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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]探针卡及其晶圆测试组件-CN202210731032.3在审
发明人：蔡易琛;徐火刚;周裕文;胡玉山 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提出一种探针卡及其晶圆测试组件。所述晶圆测试组件包含印刷电路板、空间转换器、多个铜柱与多个强化结构单元。印刷电路板包含一下表面与设置于下表面的多个第一接触点。空间转换器包含一上表面与设置于上表面且对应于第一接触点的多个第二接触点。多个铜柱个别地设置于相对应的第一接触点与第二接触点之间，且各铜柱的两端分别电性连接于第一接触点与第二接触点。多个强化结构单元设置于印刷电路板的下表面且个别地环绕各铜柱。
探针及其测试组件

[发明专利]可定位的探针卡及其制作方法-CN202011482747.7在审
发明人：苏志伟;曾宗哲;陈文吉;徐火刚;吴学智;林圣韦;林进亿;林哲纬;洪建恺;张书睿 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01R3/00 文献下载
摘要：一种可定位的探针卡包含有一空间转换器、多个定位销以及一探针头。空间转换器具有一空间转换基板，空间转换基板形成有多个孔洞，而定位销分别固定于孔洞。探针头则具有多个定位孔，定位销分别穿设于对应的定位孔之中。一种可定位的探针卡制作方法亦在此公开。因此，可以有效提升测试的正确性与质量。
定位探针及其制作方法

[发明专利]可同时用于高频及中低频讯号测试的探针头-CN202010815526.0在审
发明人：杨惠彬;谢尚融;周裕文;游庆芳;徐火刚;杨金田 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明涉及一种可同时用于高频及中低频讯号测试的探针头，包含有一探针座、一穿过探针座的上、中、下导板以传输一第一测试讯号的第一弹簧探针，以及至少二短于第一弹簧探针、穿过下导板且用来传输一频率较高的第二测试讯号的第二弹簧探针，二所述第二弹簧探针的顶端顶抵于中导板下表面的受其内部一连接电路连接的二导电接点而相互电性连接，所述下导板设有一连通空间以及与连通空间连通的至少二下安装孔，各下安装孔内穿设一局部位于连通空间内的第二弹簧探针；由此，所述探针头可同时用于高频及中低频讯号测试，并可同时达到细微间距及高频测试的需求，且可避免探针卡的电路设计过于复杂。
同时用于高频低频讯号测试探针

[发明专利]应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法-CN201410814572.3有效
发明人：谢坤翰;徐火刚;周冠军;陈宗毅;李忠哲 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。
应用于探针测试装置支撑结构及其制作方法

[发明专利]用于探针卡的空间转换器的制造方法-CN201410037002.8有效
发明人：周冠军;徐火刚;杨惠彬;王千魁 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2014-01-24 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于探针卡的空间转换器的制造方法，包含有下列步骤a)在一第一基板上固设多个第二基板，并使得第一基板与各第二基板电性连接；b)利用微影技术在各第二基板上设置一具有多个穿孔的绝缘强化层；c)在各穿孔内分别形成一与第二基板固定并电性连接的导电块；由于导电块是在第一、二基板固定后才形成，因此导电块的位置可避免受到基板相接时产生的位移影响，而且，该制造方法更可在步骤c)之后将导电块平坦化；由此，该制造方法可使探针接设于导电块时不需再调整位置及平整度。
用于探针空间转换器制造方法

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