料结构依次组装在一起,形成设备主体部分,在设备主体部分内部安装水路系统、气路系统、蒸汽系统和电气控制器,所述的进料结构和出料结构分别连接壳体两端,所述进料结构和出料结构之间贯穿有清洗槽以及干燥槽,所述的承载母篮经进料结构输送至抓取位置进行清洗、干燥后被送至出料结构上,满足太阳能和LED等行业对磁环清洗的高效、洁净的要求。
  • 一种全自动蒸汽清洗设备
  • [发明专利]一种全自动磁环蒸汽清洗设备-CN202010640325.1在审
  • 李蒙;朱伟然;胡乐 - 上海思恩装备科技股份有限公司
  • 2020-07-06 - 2021-03-09 - B08B3/04
  • 本发明提出一种全自动磁环蒸汽清洗设备,将磁环放置在承载母篮内,有电气控制器控制清洗、漂洗、干燥过程,包括了外壳、碱清洗结构、水清洗结构、干燥结构以及蒸汽加热执行机构四,进料结构、清洗槽、漂洗槽、干燥槽以及出料结构依次组装在一起,形成设备主体部分,在设备主体部分内部安装水路系统、气路系统、蒸汽系统和电气控制器,所述的进料结构和出料结构分别连接壳体两端,所述进料结构和出料结构之间贯穿有清洗槽以及干燥槽,所述的承载母篮经进料结构输送至抓取位置进行清洗、干燥后被送至出料结构上,满足太阳能和LED等行业对磁环清洗的高效、洁净的要求。
  • 一种全自动蒸汽清洗设备
  • [发明专利]硅材料的压差湿处理装置及其处理方法-CN201110033388.1无效
  • 倪党生;朱伟然 - 上海思恩电子技术有限公司
  • 2011-01-30 - 2012-08-01 - C30B33/00
  • 本发明提供一种硅材料的压差湿处理装置,包括:压差容器;在压差容器的内部,通过支架设置有用于安放硅材料的载料构件;在压差容器的顶部设有密封盖;压差容器的壁面上设有超纯水入口,液位接口,排液接口,压缩气体接口和真空接口。另外,本发明还提供一种硅材料的压差湿处理方法,将硅材料放入容器内部,密封容器;加入超纯水浸泡硅材料;往容器内通入压缩气体保压一定时间后抽真空,如此多次反复通入压缩气体并抽真空完成对硅材料的湿处理。本发明提供的硅材料的压差湿处理装置及其处理方法能够有效清洗具有深层裂纹的硅材料;从而使得硅材料的质量大大提高,最终提高太阳能电池片的光能转电能效率,延长电池片使用寿命。
  • 材料压差湿处理装置及其方法
  • [实用新型]硅材料的压差湿处理装置-CN201120033322.8无效
  • 倪党生;朱伟然 - 上海思恩电子技术有限公司
  • 2011-01-30 - 2011-11-09 - C30B33/10
  • 本实用新型提供一种硅材料的压差湿处理装置,包括:压差容器;在压差容器的内部,通过支架设置有用于安放硅材料的载料构件;在压差容器的顶部设有密封盖;压差容器的壁面上设有超纯水入口,液位接口,排液接口,压缩气体接口和真空接口。本实用新型提供的硅材料的压差湿处理装置能够有效清洗具有深层裂纹的硅材料;从而使得硅材料的质量大大提高,最终提高太阳能电池片的光能转电能效率,延长电池片使用寿命。
  • 材料压差湿处理装置

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