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[发明专利]具有半导体压力测量换能器的压力传感器-CN201080009476.1无效
发明人：雷蒙德·贝谢;拉尔夫·尼恩贝格尔;弗雷德·哈克尔;奥拉夫·克鲁泽马克;奥拉夫·特克斯托尔 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2010-02-02 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种压力传感器，包括：半导体压力测量换能器(41)，其具有测量薄膜和用于将测量薄膜的变形转换成信号的电路；压力传输装置，其具有延伸通过第一和第二开口之间的固体(50)的液压路径；其中，第一开口被可与压力接触的隔离隔膜密封，以便将要测量的压力引入液压路径中；其中，液压路径在第二开口处向换能器室中开放，压力测量换能器被布置在换能器室中且换能器室被压力测量换能器的测量薄膜密封；其中，所述液压路径包含传输液体；填充元件(11)，其被布置在换能器室中，以便填充换能器室的金属壁与半导体压力测量换能器之间的空的空间；以及绝缘体板，其被布置在换能器室中并且位于测量薄膜和与测量薄膜相对的换能器室的壁之间；其中，绝缘体板(21)附着于填充元件，或者实施为与填充元件成为一体。
具有半导体压力测量换能器压力传感器

[发明专利]水力压力传导器-CN200680020763.6有效
发明人：沃尔夫冈·丹豪尔;拉尔夫·尼恩贝格尔;英·图安·塔姆 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2006-05-10 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：根据本发明的水力压力传导器包括：基体，其具有杯状表面，该杯状表面具有环形表面边缘区域、相对于表面边缘区域凹陷且被表面边缘区域包围的表面中央区域、以及在其内侧邻接表面中央区域且在其外侧邻接表面边缘区域的环形表面过渡区域；杯状隔膜，其具有平坦的环形隔膜边缘区域、相对于隔膜边缘区域凹陷的隔膜中央区域、以及在其内侧邻接隔膜中央区域且在其外侧邻接隔膜边缘区域的环形隔膜过渡区域；其中隔膜在隔膜边缘区域内部沿环绕的焊缝与表面边缘区域相连；其中隔膜过渡区域包括环形凹槽，该凹槽具有凹槽外侧、凹槽内侧以及凹槽过渡区，其中凹槽外侧具有第一环形斜面，其邻接隔膜边缘区域，凹槽内侧包括第二环形斜面，其邻接隔膜中央区域，并且凹槽过渡区在第一和第二斜面之间分布。
水力压力传导