专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]标记位置检测装置和标记位置检测方法-CN03142539.9无效
  • 福井达雄;山田智明;有马洋文 - 株式会社尼康
  • 2003-06-17 - 2004-01-21 - H01L21/66
  • 本发明的课题是,不限于被检测标记在装置的视野区域内的定位地点,能够相对于基板上的原点高再现性地检测出被检测标记的位置,具有:照明对象基板的照明装置(13~19);摄像装置(19~24),根据来自对象基板的反射光进行摄像,输出图像信号;测定装置25,当使用反射特性已知的标准基板作为对象基板时,根据从上述摄像装置获得的第一图像信号测定所述装置的固定图形噪声;存储装置26,存储上述固定图形的噪声;计算装置,在使用形成有被检测标记的被检测基板11作为上述对象基板时,根据从上述摄像装置获得的第二图像信号和上述存储装置中存储的上述固定图形噪声,计算上述被检测标记的位置。
  • 标记位置检测装置方法

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