专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]利用聚焦离子束设备直接加工悬空绝缘膜的方法-CN202310671649.5在审
  • 彭开武;范伟民;郭延军 - 国家纳米科学中心
  • 2023-06-07 - 2023-10-27 - B81C1/00
  • 本发明涉及微纳加工技术领域,提供一种利用聚焦离子束设备直接加工悬空绝缘膜的方法,包括:将带有悬空绝缘膜的待加工样品固定在载样台上;将待加工图形中的基本单元分割成至少两个子单元;预设各子单元的加工参数,包括各子单元的加工顺序、各子单元加工时的离子束运动轨迹和驻留时间等;基于预设参数采用聚焦离子束对所述基本单元中的各子单元分别进行刻蚀,同时利用扫描电镜功能监控加工进程并进行荷电中和,完成图形加工。本发明提供的方法是一种无需镀膜等措施的直接加工方法,通过将加工图形中的基本单元分割成子单元,改变了离子束加工方式,解决了加工悬空绝缘膜时的荷电效应和应力导致的薄膜破损等问题,显著提升了实际加工图形的质量。
  • 利用聚焦离子束设备直接加工悬空绝缘方法
  • [实用新型]一种推瓶机专用推齿-CN201620098283.2有效
  • 彭开武 - 彭开武
  • 2016-02-01 - 2016-07-06 - C03B9/453
  • 本实用新型公开了一种推瓶机专用推齿,包括推齿、隔热板和螺栓,所述推齿上设置有凹槽,隔热板安装在凹槽中,推齿上设置有丝孔,螺栓穿过推齿的丝孔并压住隔热板,隔热板通过螺栓固定在推齿上。该装置结构简单,设计合理,体积小,重量轻,便于携带和运输;故障率低,使用安全性好,可以根据玻璃瓶的直径自由调节玻璃瓶的间距;该装置可以解决推瓶过程中因为玻璃瓶相互摩擦、挤压和碰撞带来的缺陷,可以100%解决推瓶过程中产生的冷炸缺陷,提高玻璃瓶的合格率;该装置操作简单方便,无需维护,即使维修时也不用停机,降低工人的劳动强度,节省人工成本;该装置可以为后续工序提供精确定位,使用效果好,易损件使用寿命长达半年以上。
  • 一种推瓶机专用
  • [发明专利]电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统-CN200510012023.5无效
  • 方光荣;殷伯华;靳鹏云;彭开武 - 中国科学院电工研究所
  • 2005-06-28 - 2007-01-03 - G03F7/20
  • 电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统,包括CPLD逻辑电路模块(1)、X方向高速光电隔离模块(2)、Y方向高速光电隔离模块(3)、X方向16位高速高精度数模转换模块(4)、Y方向16位高速高精度数模转换模块(5)、X方向输出极性控制模块(6)、Y方向输出极性控制模块(7)、X方向衰减匹配器(8)、Y方向衰减匹配器(9)。电子束曝光过程中样片X方向位置误差信号和Y方向位置误差信号分别通过独立的16位数据线与CPLD逻辑电路模块(1)连接,经过运算和转化,最终在输出端口上得到X方向和Y方向的偏转电压信号。此信号导入到电子束曝光机的偏转线圈控制电路,控制电子束曝光机的聚焦电子束的扫描位置实现对样片步进误差的动态补偿。
  • 电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统

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