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[实用新型]一种能够调节磁场强度的平面阴极结构-CN202222186795.2有效
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种能够调节磁场强度的平面阴极结构。传统的平面磁控溅射阴极均为固定磁场，在使用时，均匀性的调节手段较少。本实用新型包括阴极体，阴极体的上部设置导电导热件，导电导热件的上部设置靶材，阴极体内的多个密封方管内分别设置磁铁，磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁和两个外部磁铁，两个中间磁铁的极性相同，两个外部磁铁与中间磁铁的磁性相反，位于两个中间磁铁之间设置一个第一调节磁铁或者在位于两个外部磁铁的外部分别设置第二调节磁铁，第一调节磁铁的磁性与中间磁铁一致，第二调节磁铁的磁性与外部磁铁一致，第一磁铁和第二磁铁的高度可调。本实用新型结构简单合理，能够有效解决普通的平面阴极磁场强度无法调整的问题。
一种能够调节磁场强度平面阴极结构

[实用新型]一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置-CN202222186817.5有效
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： G01R33/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置。目前的磁棒磁场强度均匀性的检测方式存在检测效率低下，检测数据准确度低的问题。本实用新型包括底座，其特征在于所述的底座上设置主固定底板，所述的主固定底板上设置用于安装磁棒的定位工装，所述的主固定板上还设置三坐标磁探针，所述的三坐标磁探针安装在一能相对磁棒作水平和垂直移动的调节机构上，所述的调节机构还包括半圆形轨道，所述半圆形轨道的圆心对应磁棒的圆心，所述的三坐标磁探针能在电机驱动下沿半圆形轨道滑动。本实用新型能有效提高检测效率和检测精度，减少误差。
一种用于测量长度方向坐标磁场均匀检测装置

[发明专利]一种用于建筑单银Low-E玻璃的膜层结构及其制作工艺-CN202211172477.9在审
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C03C17/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于建筑单银Low‑E玻璃的膜层结构及其制作工艺。传统的LowE膜层，如果在没有使用ZrO作为最外层的保护层的情况下，容易在后续加工中受到伤害，导致膜层外观形成不可修复的损伤而报废。而采用ZrO作为最外层保护时，则成本较高。本发明包括玻璃基底层，其特征在于，所述玻璃基底层的外部依次设置SiN膜层、NiCr膜层、Ag膜层、NiCr膜层、SiN膜层和SiNxCy膜层。本发明采用具有高硬度，并由较低摩擦系数的SiNxCy替换ZrO，确保Low‑E玻璃具有性能较好的保护膜层。制备工艺中需要增加的硬件成本仅为一台线型离子源，作为初期投入，价值不超过2根ZrO靶，而耗材则是CH4气体，实用成本低廉。
一种用于建筑 low 玻璃结构及其制作工艺

[实用新型]一种能注满水且便于维护的冷却水筒-CN202222328757.6有效
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种能注满水且便于维护的冷却水筒。现有的冷却水筒结构主要问题在于水平安装时，水会存在注不满的问题，影响冷却效率。另一方面，在需要将筒中的水吹扫干净进行维护时，压缩空气进入后，会因为存在积水而导致难以吹扫干净。本实用新型在外壳的内端连接水筒，外壳上错位设置进水口和出水口，所述的外壳内设置中央分水器隔离进水口和出水口，所述的水筒内设置回流管，所述的回流管延伸至外壳并与所述的出水口相通，水筒的末端设置堵头，堵头的外边缘处设置与回流管相通的进口。本实用新型能使得整个腔体在注水时能注满，吹扫时，也能吹扫干净，降低维护成本。
一种注满便于维护冷却水筒

[实用新型]一种改变磁铁间距来调节磁场强度的平面阴极结构-CN202222510398.6有效
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种改变磁铁间距来调节磁场强度的平面阴极结构。目前调整磁场的结构，随着磁场的上下移动，容易脱离靶材范围，导致水平磁力线的分布区域也会移动，导致非溅射区有溅射。本实用新型包括基座，所述基座的上部设置导电导热件，所述导电导热件的上部设置靶材，基座内设置四个密封方管，所述的密封方管内设置磁铁，所述的磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁和两个外部磁铁，所述的两个外部磁铁能够分别调节左右位置以改变其相对中间磁铁的间距。本实用新型通过调节两列磁铁之间的距离来调节磁场的强度，能够有效改变整体平面阴极的均匀性，结构简单，调节方便。
一种改变磁铁间距调节磁场强度平面阴极结构

[实用新型]一种能提高骨架油封寿命的旋转筒体-CN202222452446.0有效
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： F16J15/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种能提高骨架油封寿命的旋转筒体。在现有的旋转圆筒结构中，由于圆筒两端的同心度的问题导致圆筒在旋转过程中两端的跳动难以保持一致，使水的动密封效果变差，增加了维护成本。本实用新型在壳体的内端通过驱动轴和法兰连接靶筒，壳体上设置进水口和出水口，壳体内设置中央分水器隔离进水口和出水口，所述的壳体外壁上设置空槽，驱动轴上形成的齿位于所述的空槽内，驱动轴的外端设置骨架油封，进水口连通所述的驱动轴，水经进水口和驱动轴流入所述的靶筒内。本实用新型尽量缩小了轴承与骨架油封的距离，减少了主轴的跳动对于骨架油封的损害，解决了运动状态下的水流密封的问题，提高了骨架油封的使用寿命。
一种提高骨架寿命旋转

[实用新型]一种用于并列方管半自动点焊的装置-CN202222328650.1有效
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于并列方管半自动点焊的装置。传统的手工焊接并排方管时存在焊接平整度依赖于台钳等其他夹具的夹持，夹持周期较长，存在焊接平整度不稳定，工作效率低下的问题。本实用新型包括机架，所述的机架上设置万向机械臂，所述的万向机械臂上安装焊枪，其特征在于所述机架的一侧设置并列方管待加工区，所述待加工区的外侧设置背靠机构，所述待加工区的上方设置至少一个下压气缸，所述并列方管待加工区的中部设置中央气缸，所述的中央气缸执行将并列方管紧紧贴靠背靠机构，工作时所述的下压气缸和中央气缸同时对方管进行推压。本实用新型降低了工人劳动强度，提升了产品质量和加工效率。
一种用于并列半自动点焊装置

[发明专利]一种用于提高驱动轴耐久性的不锈钢表面处理工艺-CN202211029159.7在审
发明人： 文继志;高畅 -专利权人：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于提高驱动轴耐久性的不锈钢表面处理工艺。长期处于高压水环境，不能生锈，且具有较长使用寿命的密封驱动轴在各个行业中都有需求。本发明是将不锈钢先进行氮化工艺再进行DLC镀膜工艺，DLC镀膜工艺是将氮化工艺处理后的工件放入真空室中，加热至200～300℃，使真空度低于1*10‑5mbar，通入一定流量的甲烷气体，使真空度达到5*10‑3mbar，然后在轴上施加‑850V～‑750V的电压，稳定运行2‑2.5个小时后，关闭施加在轴上的电压，并关闭加热，待真空室中的温度降低后，取出轴得到最终的产品。本发明通过氮化工艺和DLC工艺的结合，使围观硬度提升到2000以上，同时使摩擦系数从0.2降低至0.05左右，有效提高了轴的使用寿命和耐久性。
一种用于提高驱动耐久性不锈钢表面处理工艺

[发明专利]一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极-CN202110319424.4在审
发明人：郭江涛;文继志 -专利权人：斡兹真空科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种矩形平面磁控溅射阴极，包括框体，所述框体内底部固定安装有伸缩装置，所述伸缩装置上端固定安装有动力装置，所述动力装置两侧均固定安装有一个储料装置，所述储料装置远离动力装置的一端固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆远离储料装置的一端固定安装有T形杆，所述框体侧壁开设有滑槽，所述T形杆位于滑槽内部且与滑槽侧壁滑动连接。本发明，通过设置动力装与储料装置，可以随时改变靶材的水平位置，减少靶材刻蚀不均的情况，提高靶材利用率，减少靶材的浪费，通过设置伸缩装置，能改变靶材与阳极的位置远近，控制靶材刻蚀的程度，给日常使用带来了极大的便捷。
一种可调平衡矩形平面磁控溅射阴极

[发明专利]一种柔性多功能镀膜机-CN202110269200.7在审
发明人：郭江涛;文继志 -专利权人：斡兹真空科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性多功能镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体内底部固定安装有过滤装置，所述镀膜机本体一侧固定安装有降温装置，所述镀膜机本体另一侧固定安装有净化装置，所述镀膜机本体底部固定安装有底座，所述底座上表面固定安装有固定柱，所述固定柱上端与净化装置固定连接。本发明，通过设置过滤装置，使得镀膜机本体里面的杂质得到了清理，提高了镀膜材料的纯度，保证了镀膜工艺的精密性，提升了镀膜效果，通过设置净化装置，提高了真空环境里面的空气洁净，加强了镀膜反应速率，防止镀膜时产生的气泡影响到物体的美观和实用价值。
一种柔性多功能镀膜

[发明专利]一种磁控溅射真空镀膜设备-CN202110272046.9在审
发明人：郭江涛;文继志 -专利权人：斡兹真空科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜设备，包括设备本体，所述设备本体顶部固定安装有固定柱，所述固定柱上端固定安装有罩板，所述罩板下端固定安装有动力装置，所述设备本体底部固定安装有受力板。本发明，通过设置喷洒装置可以在设备出现故障起火时，及时喷洒干粉降温灭火，控制火情蔓延，及时控制火灾，减少设备损害程度，保障了财产安全和生命安全，通过设置动力装置，可以使喷洒装置往复运动，增加了干粉喷洒的面积，更有效的给起火设备灭火，提高了灭火效率，减缓了火灾蔓延速度。
一种磁控溅射真空镀膜设备

[发明专利]一种旋转阴极磁场均匀性3D测试设备及其测试方法-CN202110319422.5在审
发明人：郭江涛;文继志 -专利权人：斡兹真空科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01T7/00 文献下载
摘要：本发明属于测试设备技术领域，尤其为一种旋转阴极磁场均匀性3D测试设备及其测试方法，所述设备包括底座，所述底座内设置有支撑板，所述支撑板的顶部固定有测试设备主体，所述底座上安装有用于调节支撑板高度的升降机构，所述底座的底部四角均安装有万向轮，所述底座的两侧壁均固定有固定板，所述固定板的底部均固定电动推杆。本发明通过设置底座、支撑板和升降机构，可以较为方便快捷的调节测试设备主体的高度，从而可以适应不同身高的工作人员，且当需要运输时，可以降低整体高度，所以方便运输，通过设置固定板、电动推杆、连接板和防滑橡胶垫，当将该设备移动至所需位置后，可以较为方便的将该设备稳定住。
一种旋转阴极磁场均匀测试设备及其方法

[发明专利]一种真空高偏压转架-CN201910451720.2有效
发明人：郭江涛;黄星;吴瑞红;文继志 -专利权人：南京托尔真空科技有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空高偏压转架，包括上防护环、圆盘、高偏压检测器、调节机构、中心环和连接杆，上防护环呈圆环状设置上防护环下环壁固定安装有圆盘，圆盘呈中心凹陷的圆盘状设置，圆盘上方设置有四个规格一致的高偏压检测器，四个高偏压检测器规格一致且相互之间作等距离的圆周分布，圆盘下端面设置有四个调节机构，本发明涉及一种真空高偏压转架，本真空高偏压转架在圆盘四周设置有围绕圆盘滑动的固定块，可以根据实际的安装位置，移动对应固定块，方便安装，上部安装完毕后，可以通过调节机构，调节支撑杆的长度，进而对圆盘可以起到一个良好的支护安装的效果，使得在日常使用时，结构更为稳定。
一种真空偏压

[实用新型]一种多功能柔性DLC涂层设备-CN201920781197.5有效
发明人：吴瑞红;郭江涛;文继志;黄星 -专利权人：南京托尔真空科技有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能柔性DLC涂层设备，包括覆膜设备，覆膜设备内部底端设立有转盘，覆膜设备底部中间连接有驱动电机，驱动电机的输出端上连接有支撑板，本实用新型所达到的有益效果是：通过支撑板能够对转盘进行支撑，通过驱动电机带动转盘旋转能够使覆膜更加均匀，通过夹板能够对放置在安装槽内的钻头类的物件进行夹持固定，避免其在涂层覆膜过程中因不够稳定而倾倒，对覆膜的表面造成损伤，通过旋钮能够带动调节螺杆的旋转，因此能够通过螺纹连接关系带动夹板的移动，以此实现夹板夹持固定的功能，因能够通过调节螺杆调节两个夹板的距离，因此能够使固定结构安装不同尺寸的钻头，避免因钻头大小的不同而更换不同的覆膜设备。
一种多功能柔性 dlc 涂层设备

[实用新型]一种便于安装固定的磁约束多弧阴极靶材-CN201920781198.X有效
发明人：黄星;郭江涛;吴瑞红;文继志 -专利权人：南京托尔真空科技有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： F41J1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于安装固定的磁约束多弧阴极靶材，包括底座，底座四角均插设有定位螺栓，底座位于四角的定位螺栓之间开凿有若干滑槽，每个滑槽内部均插设有滑块，每个滑块远离底座的一端分别与一号半弧形限位块的底部固定，一号半弧形限位块顶部两侧均固定有铰链，两个铰链远离一号半弧形限位块的一端分别与挂环底部两端固定，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型通过设有的连接槽、限位座、弹簧、一号半弧形限位块以及二号半弧形限位块的搭配使用，使靶材固定较为方便，通过设有的滑槽、滑块、铰链、挂环以及挂钩的搭配使用，使本实用新型在更换靶材使，操作简单，造价低，具有很好的实用性以及推广性。
一种便于安装固定约束阴极

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