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- [实用新型]一种可调式机械臂-CN202022586368.4有效
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蔡之良;安锦湖
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-11-10
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2021-09-14
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B08B13/00
- 本实用新型涉及一种机械臂，尤其是一种可调式机械臂，包括：臂架，臂架底部的两端均设有不少于两个的第一固定槽和第二固定槽，臂架的中部设有中间固定槽，第一固定槽和第二固定槽对称位于中间固定槽的两侧，且第一固定槽和第二固定槽分别与中间固定槽之间的间距与花篮的长度相匹配；连接板，连接板设有多个，连接板固定在臂架的内部，中间固定槽、第一固定槽和第二固定槽的一侧均设有连接板；固定底板，固定底板设有三个，分别插在中间固定槽、第一固定槽和第二固定槽内，且与连接板连接；及挂板，挂板固定在固定底板上。该机械臂通过调整挂板的位置实现快速适用不同的花篮，调整速度快，调整时间短，对生产影响小，使用方便。
- 一种调式机械
- [实用新型]清洗机机械臂齿轮胀紧装置-CN202022587264.5有效
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高维扬
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-11-10
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2021-07-13
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F16D1/08
- 本实用新型涉及一种齿轮连接装置，尤其是清洗机机械臂齿轮胀紧装置，包括胀紧套，所述胀紧套插在电机轴上，还包括：连接套，所述连接套上设有防转凸起和胀紧槽，所述防转凸起不少于一个，所述连接套的一端设有挡环，所述连接套位于所述胀紧套与齿轮之间，齿轮上设有与所述防转凸起相匹配的防转凹槽，所述防转凸起插在所述防转凹槽内；及上盖板，所述上盖板固定在电机轴上，所述胀紧套固定在所述上盖板上，齿轮位于所述上盖板与所述挡环之间。本实用新型提供的清洗机机械臂齿轮胀紧装置通过采用胀紧套和连接套共同实现齿轮的胀紧，既能保证齿轮不打滑，同时能防止齿轮轴向移动，保证的机械臂的移动精度，并且结构简单，安装方便。
- 清洗机械齿轮装置
- [实用新型]槽式清洗机机械臂安装装置-CN202022587779.5有效
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安锦湖
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-11-10
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2021-07-13
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B25J11/00
- 本实用新型涉及一种槽式清洗机，尤其是槽式清洗机机械臂安装装置，包括：侧安装架，所述侧安装架固定在底部安装架上，且与底部安装架垂直；安装底板，所述安装底板固定在侧安装架上，且平行设有两个；侧挡板，所述侧挡板上设有安装槽，所述侧挡板固定在所述侧安装架上，所述安装底板位于所述安装槽内；安装座，所述安装座固定在所述安装底板上，所述侧挡板位于所述安装座与所述安装底板之间，所述安装座沿竖直方向平行设有两个，机械臂滑动安装在所述安装座上；及齿条，所述齿条安装在所述安装座上，且与机械臂的齿轮啮合。本实用新型提供的槽式清洗机机械臂安装装置采用金属框架作为支撑，结构强度高，机械臂在移动过程中不抖动。
- 清洗机械安装装置
- [实用新型]一种升降机械臂及花篮机械臂-CN202022590141.7有效
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安锦湖;蔡之良
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-11-10
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2021-07-13
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B66C11/04
- 本实用新型涉及一种机械臂，尤其是一种升降机械臂及花篮机械臂，包括：移动架；升降臂，所述升降臂滑动安装在所述移动架上，且沿竖直方向升降，所述升降臂为矩形的箱体；升降电机，所述升降电机固定在所述移动架上；升降丝杆，所述升降丝杆转动安装在所述移动架上，且与所述升降电机连接；丝杆螺母，所述丝杆螺母滑动安装在所述升降丝杆上，且与所述升降臂连接；连接臂，所述连接臂固定在所述升降臂顶部的一侧，所述连接臂为矩形的箱体；及悬臂，所述悬臂固定在所述连接臂上。本实用新型提供的一种升降机械臂采用箱式结构，刚性好，不易变形，升降时不抖动，悬臂不下坠。
- 一种升降机械花篮
- [实用新型]ALD加热炉-CN202020392352.7有效
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姜涛;李世磊;安锦湖
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-03-24
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2021-05-18
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C23C16/455
- 本发明公开了一种ALD加热炉，包括筒状腔体，筒状腔体的两端设置分别设置前炉门和后炉门，筒状腔体内部设置有导流腔，在前炉门处设置进气组件，所述进气组件包括一个导流腔门、外层均流板以及内层均流板，内腔门上与外层匀流板对应位置有凹陷，形成一个圆形的薄进气室。内、外层匀流板之间通过螺栓、垫片分开一定间隔，前炉门关闭状态下，内、外层匀流板与内腔体侧壁又形成一个方形进气室。内、外层匀流板上等距分步大小相同圆形气孔，内层匀流板孔径略小于外层匀流板，以便气流分散通过。通过均匀进气系统向衬底或其他反应基底均匀输送前驱体，从而使反应物快速覆盖衬底或上一原子层，有效提高材料生长的均匀性，使前驱体绝大部分用于成膜。
- ald加热炉
- [实用新型]ALD真空炉加热结构-CN202020392280.6有效
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安锦湖;姜涛;李世磊
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-03-24
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2021-05-14
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种ALD真空炉加热结构，包括若干加热模组以及固定组件，所述加热组件包括加热盘管以及固定板，加热盘管贴合在固定板上，加热组件的一端固定在其中一个炉门上，固定组件多个包括筋条，筋条位于加热腔体内侧靠近另一个炉门；每个筋条包括两个折板，两个折板互相垂直；固定板与筋条一一对应，固定板的端部贴合在筋条的其中一个折板上，在该筋条的另一个折板上设置有螺孔，通过螺孔在该折板上设置一个连接块，连接块呈“L”型，连接块上设置有螺钉和螺母组件，螺钉可旋紧从而将固定板和对应的折板抵住从而进行固定。活动快安装拆卸均较为方便，活动块具有可调节性，保证加热模组能够在需要的位置有效固定。
- ald真空炉加热结构
- [实用新型]硅片清洗装置-CN202020392477.X有效
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姜涛;李世磊
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-03-24
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2020-12-08
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B08B3/10
- 本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括清洗槽，其中设置清洗液，清洗槽上方设置有花篮固定装置，花篮固定装置可带动位于其中的花篮上下移动，所述花篮固定装置下方设置有罩板，所述花篮固定装置在竖直方向的投影落在罩板在竖直方向的投影范围内；所述罩板包括左半部分和右半部分，两部分均倾斜设置，且两者之间关于竖直平面对称设置。进一步的，所述清洗槽顶部两侧设置有风幕机，风幕机形成水平的帘门将清洗槽和其外部隔开。此处设置罩板第一可以防止清洗液蒸汽上浮后二次污染硅片，减少水纹产生，且水沿斜板运动减少慢慢提拉运动过程中运动阻力的问题，使液体在慢慢提拉过程中保持相对静止。
- 硅片清洗装置
- [发明专利]硅片清洗装置-CN202010213564.9在审
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李世磊;姜涛
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-03-24
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2020-06-16
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B08B3/10
- 本发明公开了一种硅片清洗装置，包括清洗槽，其中设置清洗液，清洗槽上方设置有花篮固定装置，花篮固定装置可带动位于其中的花篮上下移动，所述花篮固定装置下方设置有罩板，所述花篮固定装置在竖直方向的投影落在罩板在竖直方向的投影范围内；所述罩板包括左半部分和右半部分，两部分均倾斜设置，且两者之间关于竖直平面对称设置。进一步的，所述清洗槽顶部两侧设置有风幕机，风幕机形成水平的帘门将清洗槽和其外部隔开。此处设置罩板第一可以防止清洗液蒸汽上浮后二次污染硅片，减少水纹产生，且水沿斜板运动减少慢慢提拉运动过程中运动阻力的问题，使液体在慢慢提拉过程中保持相对静止。
- 硅片清洗装置
- [发明专利]ALD加热炉-CN202010213002.4在审
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李世磊;姜涛;安锦湖
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无锡市正罡自动化设备有限公司
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2020-03-24
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2020-06-12
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C23C16/455
- 本发明公开了一种ALD加热炉，包括筒状腔体，筒状腔体的两端设置分别设置前炉门和后炉门，筒状腔体内部设置有导流腔，在前炉门处设置进气组件，所述进气组件包括一个导流腔门、外层均流板以及内层均流板，内腔门上与外层匀流板对应位置有凹陷，形成一个圆形的薄进气室。内、外层匀流板之间通过螺栓、垫片分开一定间隔，前炉门关闭状态下，内、外层匀流板与内腔体侧壁又形成一个方形进气室。内、外层匀流板上等距分步大小相同圆形气孔，内层匀流板孔径略小于外层匀流板，以便气流分散通过。通过均匀进气系统向衬底或其他反应基底均匀输送前驱体，从而使反应物快速覆盖衬底或上一原子层，有效提高材料生长的均匀性，使前驱体绝大部分用于成膜。
- ald加热炉
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