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- [发明专利]多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法-CN200810143585.7有效
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易茂中;方勋华;葛毅成;冉丽萍;彭可
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中南大学;湖南博云新材料股份有限公司
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2008-11-13
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2009-04-22
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C04B35/83
- 本发明公开了一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法,将U形炭纤维坯体进行高温纯化预处理后沉积,热处理温度为1600~2800℃;将U形炭纤维坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行裂解增密制备出炭/炭复合坯体,裂解温度850~1200℃,时间100~400h,炉内气压0.5kPa~2.5kPa;将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工,酸洗+氯盐洗,进行高温纯化处理,处理温度为2000~2800℃;将炭/炭复合坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行表面涂层处理,裂解温度900~1300℃,时间10~100h,炉内气压1.0kPa~4.0kPa;并测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指标。本发明能制备出纯度高、电阻率随温度变化稳定、使用寿命长的大尺寸异形薄壁炭/炭复合材料发热体。
- 多晶硅炉用炭复合材料发热制备方法
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