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- [实用新型]微波等离子体光源-CN201520419667.5有效
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贾华;程敏;彭承尧;朱梁;张立元;单家芳;刘甫坤
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单家芳;刘甫坤
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2015-06-17
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2015-12-30
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H01J65/04
- 本实用新型公开了一种微波等离子体光源,包括金属谐振腔,金属谐振腔底端、顶端筒口分别封闭安装有金属圆盘底座、金属盖盘,金属盖盘顶部设置有半圆柱形凹槽,半圆柱形凹槽槽底中心向下竖向设置有圆形通孔,金属谐振腔内有内导体,以及套在内导体外的绝缘陶瓷环,陶瓷环上部侧面有盲孔,陶瓷环底端与金属圆盘底座接触,内导体底端电连接在金属圆盘底座上,内导体顶端设置有半圆弧形凹槽,内导体、陶瓷环顶端插入金属盖盘圆形通孔中,金属盖盘顶部半圆柱形凹槽中躺放有无电极灯泡,无电极灯泡的中心位于内导体顶端半圆弧形凹槽之上,同轴探针的外导体电连接在金属谐振腔耦合通孔处,同轴探针的内导体插入陶瓷环上的盲孔内。
- 微波等离子体光源
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