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[实用新型]一种可用于不同角度扫描成像的内窥镜探头-CN202222921270.9有效
发明人：赵一鸣;郑栋;潘腾;曹英超 -专利权人：无锡微文半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： A61B1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及内窥镜探头技术领域，尤其涉及一种可用于不同角度扫描成像的内窥镜探头，所述内窥镜探头由探头筒以及插入管组成，所述探头筒的内部中间位置设置有固定板，固定板的中心通过传动轴转动连接有驱动柱，所述驱动柱的前端转动安装有安装盘，安装盘在其平面上安装光学镜头，所述驱动柱的柱体上还设置有气缸杆，所述气缸杆端部通过连接杆与所述安装盘传动连接，本实用新型解决了内窥镜探头的观察镜头无法调整，会影响观察结果的问题，本探头结构的提出，将光学镜头设置在沿轴心旋转的安装盘上，安装盘保持竖直可以用于垂直扫描，而安装盘保持倾斜状态，则可以用于不同区域的全面性扫描，观察范围明显扩大。
一种用于不同角度扫描成像内窥镜探头

[发明专利]集成磁芯的自卷曲电感-CN202211698049.X在审
发明人：杨恒张;谢会开;曹英超;丁英涛;严阳阳;单崇书 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01F17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成磁芯的自卷曲电感，用于提高磁芯填充的良率以及器件制造良率，属于MEMS加工制造领域。本发明的目的是为了优化3D自卷曲功率电感制造工艺，提高磁芯填充良率及器件制造速率，且实现器件全流程制造工艺与MEMS工艺相互兼容，提供一种集成磁芯的自卷曲电感。自卷曲电感包含衬底、磁芯、结构层下层薄膜、结构层上层薄膜、金属走线。其中，结构层下层薄膜，结构层上层薄膜和金属走线自下而上顺序堆叠于衬底上。磁芯沉积在结构层上层薄膜端部。该方案具有磁芯大小形貌可控、与MEMS工艺和IC工艺兼容、低成本、可量产等优势。
集成卷曲电感

[发明专利]基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪-CN202310390875.6在审
发明人：丁心宇;谢会开;陈超;曹英超 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪，属于光谱成像技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台阵列、光阑、图像传感器。超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩分光元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台阵列上，并实现使用半导体工艺进行MEMS可动微平台阵列加工，能够降低成像光谱仪的生产成本，提高成像光谱仪的集成度；利用MEMS可动微平台阵列将物方空间划分为多个区域进行成像，能够获得最大与阵列单元数量相同的空间分辨率，而不需要添加额外的扫描元件来获取空间分辨能力；通过灵活选择每个MEMS可动微平台单元的工作状态，获得任意大小的空间分辨率。
基于 mems 可动微平台及其阵列成像光谱仪

[发明专利]基于MEMS可动微平台的光谱检测装置及其加工方法-CN202211621634.X在审
发明人：丁心宇;谢会开;陈超;曹英超;潘腾;杨恒张 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于MEMS可动微平台的光谱检测装置及其加工方法，属于光谱分析技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台、光阑、单点探测器和信号处理系统。超表面、MEMS可动微平台、光阑、单点探测器均位于入射光光轴上。超表面用于对入射光进行分光并汇聚，超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。超表面所在平面与入射光光轴方向垂直。所述超表面用于对入射光进行聚焦，并根据波长不同，在光轴方向上不同位置产生相应焦点。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩色散元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台上，配合单点探测器即能够实现光谱信息的动态检测，无需昂贵的阵列探测器，显著降低光谱检测装置成本。
基于 mems 可动微平台光谱检测装置及其加工方法

[发明专利]二维静电扫描微镜及其制作方法-CN202211456584.4在审
发明人： 曹英超;谢会开;丁英涛;严阳阳 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开的一种二维静电扫描微镜及其制作方法，属于微光机电技术领域。本发明公开的一种二维静电扫描微镜，包括器件层、绝缘层、衬底层。器件层上包括聚合物填充电隔离沟道和开放电隔离沟道。二维静电扫描微镜基于聚合物填充沟道，实现高深宽比沟道的填充，采用与具有电绝缘和机械连接性的聚合物填充沟道，实现对沟道两侧电极的电绝缘和固化机械稳定连接，进而实现二维静电扫描微镜驱动电极间的高电压驱动；此外，采用聚合物一次填充方式实现沟道的无缝隙填充，提高沟道填充效率和成品率，降低二维静电扫描微镜制作成本。利用聚合物具有超低杨氏模量的特性，有效消除沟道内填充物与沟道结构之间的应力失配，提高二维静电扫描微镜工作稳定性。
二维静电扫描及其制作方法

[发明专利]基于熔断释放装置的双层自卷曲薄膜系统及制作方法-CN202211698055.5在审
发明人：杨恒张;谢会开;丁英涛;曹英超;严阳阳 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于熔断释放装置的双层自卷曲薄膜系统及制作方法，属于MEMS加工制造领域。本发明为熔断电阻释放薄膜结构。支撑层沉积在衬底两个端部；衬底、支撑层、结构层下层薄膜包围形成空腔结构；结构层上层薄膜沉积在结构层下层薄膜上；通过熔断电阻将结构层下层薄膜和金属电极连接。空腔结构通过牺牲层的释放形成。逐步去除支撑层，埋氧层和器件层后形成特有的空腔结构。结构层下层薄膜与结构层上层薄膜共同组成双晶片卷曲薄膜系统。两层薄膜应力相反，结构层下层薄膜为负应力，结构层上层薄膜为正应力，确保结构释放后薄膜向上卷曲。通过调节结构层下层薄膜与结构层上层薄膜应力控制薄膜卷曲形变能力；通过瞬时大电流熔断固定电阻，使薄膜在失去固定约束后产生瞬时回弹，薄膜的自由尖端在回弹中具有较大的冲量，从而使得薄膜卷曲更加致密。
基于熔断释放装置双层卷曲薄膜系统制作方法

[实用新型]一种光学探头的可拆式连接结构-CN202223099080.X有效
发明人：赵一鸣;郑栋;潘腾;曹英超 -专利权人：无锡微文半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G02B23/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学探头技术领域，尤其涉及一种光学探头的可拆式连接结构，主机侧面设置有用于插入管对接用的外框架与内框架，所述内框架的中心设置有齿轮，齿轮的两边分别设置有与其保持啮合传动的滑板，所述齿轮的旋转中心设置的旋转轴顶端联轴转动安装有凸轮盘，在所述内框架的两边对应位置处分别弹性连接有限位柱，限位柱向外弹性伸缩并插设在插入管的端口处预留的定位孔中，本实用新型解决了光学探头与主机的装拆较为不便，会影响探头检查工作进行的问题，本连接结构的提出，插入管插入主机的内外框架之间，通过两侧对称设置的可弹性伸缩的限位柱，能够有效地对该插入管进行约束，确保其位置固定，有利于检测工作的进行。
一种光学探头可拆式连接结构

[发明专利]一种低温漂静电MEMS微镜及其实现方法-CN202210493453.7有效
发明人： 曹英超;谢会开;郑栋 -专利权人：北京理工大学;重庆虹势科技有限公司;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开的一种低温漂静电MEMS微镜及其实现方法，属于微光机电(MOEMS)领域。本发明包括镜面、扭转梁、梳齿驱动器、梳齿支撑结构，电隔离沟道，焊盘和空腔，微镜结构从上到下依次为结构层、绝缘层和衬底层。本发明通过优化微镜结构调节微镜阻尼，实现对静电MEMS微镜低角度温漂补偿；利用结构层和衬底层之间的热应力补偿结构层材料硅杨氏模量引入的频率温漂，实现低频率温漂补偿；在对静电MEMS微镜进行低角度温漂补偿、低频率温漂补偿基础上，提高静电MEMS微镜工作稳定性和运动控制的精确性。本发明无需额外增加位置检测模块和反馈控制，具有结构简单、体积小、成本低、易于实现的优点。所述低温漂包括低频率温漂和低角度温漂。
一种低温静电 mems 及其实现方法

[发明专利]自卷曲可调电容器及其实现方法-CN202210674430.6在审
发明人： 曹英超;谢会开 -专利权人：北京理工大学;北京理工大学重庆微电子研究院
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01G5/04 文献下载
摘要：本发明公开的一种自卷曲可调电容器及其实现方法，属于可调电容器技术领域。本发明公开的一种自卷曲可调电容器，包括衬底、牺牲层、应力调控层、第一电极、第二电极、加热器。通过沉积两种具有不同应力的薄膜将电容做成卷曲形状，将二维的平板电容卷曲成三维卷曲结构，从而显著降低可调电容的占地面积；通过在层间加入导热电阻或电容两侧加入外部热源，增加可调电容的能量密度，利用电热驱动调节卷曲结构的曲率半径，达到调节电容的目的。本发明无需额外的牺牲层，电极层充当应力调控层，工艺简单，易于实现。本发明具有微型化、高密度的特点，能够用于集成电路中，减小电容的占地面积，进一步减小电路的面积，降低生产成本。
卷曲可调电容器及其实现方法

[实用新型]一种路桥工程用路面压实装置-CN202221985353.8有效
发明人：李英;钟远强;胡嘉琪;黄晓佳;黄结玲;冯小杏;曹英超;左超 -专利权人：广东基宏建设工程有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： E01C19/23 文献下载
摘要：本实用新型提供一种路桥工程用路面压实装置，包括底座，所述底座的两侧均固定连接有定位座，两组所述定位座的一侧均固定连接有支撑杆，两组所述支撑杆之间转动连接有压路辊，所述底座的顶部固定连接有驾驶舱，所述驾驶舱的一侧固定连接有观察窗，所述驾驶舱与底座的一侧固定连接有配电箱，所述底座的底部固定连接有两组稳定架，所述稳定架的底部转动连接有转动轴，所述转动轴的两端均固定连接有驱动轮。本实用新型提供的一种路桥工程用路面压实装置，通过设置的压路辊，在其一侧设置用于注水的注入管，能够增加压路辊的重量，便于适用于不同环境的压路，然后能够在压路完成后将其内部水液排出，进而能够便于其运输转移。
一种工程路面实装

[实用新型]一种防堵塞的市政工程管道排水装置-CN202221988208.5有效
发明人：陈惠清;冯小杏;李英;钟远强;胡嘉琪;曹英超;黄晓佳;左超 -专利权人：广东基宏建设工程有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： E03F5/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防堵塞的市政工程管道排水装置。所述一种防堵塞的市政工程管道排水装置，包括排水管，所述排水管的顶部固定套接有进水管，所述进水管的内部活动套接有过滤筛，所述过滤筛顶部的一侧固定连接有一号磁铁块，所述进水管内壁的一侧固定连接有二号磁铁块。本实用新型提供的一种防堵塞的市政工程管道排水装置具有通过设置过滤筛，当过滤筛内部严重堆积淤泥导致堵塞时，翻转过滤筛，使得过滤筛内部淤泥得以通过疏导箱流入至破碎箱内部，从而达到对过滤筛进行清洁的效果，使得过滤筛内部体积较大的杂物难以进入排水管内部再发生堵塞的问题，从而避免了清洁过滤板时难以进行拆卸的问题，使得提高了管道排水装置使用的便利性。
一种堵塞市政工程管道排水装置

[实用新型]一种节约水资源的灌溉分流装置-CN202020664184.2有效
发明人：张志章;李雪纯;胡淑蘅;赵转;王明明;杨静;曹英超;李典伦;范家喜;张烜荣 -专利权人：南京汋泽水利科技有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： F16K11/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种节约水资源的灌溉分流装置，包括分水座，所述分水座上开设有聚水腔，分水座的左侧设有三个阀门，且阀门的进水端延伸至聚水腔内，所述分水座的后侧开设有顶部和底部均为开口设置的凹槽，且凹槽的前侧内壁上固定安装有水泵，水泵的出水端延伸至聚水腔内，分水座的前侧开设有第一矩形槽，且第一矩形槽的后侧内壁上固定连接有两个限位块。本实用新型设计合理，便于对水进行分流，配合阀门的设置，能够根据不同分流灌溉需要调节阀门的大小，以节省水资源降低不必要浪费，便于对水中的杂质进行过滤并集中收集，降低水泵和阀门被杂质堵塞的风险，且便于快速取出收集的杂质和盒形过滤网进行清理，有利于使用。
一种节约水资源灌溉分流装置

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