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[发明专利]一种晶圆级玻璃通孔TGV检测及工艺参数优化方法-CN202310694345.0在审
发明人： 方艳阳;潘红日;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆级玻璃通孔TGV检测及工艺参数优化方法，该方法包括激光诱导孔的检测步骤，蚀刻后TGV通孔的检测步骤，以及工艺参数的优化步骤。本发明的有益效果是：本发明克服了传统显微检测不能通过玻璃顶面检测通孔全貌的弊病，充分借助正在使用的生产设备和检测设备，通过使用便捷的方式制作并检测微孔纵剖面的方法获得了较为完善的检测数据，通过对检测数据的统计学处理，结合实际生产需要对处理过的数据进行优选，即可得出最佳工艺参数。将已确定的最佳工艺参数逐一代入下一轮优化过程，可进一步获得剩余工艺参数的优化，此过程不断循环，最终可获得全部工艺参数的优化，也可以只选择最关注的工艺参数进行优化。
一种晶圆级玻璃 tgv 检测工艺参数优化方法

[实用新型]一种硅片治具-CN202321213683.X有效
发明人： 方艳阳;周建红;潘红日 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片治具，包括底板和承托板，底板的内部设有若干风道，底板的上表面设有若干与风道相连通的风孔I；承托板位于底板的上方并与底板固定连接，承托板由耐高温、不含金属成分或含金属成分但受热后不与硅片发生物质交换的材料制成，承托板上设有上下贯通的且与风孔I相互匹配的风孔III，风道通过负压吸风装置提供吸力从而使风孔III吸附硅片，进而将硅片固定于承托板上。本实用新型中硅片的固定方式为真空吸附柔性固定方式，固定效果好，且不易造成硅片的损坏，在太阳能电池激光掺杂SE过程中伴生温度大于100℃时，承托板不与硅片的底部发生物质交换，从而保证硅片的纯度，提高硅片的生产质量，降低报废率，从而也节省了生产成本。
一种硅片

[发明专利]一种制作玻璃微流控芯片的方法-CN202310772923.8在审
发明人：张立;方艳阳;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种制作玻璃微流控芯片的方法，包括：第一步：用激光区域选择性辐照改性蚀刻方法制作载玻片；第二步：用激光区域选择性辐照改性蚀刻方法制作微流道结构；第三步：用激光区域选择性辐照改性蚀刻方法制作盖板；第四步：低温键合；第五步：用激光区域选择性辐照改性方法整体切割外形；第六步：机械或手工裂片。本发明的有益效果是：本发明方法中所使用的设备简单、操作方便、无需特殊工作环境，与曝光方法制作微流道结构相比，减少了数个中间环节，大幅缩短了微流控芯片的制作周期，显著降低微流控芯片成本。
一种制作玻璃微流控芯片方法

[发明专利]一种厚玻璃结构件的加工方法-CN202310772911.5在审
发明人： 方艳阳;张立;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种厚玻璃结构件的加工方法,包括激光区域选择性辐照改性及化学湿法蚀刻两个环节。本发明的有益效果是：本发明采用了激光区域选择性辐照改性蚀刻的技术取代现有的激光烧蚀直接去除材料，贝塞尔光束激光切割结合机械或二氧化碳激光裂片两种技术，本发明在材质适应性、加工速度、加工质量、加工效率等方面均有较大提升。
一种玻璃结构件加工方法

[发明专利]一种MEMS光学级空腔盖板加工方法-CN202310675002.X在审
发明人： 方艳阳;张立;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及激光诱导蚀刻技术领域，特别涉及一种MEMS光学级空腔盖板加工方法。其包括以下步骤：S1.选取所需尺寸的光学盖板，将表面清洗干净；S2.采用PVD工艺在光学盖板表面沉积金属膜；S3.在光学盖板的一侧单面涂覆负性光刻胶；S4.将含有图样的盖板覆盖在光刻胶表面进行曝光、显影，露出图形化的金属层，S5.蚀刻金属膜制作掩膜板；S6.将高功率红外激光调制为空间结构光，辐照掩膜板表面，同时在Z轴方向上升降；S7.采用湿法蚀刻将改性部分蚀刻至所需深度，通过控制辐照改性区深度及调整蚀刻时间以控制蚀刻深度；S8.除去光刻胶，除去金属膜，获得光学级空腔盖板。此方法采用设备成本低，加工速度快，尺寸形貌准确，型腔完全透明，工艺安全环保。
一种 mems 光学空腔盖板加工方法

[发明专利]一种轴向匀化无衍射光学系统-CN202310778423.5在审
发明人：张立;方艳阳;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明提供了一种轴向匀化无衍射光学系统，包括准直镜、平板锥透镜、共轭成像系统，所述准直透镜、所述平板锥透镜与所述共轭成像系统精准同轴，所述平板锥透镜位于所述准直镜和所述共轭成像系统之间。本发明的有益效果是：本发明的轴向匀化无衍射光学系统实现焦深范围内激光束光强轴向均匀分布，应用于激光玻璃切割、TGV激光诱导蚀刻，可以细化诱导微孔孔径，提高深径比，改善微孔锥度，提高孔壁光洁度，提升微孔加工效率。
一种轴向匀化无衍射光学系统

[发明专利]一种玻璃晶圆微孔加工方法-CN202310772934.6在审
发明人： 方艳阳;张立;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本发明提供了一种玻璃晶圆微孔加工方法，包括加工步骤，所述加工步骤包括如下步骤：步骤S1：通过激光光学加工系统对玻璃晶圆进行加工，在玻璃晶圆上形成诱导孔或诱导路径；步骤S2：将具有诱导孔或诱导路径的玻璃晶圆放入支架内，将支架放入超声波设备内，将无氟蚀刻液倒入超声波清洗槽，无氟蚀刻液浸没玻璃晶圆，然后开启超声波设备，按照工艺对照表中孔径对应的参数设定相应的温度、压力、频率以及蚀刻时间。本发明的有益效果是：本发明以激光光学加工系统为基础，结合无氟化学蚀刻工艺，并以超声波震动辅助加速蚀刻，实现孔径细、圆度好、锥度小、形貌好、孔壁光洁、深径比大，高速高精度阵列加工。
一种玻璃微孔加工方法

[发明专利]一种心脏外科护理用换药装置-CN202210985600.2在审
发明人： 方艳阳 -专利权人：南阳医学高等专科学校第一附属医院
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： A61G12/00 文献下载
摘要：一种心脏外科护理用换药装置，本发明涉及医疗器械技术领域；分隔板为数个，且分别等圆角固定设置在固定环的四周壁上，分隔板的另一端与箱体内部的四周环壁固定连接，且相邻的分隔板之间的箱体环壁上设置有开口；药品分类放置机构为数个，且分别活动插设在分隔板之间的开口端内；取药机构设置在分隔板后侧箱体内部，且取药机构与药品分类放置机构连接；限位机构设置在箱体的后侧壁上，且与取药机构连接；将药品罐子进行分开、分类放置，避免药瓶相互之间来回碰撞摩擦，减少了危险的发生，同时，更方便医护人员拿取。
一种心脏外科护理换药装置

[实用新型]一种心脏外科术后可调节背带式胸带-CN202121596871.6有效
发明人： 方艳阳 -专利权人：南阳医学高等专科学校第一附属医院
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： A61F13/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种心脏外科术后可调节背带式胸带。包括胸带本体和弹性肩带，所述弹性肩带活动设置在所述胸带本体顶端两侧，所述弹性肩带底端与所述胸带本体之间通过调节机构连接，所述调节机构包括环形滑槽、第一滑块、硅胶转辊以及第二滑块，所述环形滑槽开设在所述胸带本体顶端表面，所述第一滑块均匀滑动安装在所述环形滑槽内部。本实用新型经第二滑块在环形滑槽内部的滑动，可将两个弹性肩带在胸带本体顶部的距离跟随患者肩宽调节固定，并经第一滑块在环形滑槽内部的滑动，可将胸带本体顶端两侧与患者腋下处滚动接触，新型胸带本体结构设置灵活简单，解决了传统胸带本体容易对患者腋下造成摩擦，穿戴舒适性较差的问题。
一种心脏外科术后调节背带式胸带

[发明专利]一种心脏外科护理用精密计量输液器-CN202110787497.6在审
发明人： 方艳阳 -专利权人：南阳医学高等专科学校第一附属医院
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： A61M5/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种心脏外科护理用精密计量输液器，本发明涉及输液器技术领域，包括：输液管，所述输液管的一端安装有滴壶，另一端安装有针头，所述输液管上安装有输液组件，计量台，所述计量台安装在输液管一侧，所述滴壶的端部安装有换药瓶装置，所述换药瓶装置包括支管、瓶塞穿刺器、药液储存装置、药液液位检测装置、阻断器，所述支管用于将滴壶与瓶塞穿刺器连接在一起使所述瓶塞穿刺器用于刺入药液储存装置内，本发明中，通过三个支管结构，有利于实现输液器在无人看管的情况下自动换药瓶，通过在输液管上安装固定器，有利于快速将针头固定，节省撕胶带、粘胶带的时间。
一种心脏外科护理精密计量输液

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